42_patent_EAD_1835065 (Патенты Деулина Е.А часть 3)

661$66ВЕ76ИИХ 66ЦИАЛИОТИЧЕ6ИМХ РЕОЛУБЛИИ ИЮКАРОВЕВИЫИ Ж6ИИТИ' 66 ИЗ6БРЕТЕИИМ й ФКРЬЛВЯ ~РМ ПЮДАРСТЯЕПЮМ КОМИТЕТЕ ШР 66 НАИЕ И ТЕТММКЕ ! ~ГООКОПИЯОИ ВТИВй> ПАЛЕВУ ! ж? ! На оюноааййй йолйоа~очйй, йрефоетаалйиныз Йраайтйй~отаом СССР, Госхомизобрбт6ний аь$дал наотоящий Йатант на Йзобротаййй~ "СНОООб ДИЯХНООтИКИ ФИНИЧНОКОХО ОООРОЯНИЯ цИКЛИЧЯОКИ ННХ97НВНННИ ЭЛ9МОНй)В ВЯКЯЪЯОХО ОбОЩ~ОЗ9НИЯ" ! Автор (авторы~ АИЩЦИЯВ ДИН РЗМЗИНОВИЧ,Х7ЩИН НХОРЬ ЗИтаДЬЕВИЧ,ДЕУЛИН ЕЭХВНИй ЬЛВКОЯЯВИЧ'И УООВ йЩРЯй ЬДИООВИЧ 4932504 Пр~оритат "зобрата"""~В адрелЯ 1991Х'~ ЗйРатястфнфаааиа а Г~~ТяйРФтйаайаа РааотРа ювбрататй ЕЕЕР 13 ОКтЯбРЯ 1993Х. Д6Йстзи6 йатонта разнорост а Вою территорию Союза ССР с яхт СОЮЗ СООЕГСКИХ СОВИАЛИСТИСЕСКИХ ('ГЕСЙОУГЛИК ГОСУДАРСТВЕН(КТЕ ЛАТЕНТНОЕ ВЦАОМСТВО СССР 6 ОСЙАТЕГЙ ((ОСИ) «21) 4932504728 (22) 29,04,91 (46) 15.08,93.

5(0л, ЛВ 30 171) 14ЗУЛК(О-ИССЛВДОВЗТВ(ГЬСКИЙ ййСТИТУТ КОЙСТРУКЦИОЙЙЬГК МВТВРИЗЛОВ И ТВХЙОЛОГИЯ6СКих ЙГКЙ(ВССОВ 64Г1 У ии. ЬКВ, ЬВУГЛВЙЗ 172) Д,Р, АхмлдиеВ, 'к1.В. 170(й((, ХГ,А, ДВулий И А.Б, УСОВ 173) Л4ЗЛО(6 Вйбд(ТВйиВСКОВ ЙРВДЙРИЯГй6 ' 3(71 БАК" 756) АВГорскОВ СЛИДВТВльстВО СССР (к 1456837, кл. В 01 Гк 3П2, 1989. (54) СООСОВ Д171АГК1ОС'ГХТКЬ1 ТЕХ1ГХ1к(5- СКОГО СОСТОВ11КВ ЦР1КДЙЧВСК14 МАГРУОК514ВЫХ ВГ(ГМВЕ1ТОВ ВАКУУЬЛВОГО ОБОРУДОВА)4ЙЯ 1574.ЙЗ06РВТВЙИВ ОТНОСИТСЯ К ИСЙМТЗТОЛК- йОЙ ТВХййКВ й (ИОХХВТ бйТЬ ИСЙОЛЬЗОВЗИО ДЛЯ ДИЗГЙОСТИКИ ВВКУУЫГ(ИХ СИСТВЫ, ЦОЛЬ ИЗО"" бр676ййл удВЬОВВЛ6йй6 ИСЙНТЗЙИВ и ЛОВЫ (ОВЙИВ ИУВСТВИТВЛЬЙОГТИ й ТОЧНОСТИ УС7ЗЙОВЛВййл КГВСТВ ОТКЗЗЗ ЙУ76(И РЗЗД6ЛЗ" ЙИЛ ОТКЗЗОВ КИЙВИЗТйй6СКИХ ЙЗР И ГВРМВТИ" Вйру(0(ВИХ ЗЛВИВйТОВ С ОАИЙЗКОВОД ИЗСтОТОЙ, РВГИСТрйру(07 ЗГЛЙ((йтудййй СЙВКтр ХОЛВблйия Об(ВВГО АЗВЛВЙИЛ й ОдйрВРВМВЙЙО рВГИСТрйруЮТ Вк(илйтуды й МЗСТОТЫ КОЛ666ййй ЫОЫВйТЗ СОЙРОТйВЛОййл ЦйКЛИМВСКИ ЙВГРУЖВГ(ЙЫХ ЗЛВЬГВЙТОВ, СОЛО СТВВЛЛ(07 ЙОЛУИВййЫО ЗЙЗЧВЙИЛ С ЛВСТОТЗЬГИ ЦИКЛИЧОСКОГО ЙВГРУХКВГ(ИЯ ЗЛЙИВйтОВ и ЙО ВВЛИЙИЙВ ВМЙЛИТУД И СКОРОК(й ИХ ИВМВЙВ ЙИЯ СУДЯТ О ТВХЙИМВСКОМ 000(ОЯЙИИ ЗЛВИВЙ ТОВ, МВМВРВЙИВ МОМВЙ(В (ГОЙРЙГйЛЛОййй ЙОЗВОЛЯВТ РВГй07РИРОЛВТЬ ОТКВВИ КИИВНЛ ТИЧВСКИХ ЙЗР ВОЛ йдйй(КВ(И'и ЙВРИИЛЛЬИО(0 ДЗВЛВЙИЯ ХЗРЗКТВРЙСКХ ГВ00$, ВЪ!ДОЙЛЮ(ДИХ СЯ ИЗ КИЙВМЗТИИВСКйХ ЙЛ(Х ОВРВОЙВЯВЛЬГ(0 ЙРОИЗВОдяТ' ОТКЗ'Иу ИЗ ВВКУТ(ЯЙЙИ ХЗВ(ВРЫ 1 С ГГОМЙО(ЬГО ЙЗСОСВВ 2 и 3 ДО 7РВВТВНОГО ВВКуу(ВЗ, С ЙОГИО(ДЬГО КЛЗЙВГ(00 4 06(улйрук0( ОЙВРВДйОСТЬ Й(О(СОВДийВЙИЛ ЙЗС(И~З 2 ЙОВД" ВВРИ76ЛЬЙОВ ОТКЗЯКИ И ИМ('.ОКОВВКГГТЛГВК((Г ГИЕСОСЗ 3.

ВклЮЙЛГОГ ОЛОЬ 20 уйрВВЛВйия дли" (67606М, ЗЗЙУ КЗГОт ~(ЯИГВГВГ(Ь 14. КОТОрйи ч6РВЗ муфту 13 ЙВийй667 Врли(ВТь ВВ(( ВВЙЛЛ 8 ВРЗО(ЗТВЛЬИОГО ДийжВЙИЯ, ЧТЙ ЙРИВОДИТ В ДлйГКВЙИВ ГИЛЬФОЙ 9. ЙОД(иййййий 10, 12, 11. ЬЛОК 21 ИВГИВРВЙИЯ ГОКВ (ГОСРВДГТЛОМ ИВМВ р6ййл ТОКО В 05МОТКВ АВХЬГЗТВ((я ОВГИГтрйру-' ВТ МОГЛВЙТ СОГГРОТЕИВЛВЙИЛ ВВОДЗ ЬРВ(йВЙИЯ 8, ДИСК 15 (КМВВТ ОТВОРОТИЛ, КО7ОРЬ(6 ЙОЗВС' ЛЛЮТ ДЗТИИку йЗ ОСй066 ФОГОЗЙВИВйТЗ (7 й 1 ИС76чйиКЗ 18 06676 РВ(йСТРИООВЗТВ ЛЗСТ(йу '(:. Ж ВРВ(ДВЙИЯ ВХОДНОГО ВЗЛЗ ВВОДВ 6, В ВЯЛИЛИ(„И ИЗСТОТЫ ((ИКЛИЧВСКО~ 0 йл('ОУ>КВййл ВЛВКЛВЙ (Г,) ТОВ ВКСЦВЙТРИКОВОГО ВВОДВ 8 ВРВ(66ЙИЯ 1( д СИЛЬФОЙЗ 9 И ЙОД(ВИЛ(ГИКОВ 10, 11, 12, КГЛ(0- РМВ ЙРОЙОРДИОЙВЛЬЙЫ ((ЛСТОТВ ВРЗ(((В((ИЛ ВХОДНОГО ВВЛ6,,1 йл, к~ 2 ))редаар(4) ельйоа Откачкй, насоса 3 ВысоКОВВХУУмно(О й клаоайоа 4, К ВВХУумйой камере 1 Орйотыкоаай Вакуумметр 5 с иониаацйонным датчиком 7 й теллоаым датчиком б.

