Выписка из протокола заседания НТС (Физико­технологические принципы разработки и производства алмазных ультрафиолетовых детекторов и приборов на их основе), страница 3

Большой интерес представляет дозиметрия УФ излучения в медицине, в промышленных озонаторах и космических аппаратах. За и аемые положения: 1. Алмазные полупроводники, легированные бором имеют спектр поглощения согласованный с окнами прозрачности атмосферы, в частности пик 2,44 мкм приходится на окно прозрачности 2 — 2,5мкм, а пики 3,57 и 4,07 на окно прозрачности 3,5 — 4,2 мкм, и могут применяться для разработки гиперспектральных фоточувствительных устройств чувствительных как в УФ области спектра, так и в среднем ИК.

2. Технология производства кремниевых интегральных схем, после доработки ее с учетом наличия индивидуальных номеров для каждой алмазной пластины и их различных габаритов, а также введением некоторых изменений учитывающих природу алмаза (твердость, отсутствие пел етучего окисла, граф итизацию) позволяет изготовлять элементы алмазной электроники. 3. С повышением напряжения смещения форма спектра фоточувствительности алмазного фотоди ода меняется, причем у относительно чистых алмазов (концентрация азота < 10 ) растет 18 фоточувствительность в области длин волн короче 210 нм, а у более «грязных» (концентрация азота — 10 ) начинает расти 19 фоточувствительность в районе 240-280 нм, обусловленная примесными центрами (В1 и В2), что делает невозможным создать датчик с диапазоном чувствительности от180 до 280 нм, путем легирования его азотом или подбора алмазной пластины по этому критерию.

4. Возможность управления формой спектра фоточувствительности алмазного фотодетектора позволяет конструировать спектральные приборы, которые за счет изменения аппаратной функции своей оптической системы могут распознавать состав многокомпонентных смесей, используя одиночный детектор. 5. Для создания многоэлементных алмазных приемников наиболее подходит «сэндвичевая» структура. Это когда детектирование УФ-излучения происходит в алмазных фотоприемниках, а обработка электрического сигнала (накопление, опрос) — в кремниевом кристалле. Электрическое соединение кристаллов осуществляется с помощью индиевых столбов, которые специально выращиваются на каждом (либо одном) кристалле.

б. Изготовленные в процессе работы одноэлементные и многоэлементные алмазные фотоприемники и результаты их исследования позволяют создавать информационно-измерительные приборы УФ диапазона спектра нового поколения. 9 Ап оба ия аботы: Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на следующих конференциях и семинарах: Х1Х Международная научно-техническая конференция по фотоэлектронике и приборам ночного видения (Москва, 2006, 2014), Мелпагос1п! уес1е с!со-ргаЫс1са сопГегепсе «АМиа1п1 ~уупюкепозй чес1у» (РгаЬа, 2011), ТЬе 21!Ь апппа1 1п!егпайопа! СопГегепсе оп АсЬапсес1 Ьазег ТесЬпо1орез А1.Т'13 (ВпсЬа, Моп1епе8го, 2013), Российской конференции по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектро ники «Фотоника» (г. Новосибирск, 2015г,), Згд 1п!егпайопа! 8сЬоо! апс1 СопГегепсе оп Оргое1ес1гоп1сз, РЬо1оп!сз, Еп81пеег1п8 апс! Мапоз1гасшгез «Бапй Ре1егзЬигд ОРЕМ 2016» (г, Санкт-Петербург, 2016г.), научных семинарах Физического Института им.

П.Н. Лебедева РАН, Иркутского, Новосибирского, Кишиневского, Одесского и Приднестровского университетов, Института Лазерной физики СО РАН и др. Пудлииаинн. Результаты диееертадионнои работы изложены н 30 публикациях (из них 20 в ведущих рецензируемых научных журналах, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени доктора наук, во включенных в международные базы цитирования непериодических изданиях и патентах). Личный вкла авто а. Решение всех задач, сформулированных в диссертации, получено автором лично, либо при его определяющем участии.

