Отзыв на автореферат 5 (Физико­технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе)

отзыв на автореферат диссертации Фещенко Валерия Сергеевича на тему «Физико-технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01 — твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах Развитие науки и техники непрерывно расширяет диапазон требований, предъявляемых к полупроводниковым приборам, что вынуждает получать новые материалы„обладающие необходимыми свойствами.

В последние годы в связи с появлением новых задач при создании элементов оптоэлектроники, сильно возрос интерес специалистов к полупроводниковым приборам на основе широкозонных материалов типа карбида кремния, нитрида галлия, нитрида алюминия, нитрида индия и их соединений, нитрида бора, а также алмаза. Эти материалы отличает уникальное сочетание электрофизических свойств, обеспечивающих качественное улучшение параметров приборов на их основе.

Особый интерес у специалистов вызывают детекторы, созданные на основе алмаза. Алмазные полупроводники способны работать в условиях пятикратного превышения рабочих температур кремниевых устройств без ухудшения производительности. Они обладают большей величиной пробивного напряжения и более высокой теплопроводностью. Имеющиеся полупроводниковые приборы на основе алмаза, значительно превосходят подобные кремниевые образцы. В то же время, на пути производства приборов алмазной микроэлектроники стоят проблемы, решение которых сегодня необходимо.

В связи с этим, диссертационная работа Фещенко В.С., направленная на разработку физико-технологических принципов производства алмазных ультрафиолетовых детекторов, является своевременной и актуальной. Среди наиболее значимых научных и практических результатов, полученных впервые, можно выделить следующие: ° впервые в мире с использованием разработанной технологии была изготовлена алмазная матрица форматом !28х!28, спектральным диапазоном от 180 до 270 нм, с геометрическим шумом 8,5;4, состыкованная с мультиплексором с посредством индиевых столбцов и с ее помощью бьпю получено УФ-изображение; ° впервые в мире на основе алмазной четырехэлементной матрицы бьш разработан и изготовлен высокоскоростной четырехканальный детектор ультрафиолетового излучения, который имеет постоянную времени не хуже 1,8 нс. Научная новизна работы заключается в том, что впервые были проведены системные исследования физико-технологических принципов изготовления приборов на основе алмазных материалов.

Практическая ценность работы не вызывает сомнений — предложены подходы и методы для разработки приборной базы, являющейся основой для создания как новых оптических приборов для регистрации и метрологии УФ-излучения, так и для создания широкого спектра датчиков на основе алмаза. Вместе с тем, по содержанию автореферата можно сделать следующие замечания: 1. В автореферате не представлен обзор, имеющихся на сегодня достижений и результатов российских и зарубежных ученых. 2. Не выражено научное обоснование предлагаемых подходов и методов, например: - в тексте автореферата часто встречаются словосочетания такие, как «...

вероятно изза того... » (стр.10)„«...что скорее всего... » (стр.!4); - не обосновано, почему для разработки конструкции матричных фотоприемных систем выбрана именно гибридная конструкция; не обосновано, почему для изготовления алмазных многоэлементных фотоприемников технологический процесс предусматривает использование 3-х фотошаблонов, а для изготовления матричного чувствительного элемента использовано два. Указанные замечания, однако, не влияют на общую высокую оценку научного уровня и качества работы соискателя как серьезного и значимого вклада в конструирование и технологию производства алмазной твердотельной микро- и наноэлектроники.

Диссертация Фещенко В.С. представляет собой завершенное и системное исследование, и открывает новые возможности в области изготовления алмазной твердотельной электроники и регистрации УФ излучения. Научное содержание диссертации достаточно полно отражено в публикациях автора. В целом, судя по автореферату и публикациям автора, диссертационная работа отвечает требованиям, предъявляемым к докторским диссертациям„а ее автор Фещенко Валерий Сергеевич заслуживает присуждения ему ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01 — «Твердотельная электроника, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах». Заведующий лабораторией космически исследований в области технологий, си процессов «Московского института эл и математики НИУ ВШЭ», д.т.н., профессор В. П. Кулагин Тел.

8 (495) 772-9590 сдоб. 15194) е-та11: ч1л1а81п®йзе.гп .