а )акже эксцен7рйкоаый сйльфон йыа Вакуумный 880д 8 Вра(цат6льното дайж('((йя содержац(йа следую(цйе алеман" ты: сильфон 9, Оодц)ййники 10. работаю(цйе 6 атмосфере, нодо)йлнйкй 11, 12, раслоло.женныа В Вакууме, ))а Входном Валу ВВОдз 8 устаноалена муфта 13 длй салай с дайГат6" лем 14 й диск 15 ОотйчЕСКОГО Датчйка час 70- Гы Вра(цеййя, ймеюсце(0 В саоем сос)366 фотОДатчйк 17 и йс70чник са873 18, ДайГВ76ль 'улрааллетсЯ 07 блок6 20 уорааленил дайгателем.

Блок 21 йзмеренйл тока ретистрйрует Велйчйну 70ка В Обмотке ДВИГателл. Вакууметр 5, слтический датчик 15 часто) ы Врац(ежил й блок 21 ИЕмеренйа Тока Обмоткй ДЛИГателл Гаазайы с самоойсцем 19 череа блок 22 Ореобреаоеайия СИГйалоа. БООСОб осуц(есталяетея Слсдую(ЦИМ Обрааом. Пераоначальн0 лрОйаВОдят Откачку йЗ Вакуумйоа камеоь( 1 с ломо(цьЮ йаСОСОВ 2 й 3 до требу6мОГО Вакуума, В лом0(цью клала" НОО 4 реГулируют Очер6ДИОсть ООДсоеДйненйл насоса 2 лредеари76льной 0~~3~~~ й ВысОкбеакуумнОГО йасоса 3. Даалеййе В ВаКУУМНой СйС76МЕ КОН7РОЛйРУ6ТСЯ С ОО" мо(цью Вакуу)4метра 5, При Достижений рабочеГО Вакуума Включают блОК 21 изме))6 нйа тока, ОГ)тйческйй Датчик 1б частоть) ВраО(енйл, блок 22 лреобрааоаайиа сйтйалоа, самописец 10.

Включают блок 20 улрааленйа ДВиГател6м, эалускают ДВИГ376ль 14, кО' Торый чер63 муфту 13 на'(йна6т Вра(цать Вал Варда 8 ера)цательйоГО деижения, что лрй- ВОДИТ В ДВИЖЕНИВ СИЛЬВИ 9, ЛОД(ОИЛНИКИ 10, 11, 12. Вакуумм6тр 5 ре(йстрйртет обОц)е даел6йй6 Г3306, Выд6ляюсцйхся В Ваку" Умйооаанный объ6м ЦРй Рааруц)ейий цйклически наГруФ6нных" Злемен708 1с неча" ла лооцесса и 00 меое ВГО Рааай7ИЯ). Блок 21 йзмеренйЯ тока 6 Обмйтх6 ДВНГ37елл реГистрйрует мОмент сойротйалейия 660да Врац(анйа 8, Череа блок 22 лреобрааоааййл сйГйалоа Даййые с Вакуумметра б й блока 21 йам6Реййя 70КВ ВЫВОДЯ7СЯ йа СВМОЛИС6ц 19.

Дйск 15 ймеет Отаерстиа, которые лоааоллк)т даГчйку на Осн066 ф0703лем6нта 17 и источника 18 са673 р6Гйстрйроеать часто~у Вра(ц6ния ВходйОГО Вала Ваода 8, а значй7 и частоты цию)йч6скОГО НВГруж6ййя алВмей- 706 аксЦентрйкОВОГО 630ДВ 8 Вра(Ценйл сильфойа 9 и лоде)йлникое 10, 11, 12, которы6 йрОООрциойальны частоте Вра(ц6ййя ахОднОГО Вала, Сйтйалы с датчика 18 ч6063 блок 22 лреобрааоааййа сйсйалоа лостулают на самолйсец 19, П р и м е р ) )Роаодят раннюю дйасно стйку цйю)йческ)) наГруженных алементоа я аксц6йт))Якобом Гильфонном 630де (ВЗ(" 0.5), как найболее О)йроко раслространейн(но м6канйама аакуумнсно ОборуДОВВНИЯ.

