Куликова - Дил Гроув (Готовые ДЗ по Цветкову)

PDF-файл Куликова - Дил Гроув (Готовые ДЗ по Цветкову) Технология и оборудование микро и наноэлектроники (17247): Домашнее задание - 5 семестрКуликова - Дил Гроув (Готовые ДЗ по Цветкову) - PDF (17247) - СтудИзба2017-12-28СтудИзба

Описание файла

Файл "Куликова - Дил Гроув" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по Цветкову". PDF-файл из архива "Готовые ДЗ по Цветкову", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.

Просмотр PDF-файла онлайн

Текст из PDF

Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)Выводы предыдущего раздела позволяют рассмотреть в процессетермического окисления три потока молекул кислорода (рис. ).1. Поток молекул из газовой среды к внешней поверхности пластины, накоторой в начальной стадии происходит реакция (кислорода с кремнием), азатем – адсорбция кислорода на формирующемся оксиде - поток F12. Поток молекул, диффундирующих через оксид SiO2 к кремнию Si поток F23. Поток молекул O2, вступающих в реакцию с Si на границе разделаSiO2 /Si - поток F3В равновесных условиях три рассмотренных потока равны между собой,при этом скорость формирования оксида определяется самым медленным изних.Поток F1 определяется разностью междуповерхностной концентраций окислителя:F1 = h(C* - C0),максимальнойиреальнойгдеC0 - поверхностная концентрация окислителя,h - коэффициент переноса.Значение концентрации окислителя C0 зависит от температуры, скоростигазового потока и растворимости окислителя в SiO2.Для того чтобы определить скорость роста окисла, рассмотрим потокиокислителя в объеме окисла F2 и на его границе с кремнием F3.

Согласнозакону Фика, поток через объем окисла определяется градиентом концентрацииокислителя:F2 = - D(dC/dz) = D(C0 - Ci)/z0,(1)где Ci - концентрация окислителя в молекулах на кубический сантиметр при z= z0,D - коэффициент диффузии при данной температуре,z0 - толщина окисла.Величина потока F3 на границе окисла с полупроводником зависит отпостоянной K скорости поверхностной реакции и определяется как:F3= kCi(2)При стационарных условиях эти потоки равны, так что F3 = F2 = F1 = F.Следовательно, приравняв соотношения (1) и (2), можно выразить величины Ciи C0 через C*:Процесс окисления происходит на границе Si - SiO2, поэтому молекулыокислителя диффундируют через все предварительно сформированные слоиокисла и лишь затем вступают в реакцию с кремнием на его границе.

Согласнозакону Генри, равновесная концентрация твердой фазы прямопропорциональна парциальному давлению газа P:C* = HP, гдеC* - максимальная концентрация окислителя в газе для данного значениядавления P,H - постоянный коэффициент Генри.В неравновесном случае концентрация окислителя на поверхности твердоготела меньше, чем C*..

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5137
Авторов
на СтудИзбе
440
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее