Отзыв на автореферат 3 (Физико­технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе)

"Ю ~~Я "Ф 1 3 ~, ,~ Акционенное ОБтцеотво 1 ~1 ..'1( «конструкторское Баро лмБараатраеккя 186780меят088108808640 им. АЕАДемикА А. 1. (Оиг(УИОВА» Россия. 300001, Тула, Щегловская засека, 69. Тел. (4872141-0068. Факс (4872( 42 6139. 46-9861. Е ~ла(1 КЬМеагЮ(о(а пе( На На от отзыв на автореферат диссертации Фещенко Валерия Сергеевича на тему «Физико- технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах» В настоящее время приоритетным направлением развития научнотехнического потенциала России является создание своей элементной базы, своих российских приборов с использованием технологий микро- и нано- электроники в различных областях гражданской и военной промышленности.

Большой интерес вызывает освоение УФ-диапазона электромагнитного спектра для решения различных задач: детектирование излучения для обнаружения источников утечки электроэнергии, очагов возгорания, пусков боевых ракет, в промышленных озонаторах, в космических аппаратах и медицинских приборах.

Для производства современной и надежной оптико- электронной техники, функционирующей в УФ-диапазоне, необходимо использование новых материалов, например, природного алмаза. Использование данного материала невозможно без его теоретического и экспериментального исследования, чему собственно и посвящается диссертация Фещенко В.С. На основании полученных данных выполнена разработка конструкции приборов УФ излучения, осуществлены отработка технологических процессов их изготовления и экспериментальное исследование электрофизических параметров приборов, а также налаживание их промышленного производства.

Все это говорит об актуальности темы исследования и о том, что автор решает важную научно-техническую проблему, что, собственно, и требуется от докторских диссертаций. Автор в своей диссертации приводит результаты теоретического и экспериментального исследования алмазных материалов с целью определения границ применимости их для изготовления твердотельных датчиков УФ-излучения. С участием автора была впервые в мире серийно изготовлена алмазная матрица форматом 128х128 элементов, со спектральным диапазоном от 180 до 270 нм, с геометрическим шумом 8,5',4. Матрица состыкована с мультиплексором с помощью индиевых столбцов, и с ее помощью получено УФ-изображение. Разработаны конструкции и основы технологии производства одноэлементных («сэндвичевая» конструкция чувствительного элемента) и многоэлементных датчиков на основе природного алмаза ца типа 1гибридная структура).

На этой базе разработаны и изготовлены спектральные приборы, распознающие составы многокомпонентных смесей, высокоскоростные четырехканальные детекторы ультрафиолетового излучения, фотоприемники, устройства наблюдения, устройства экологического мониторинга ~фотометрические установки с алмазными фотоприемниками), а также выполнено их исследование. По материалам автореферата можно сделать несколько замечаний: 1. В автореферате 1стр.8)говорится о построении математической модели прибора наблюдения и фотоприемного устройства на основе алмаза, но не приведено ни одной формулы, что затрудняет оценку данной работы. 2. Автор упоминает об использовании специальной технологической оснастки-держателя для разработанной технологии производства одноэлементных алмазных детекторов, а также для операций напыления диэлектрических и металлических покрытий, но в авторе ферате не приведено ее описание, что обедняет представление работы, 3. Автор предлагает использовать для работ не только природный алмаз, но и синтезируемые искусственные алмазы, но упоминает об этом только в выводах на 30 странице, хотя можно было указать на это раньше и более подробно описать их свойства и возможность применения.

Работа соответствует требованиям ВАК РФ, предъявляемым к докторским диссертациям, а ее автор Фещенко Валерий Сергеевич заслуживает присуждения ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27,01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах». Ученый секретарь НТС и начальник отдела, доктор технических наук, профес р специальность 20.02.14 «Вооружение и военная техн11ю>~ Семашкин Е.Н.

Несмотря на указанные замечания, диссертация Фещенко В.С. представляет собой научно-квалификационную работу, выполненную на высоком уровне, и имеет важный практический смысл. Результаты работы опубликованы в 30 печатных трудах (из них 15 в рецензируемых научных изданиях из списка ВАК, включая столь уважаемый в научном мире журнал «Доклады РАН»). Результаты работы были экспонированы в сборниках международных и всероссийских конференциях, было получено 5 патентов по направлению исследования.

.