(Ц)й лроаеденйи НСОЫтанйй 07 Дай(376" ля 14 4 ила ПВБ 023У4 с Гиристорны)4 блсжом 20 уорааленил (ила 3 П 811 Нерее муфту 13 дайженйе йередае)ся на ВходйОЙ Вал ВакуУМНОГО Яаода 8. РабОчйа мОмент В ВВОДЕ 081хеда6тся О) Веду(це(О Вала, нахОдя(цеГОСЛ 8 атмосфере, ккрйВОЦ)йонОму Вал)', находя О(6мусл В Вакууме, лрй цбмоц(й Глуход Оромежуточнод Втулки, ко'Горел Гермети~(но с06дйнена с ХОрй усом ВВода лрй ломо(цй сйльфойа 04. При 83)ац(6)64й Веду(ЦВГО 6ала Втулка СОЛЬЦ)ГО667 Орацессйонное кол653" 76ГьнОВ дййженйе 1беа 6,)а(цеййя). 0606да аая В,')4)Ц6нйе ВЕДОмому Вдлу Прй атом сйльфон Р.

Дефор)4йроьанный 33 счет рабо чеГО эхсцентрйсйтета (0664 аходнОГО Вала, соае))ГО36т колебательное Дайженй6, В Вакуумной камер6 1 ОО4Ь(ержй)ааетса ЙостолйН06 Дааленйе 10 П6, что Обесл6чй66(МОЯ сйстемоа Откачки, СОСТОЯ(цеа йа насосоа 3, 2 й Вен)и)кей 4, Кауфта 13 йм687 ср6аной ГОтйф( дяя ()е(истрацйй Ореама)ения крутя- (ЦИМ МОМЕН)ОМ ДО()УСТИМОЙ 66ЛйЧИНЫ, Что соотайтс)аует час) йчн(ому йлй лолному аа" кайн((аанию лередачй, Ре('йст))лцйк) ХОН71)ол))руемых лараметроа ОройаВОДЯ) Г(6))ЙО)(эн(ескй, В начале ис лыта))йй с Ломка(ью Оакууметра 5 (Тйла БГ)ДВ.Й.001) йа)48ОЯХ)7 базбаый уроаеНЬ ДВВЛЕННЯ В Сй.лема, С ООМОЦ(ЬЮ йЗМЕРЙ(0 "ЦВГО устрОас7аа 21 1амоерметра) ОНОВД6лл" ют аначеййе 70ка 6 Об)407к6 ДВИГателл, характерйЗую(цето бааоаый мом6йт сОйро тйалеййя на ВходйОм 6алу Веода 8 Врац(6- нйл. ПООВВДЯ (арыьйический айалйЗ сналых характеристик на ЗВГ'), ОООВДелл(07 амллй 7удные сй(атлры даелеййя я сйс76ме й мо" мента солрОтйал6нйЯ, В дальнейо)ем йСЙОЛЬ31')ОТ ОТНОСИТВЛЬНЫ6 6дййИЦЫ йаме Т)е)(йл, т.6 йамеренйл Обсц6("О дааленйл й момейта сойротиеленйя Оройааодят Отн~~ Сй76ЛЬНО 03306(4Х ВВЛИЖ(йй В 07йОСй76ЛЬйЫХ 6ДИНИЦах.

Г(а лераом атай6 йсйытанйй ИЗ- мерейик лрОИЭВОДЯт чер83 каждый час рабо" ты ус7роастаа, "залйсыаают функций йамейенйа Обц(ВГО даалеййа и момейта солротиаленйа, ам()лйтуДМ йх колебайй)( йа аатоматйческйй оотейцйомВГр т))ла КСЛ-4, Втй кбл6баййа йа 06раом атаое ОООВД6ЯЯ" ются В Рсноайом случаййымй факторамй, Частота ара(ценил 6ходно(О Вала 6 лроме- стаеляет 200 обУМ(4)4, При Намерений 20 Об(к(йн.

