ОНЭиНТ_Сидорова_Л4(6) (Лекции по ОНЭиНТ), страница 3
Описание файла
Файл "ОНЭиНТ_Сидорова_Л4(6)" внутри архива находится в папке "Лекции по ОНЭиНТ". PDF-файл из архива "Лекции по ОНЭиНТ", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 8 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 3 страницы из PDF
ДБЭ на пленке алюминия Картина дифракции электронов на поликристаллическом образце при длительной экспозиции (a) и при короткой экспозиции (b). В случае (b) видны точки попадания отдельных электронов на фотопластинку. Дифракция электронов ДБЭ Преимуществом ДМЭ является более простая конструкция, а также более наглядная и удобная для интерпретации получаемая информация. Преимущество ДБЭ заключается в возможности проведения исследований непосредственно в ходе наращивания пленок на поверхности образца. Методы дефракции медленных и быстрых электронов различаются энергией используемых электронов и, соответственно, различной геометрией (в ДМЭ пучок электронов падает на исследуемую поверхность практически перпендикулярно, а в ДБЭ под скользящим углом порядка 1–5º) ДМЭ Методы локального анализа поверхности Локальный анализ – определение химического состава микрообъемов или тонких слоев твердого тела.
К методам локального анализа относят: • Спектроскопия рассеяния ионов (обратное резерфордовское рассеяние) • оже-‐электронная спектроскопия, • рентгеноэлектронная спектроскопия, • масс-‐спектрометрия вторичных ионов. МЕТОДЫ СПЕКТРОСКОПИИ Спектроскопия — разделы физики и аналитической химии, посвящённые изучению спектров взаимодействия излучения (в том числе, электромагнитного излучения, акустических волн и др.) с веществом. Рентгеновская спектроскопия Рентгеновская спектроскопия (англ. X-‐ray spectroscopy) — методика изучения состава вещества по спектрам поглощения (абсорбции) или испускания (эмиссии) квантов света с длиной волны в рентгеновском диапазоне. Рентгеновская спектроскопия Информация о вакантных возбужденных состояниях химических соединений или зонах проводимости в полупроводниках.
Межатомные расстояния, причем даже для аморфных тел, к которым неприменима методика рентгеновской дифракции. Схема возбуждения и релаксации электронов при ионизирующем облучении: а — фотоэлектронная эмиссия; б — рентгеновское поглощение; в — рентгеновская флуоресценция; г — оже-‐процесс Рентгеновская спектроскопия Общий вид спектров: а — фотоэлектронов; б — рентгеновского поглощения; в — рентгеновской флуоресценции; г — оже-‐электронов Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (сокр., РФЭС; ЭСХА иначе электронная спектроскопия для химического анализа) — разновидность фотоэлектронной спектроскопии, в которой для возбуждения фотоэлектронов используется рентгеновское излучение, и которая служит для зондирования глубоких (остовных) электронных уровней.
Определение химического состава твердых поверхностей, энергии связи. Электронная спектроскопия Электронная спектроскопия (сокр., ЭОС иначе Оже-‐спектроскопия) — метод анализа строения вещества по энергетическим спектрам электронов, возникающих в результате оже-‐эффекта, проявляющегося при облучения образца высокоэнергетическими пучками ϒ-‐квантов, ионов или электронов. а, б — схематические диаграммы, иллюстрирующие два конкурирующих процесса релаксации возбужденного атома (оже-‐эмиссии и рентгеновской флуоресценции). В качестве примера взят кремний. Энергия оже-‐электронов KL1L2,3 около 1591 эВ, а энергия рентгеновских квантов — 1690 эВ. в — Схематическая диаграмма L2,3VV оже-‐перехода.
Электронная спектроскопия Высокое пространственное разрешение до нескольких нм. Высокая чувствительность. Пригодна для всех элементов периодической таблицы, кроме H и He. Возможно исследование только поверхностного слоя 1-‐2 нм.
Терагерцовая спектроскопия Терагерцовая спектроскопия (ТГц) занимается изучением частотного интервала, занимающего часть электромагнитного спектра между инфракрасным (ИК) и микроволновым диапазонами. Терагерцовая область электромагнитных частот находится в пределах 0,3 до 10 ТГц, т.е. 0,3⋅1012 – 10⋅1012 Гц (длина волны 1 мм – 30 мкм). ТГц-‐излучение — не ионизирущее, легко проходит сквозь большинство диэлектриков, но сильно поглощается проводящими материалами и некоторыми диэлектриками. Фемто-‐ и наносекундная спектроскопия Фемтосекундная спектроскопия – совокупность методов исследования вещества с помощью световых импульсов фемтосекундной (10 -‐10 с) -‐15-‐12длительности; сочетает возможности диагностики вещества методами обычной оптической спектроскопии (в т.