Постановка задач и разработка экспериментальных методик выполнены совместно с соавторами опубликованных работ. Экспериментальные результаты, их получение и обработка была проведена совместно с соавторами, анализ и интерпретация этих результатов проведены автором лично. Принадлежность указанных научных результатов лично соискателю признана всеми соавторами и научным консультантом. П блика ия ез льтатов аботы. Основные результаты работы изложены в следующих статьях: 1. РЕЦЕНЗИРУЕМЫЕ НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ ИЗ СПИСКА ВАК 1.

Алтухов, А.А. Ультрафиолетовые фотоприемники на основе природных алмазов [Текст|/ А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, В.С. Фещенко [и др.1 // Радиотех. и электр. — 2007. — т.52, №3. — С.381 — 384. 2. Алтухов, А.А. Линейные фотоприемные устройства ультрафиолетового диапазона на природных алмазах [Текст|/ А.А.

Алтухов, А.Ю. Митягин, В.С. Фещенко [и др.1// Инж. физ. — 2007. — №6.— С. 36 — 40, 3. СогоИюу, ЕЛ'. 8о1аг-В1!пс1 1Л~ Г1ате Ветесгог Вазес! оп Ма1ига! Иапюпс! [ТехЦ/ ЕХ. богоЫюь, А.М. Маршоь А.М., У.Б. ЕезЬсЬеп1со [е!. аЦ // 1пз1г. апс1 Ехр. ТесЬ. — 2008. — №51. — Р. 280 — 283. 10 4. Фещенко, В.С.

Матричный фотоприемник для регистрации изображений в ультрафиолетовой области спектра [Текст1/ В.С, Фещенко, А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, [и др.| // Датчики и системы. — 2010. — № 1.— С. 50-53. 5. Алтухов, А.А. Автоматизированный стенд для измерения параметров фоточувствительных структур ультрафиолетового диапазона [Текст|/ А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, В.С. Фещенко [и др.| П Приборы и техника эксперимента. — 2010, — № 3. — С. 159 — 160.

б. РевЬсЬеп1ию, ч'.Я. А 128х128 Р1хе1 1Л1гачю1ег РЬо1ос1егес1ог Вазед оп а Иапюпд Яепзог [Техц/ Ъ'.Я. РезЬсЬеп1~о, А.А. А1ш1сЬоч, АХи. М1гуа81п [а1 аЦ// Зопгпа1 оТ Сотпшшса11опз ТесЬпо1оду апс1 Е1есГгошсз. — 2010. — ч. 55, № б. — р.716 — 719. 7. Фещенко, В.С. Высокоскоростной четырехканальный детектор ультрафиолетового излучения [Текст~/ В.С.

Фещенко, А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин [и др.1 П Датчики и системы. — 2011. — № 2. — С. 37 — 40. 8, Фещенко, В.С, Фотоприемное устройство УФ диапазона спектра на основе алмазного одноэлементного фотодетектора [Текст~/ В.С. Фещенко, А.А, Алтухов, А.Ю. Митягин [и др.1 П Датчики и системы. — 2011. — № 5.— С. 44-47. 9.

Фещенко, В.С. Прибор наблюдения в УФ диапазоне спектра на основе матричного алмазного многоэлементного [Текст|/ В.С, Фещенко, А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин [и др,~ П Датчики и системы. — 2011. — № 8. — С. 47 — 49. 10. Гуляев, Ю.В. Двухспектральные алмазные гибридные фотоприемники [Текст|/ Ю,В. Гуляев, А.Ю. Митягин, В.С. Фещенко [и др.1 // Доклады Академии наук. — 2013. — т. 450, № 4. — С. 401-405.

11. АйпКЬоч, А.А. Ап 1Л~-гапке РЬо1ойегесюг Вазес1 оп а Иапюпд РЬоЮзепзог [ТехЦ/ А.А. А1ШЫюч, УшА. М11уарп, У.Я. РезЬсЬепКо [а1. а1Ц П Ап1огпа1юп апй Кепке Соп1го1 — 2013. — Уо1. 74, Мо. 2. — Р. 282 — 287. 12. Фещенко, В.С. О возможности управления спектральными характеристиками алмазного фотодетектора и его применение в анализе многокомпонентных смесей [Текст1 / В.С. Фещенко, А.А. Алтухов, В.А. Шепелев [и др.1// Нано- и Микросистемная техника. — 2015.

— 6(179).— С.ЗЗ-ЗЗ 13. Фещенко, В.С. Новые направления использования природных алмазов для создания устройств экологического мониторинга для промышленности [Текст1/В.С. Фещенко, А,А. Алтухов, Т.Б. Теплова [и др.|П СТИН. — 2015. — №11. — С. 37 — 40. 14. Фещенко, В.С. Разработка алмазного фотодетектора ультрафиолетового диапазона [Текст~/В.С. Фещенко, А.А, Алтухов, В.А. Шепелев [и др.1//Измерительная техника — 2016. -№1. — С.30-32.

15.Гуляев, Ю.В. Одноэлементный алмазный фотодетектор для уфспектрофотометрии [Текст1/ Ю.В. Гуляев, Г.В. Чучева, В.С, Фещенко [и др.1 // Радиотехника и электроника. — 2016. — т.бб, №4. — С.395-398. 11 11. ПАТЕНТЫ 16.Патент 134700 РФ, МПК НОП. 31/09 Двухспектральный алмазный гибридный фотоприемник/ Алтухов А.А., Фещенко В.С., Шепелев В.А, [и др.1; Заявитель и патентообладатель 000 «Производственно- технологический центр «УралАлмазИн вест». — 2013137649/28; заявл.

12.08.2013; опубл. 20.11.2013, Бюл. № 32. 17. Патент1351 85 РФ, МПК Н011 31/09 Двухспектральный фотоприемник/ Алтухов А.А., Фещенко В.С., Шепелев В.А. [и др.1; Заявитель и патентообладатель 000 «Производственно-технологический центр «УралАлмазИнвест». — 20!3141229/28; заявл. 09.09.2013; опубл. 27.11.2013, Бюл. № 33 18.Патент 2504043 РФ, МПК Н015 47/00, НОП.

31/0232 Гибридная фоточувствительная схема (ТФС)/ Алтухов А.А., Фещенко В.С., Шепелев В.А.[и др.1; Заявитель и патентообладатель Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. 2012124726/07; заявл. 15.06.2012; опубл. 10.0! .2014, Бюл. № 1. 19. Патент 2519052 РФ, МПК Н011. 31/00, В82В 1/00, Н013 47/00 Гибридная фоточувствительная схема (ГФС)/ Алтухов А.А., Фещенко В.С., Шепелев В.А.

[и др.1; Заявитель и патентообладатель Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. — 2012141252/28; заявл. 27.09.2012; опубл. 10.06.2014, Бюл. № 16. 20. Патент157015 РФ, МПК 001Х 21/85; Измеритель оптической плотности жидкости/ Алтухов А.А., Фещенко В.С., Шепелев В.А., [и др.1; Заявитель и патентообладатель 000 «ПТЦ «УралАлмазИнвест» 2015120700/28; заявл. 01.06.2015; опубл. 20.11.2015, Бюл. № 32. 111. ПУБЛИКАЦИИ В ТРУДАХ КОНФЕРЕНЦИЙ И ПРОЧИХ ИЗДАНИЙ. 21.Алтухов, А.А.

Алмазные фотоприемники ультрафиолетового диапазона [Текст!/ А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, В.С. Фещенко [и др.) // Техн. и констр. в электр. аппаратуре. — 2007. — №4. — С. 29 — 31. 22.Алтухов, А.А. Техническое зрение в УФ-диапазоне излучения на основе алмазных материалов [Текст!/ А.А. Алтухов, А.Ю.