Прй лрйблйжеййй к Оредлоласаемому наймень(ое)4у айачеййю ресурса цик НВЯ КЗРТИНВ ИЗМВН6НИЯ ДВВЛСНИЯ 8 КВМВРЕ изображена на фиГ. 3, 07 мОмента Обнаруж6ниЯ пульГВЦий об" ЩВГО'ДВВЛВНИЯ До ПВДВНИЯ ДВВЛЕНИЯ й СИС теме ДО 1б ЛВ передача нарабатыаает 1, 2 1О циклое, Уаким Обрезом, момент пояаления ПуЛЬСации Общ6ГО даВЛВНИя С ЧЛСт0706 цНК" лическоГо наГружениа сильфона б олреде- ЛЯЕТ МОМВН7 РВСКРЫТИЯ МИКРОТР61ЦИНЫ Не СИЛЬфОН6, Г13 ОСНОВВНИИ ЭТОГО УСТ8НВВЛИ83- ют 80змОжность прОГНОзирояания динами- КИ РВЗВИТИЯ МИКРОТРВЩИНЫ 8 СИЛЬфоне. и КВК СЛВДСТВИ6 — ПВДВНИЯ ДВВЛВНИЯ 8 СИСТВМ6 ДО ДОПУСТИМОГО ЗНВЧВНИЯ, ОПРВДВЛЯВМОГО ТребоеаНИяМИ ТВХНОЛОГИч6СКОГО ПД006ССВ. Г1редлаГВВМЫЙ СПОСОб дйаГНОСТИХИ ТВХ- ническОГО состояния циклически НВГруженных злемен708 ВакуумнОГО ОборудоозниГ~ позВОляет устаноаить момен7 80знйкноее НИЯ ОТКВЗВ На РВНН6Й С73ДИИ И, КОНТРОЛИРУЯ интенсиеность разеития дефек73, прОГИОзи РОВВТЬ МОМВНТ ВЫХОДВ ИЗ СТРОЯ.

ДИЛГНОС ПН РУВМЫХ ЭЛВМВНТОВ ВВКУУМНОГО Оборудоеаниа. 370 003808867 СуЩВСТВВННО сОкраТить количес780 планбеых р6мбнтое, СНИЗИТЬ прОСТОИ Оббрудоеания ИЗ За 06МОН" 708, ПРВКТИЧВСКИ ПОЛНОСТЫО ИСПОЛЬЗО887Ь реСурС рабОТЫ ЗЛВМВНТОВ и СокрЗТИТЬ ПОТВ РИ ПО Н63386РГОВННОМУ ПРОИЗВОДСТВУ, ФОрмуЛВ ИЗОбр6Тения Способ Диаснбстики 7ехничсскОГО со СТОЯНИЯ ЦИКЛИЧЕСКИ НВГРУЖВННЫХ ЗЛЕМ6Н 708 ВВКууМНОГО Оборудоеаниа, зеключак)щиися 6 Тбм, ч70 8 Вакуумир08ан НОМ ОбЬ6МВ С ИСПЫ ГуеМЫМИ ЗЛ6МВН73ми ОПРеделЯЮТ 3МПЛитуДНЫЙ СЛЕЬТр КО86баНИЙ парам6тра даеления и амплиТуды час70ты ПВРВМ6ТРОВ ЦИХЛИЧВСКОГО НВГРУЖЕНИЯ ЗЛВМВНТОВ, С УЧВТОМ КОТООЫХ СУДЯТ 0 СОСТОЯНИИ 386МВНТОВ, О Т Л И Ч В ГО Щ и Й С Я ТВМ, ЧТО.

С ЦВЛЬЮ УДВЩВВЛ6НИЯ ИСПЫТВНИЙ И ПОВЫЩВ- ния чуестеитеу~ьносТИ и точности усТаноеле НИЯ МВС"Га ОТК033 ПУТ6М РЭЗДВЛВНИЯ ОТКВЗОВ КИНВМВТИЧВСКИХ ПВР И ГВРМВТИЗИРУЗОЩИХ злементое, работакнцих с Одинакоеой час- ТОТОЙ, В КВЧ6СТВВ ПВРВМВТР3 ДВВЛВНИЯ ОПРВ" Д6ЛЯГОТ ВВЛИЧИНУ СУММ3РНОГО ДВВЛВНИЯ 8 Вакуумнроеанном Обь6ме, 3 В кач60786 пайа" МВТРОВ ЦИКЛИЧ6СКОГО НВГРУЖВНИЯ ЗЛВМВН" ТОВ ОПРВДВЛЯКГТ ИХ МОМЕНТЫ СОПРОТИВЛЕНИЯ. ПО изменениГО коуорых судат об их состоЯ- НИИ, .