ч. лазерной спектроскопии) с использованием сверхкоротких импульсов. Фемтосекундные лазерные импульсы позволяют изучать динамические картины быстропротекающих процессов, имеющих важное значение практически для всех областей знаний: 1. Релаксация колебательного и электронного возбуждений. 2. Внутреннее движение молекул. 3. Элементарные стадии химических реакций. 4. Релаксация фотовозбуждённых электронов в полупроводниках. 5. Первичная стадия преобразования света в фотосинтезирующих и зрительных пигментах.
Рамановская спектроскопия (нелинейно-‐оптические методы ) Рамановская спектроскопия — вид спектроскопии, в основе которой лежит способность исследуемых систем (молекул) к неупругому (рамановскому или комбинационному) рассеянию монохроматического света. (1) Лазерный луч возбуждает образец (2) Луч рассеивается во всех направлениях (3) Частично свет попадает на детектор, который регистрирует Раман-‐спектр (4) На спектре представлен свет на начальной частоте лазера (или рэлеевской) и спектральные особенности, характерные для каждого уникального образца.
Рамановская спектроскопия • • • • • • • • • простота использования, поскольку практически не требуется пробоподготовка; получаемая спектральная информация может использоваться как для идентификации, так и для количественного анализа; могут анализироваться различные вещества: твердые частицы, жидкости, иногда газы; твердые, жидкие, газово-‐жидкие включения; споры, клетки и другие биологические субстанции размером от 1-‐10 мкм; метод исследования – неразрушающий; отсутствует контакт с изучаемым образцом; быстрый анализ – (первые минуты для большинства измерений); локальный анализ для анализа требуется малое количество препарата (от 10-‐9 г); успехом применяются в фармацевтике, полимерной промышленности, нефтехимии, криминалистике, геологии, исследовании темных образцов и водных растворов.
Схема энергетических уровней, иллюстрирующая основные принципы КР. Энергия возбуждающего света hv0, линии КР имеют частоты v0bvi. МАГНИТО-‐РЕЗОНАНСНЫЕ МЕТОДЫ • • • • В основе резонансных методов лежат различные виды резонансных явлений. Разновидности метода магнитного резонанса: ядерный магнитный резонанс (ЯМР), электронный парамагнитный резонанс (ЭПР), ферромагнитный резонанс (ФР), антиферромагнитный резонанс (АФР) . Можно определять структуру твердых тел, жидкостей, молекул, магнитные и квадрупольные моменты атомных ядер, валентность ионов, электрические и магнитные свойства атомов и молекул. Эти методы применяются для качественного и количественного анализа веществ.
1) Исследуются квантовые переходы между близко расположенными уровнями энергии. Это делает возможным изучение таких взаимодействий в веществе, которые вызывают очень малые расщепления энергетического уровня, незаметные для оптической спектроскопии. 2) Ширина и форма линий может быть измерена с очень большой точностью. 3) Большая точность позволяет измерять тонкие детали спектров, связанные с малыми сдвигами уровней систем, участвующих в поглощении радиоволн.
Магнито-‐резонансные методы Ядерный магнитный резонанс (сокр., ЯМР (англ. nuclear magnetic resonance сокр., NMR)) — резонансное поглощение электромагнитного излучения в радиочастотной области веществом с ненулевым спином ядра атома, находящимся во внешнем магнитном поле. Метод исследования структуры различных материалов, в частности, композитов, керамик, полимеров, гетерогенных катализаторов, биологических веществ. Можно использовать для выявления внутренних дефектов в объектах, изучения различных динамических процессов, таких, как химические реакции, фазовые переходы и т.п.
Зеемановское расщепление уровней энергии ядра в магнитном поле в случае ядерного спина I = 1/2. МАСС-‐СПЕКТРОМЕТРИЯ Масс-‐спектрометрия (масс-‐спектроскопия, масс-‐спектрография, масс-‐спектральный анализ, масс-‐спектрометрический анализ) — метод исследования вещества, основанный на определении отношения массы к заряду ионов, образующихся при ионизации представляющих интерес компонентов пробы.