40_avt_svid_EAD_1595261 (Патенты Деулина Е.А часть 3), страница 2

3). Гибкие герметизирующие элементы 24 (сильфоны) обеспечивают герметичность технологических камер при плоскопараплельном движении штанг 25. В устрбйстве обеспечивается изготовление ЭВП, состоящих нз нескольких частей практически любых типоразмеров, так как нх габариты не связаны с.ша- 1595261 ОЯРаАти 1 АЮаЪ Я ФЮМЬ,У СасУсяГЯЬЗ>У Д1юййССЫ том механизма транспоРтирования> что расширяет технологические возможнос> ти устройства.

Повышение надежности устройства достигается за счет распо- 5 ложения всех пар трения не в вакууме, а в атмосФере> и обеспечения перемещения на неограниченное расстояние с 'использованием минимального количества герметизирующих элементов, работаю-1б щнх в номинальных режимах. Формула и з о б р е т е н и я Устройство для изготовления злект- 15 ровакуумных приборов, содержащее последовательно расположенные и соединенные шлюзовьзси затворами вакуумные камеры, в каждой из которых размещен механизм перемещения оправок для уста-2б вовки электровакуумнык приборов, выполненный в виде пары держателей, первый из которых жестко закреплен на стенке вакуумной камеры между отверстиями шпюзовык затворов, а второй — 25 соединен с приводом горизонтального и вертикального перемещения, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей за счет увеличения допустимых га- 3б парится обрабатываемьас изделий и по- вышения надеждости> оно снабжено ус" тановленнымн на стенках вакуумньпс ка- мер Фиксаторами оправок, выполненными в виде подвикных упоров, а в каждый нэ механизмов перемещения введена па- ра дополнительных держателей, распо- аожениых параллельно над первыми и вторыми держателями между отверстиями шпюэовьпс затворов, причем каждый из держателей н дополнительных держате- лей выполнен в виде двух горизонталь- но расположенньпс и параллельных между собой балок, нри этом банки второго держателя' расположены между банками первого держателя, а балки первого до- полнительного держателя раслопожены между балками второго дополнительного- держателя и механизмом сборки> выпол- ненным в виде штока, установленного с возможностью вертикального перемещения между балкамн второго держателя н про- тиволежазсей опорной плиты, при этом каждая из размещенных на дополнитапь- ных держателях оправок выполнена иэ двух частей, верхняя из которых уста- ноапена с воэможностью вертикального перемещения между балками первого до- полнительного держателя, а 'нижняя вы- полнена П-образной.

1595261 Составитель Д. Рац Редактор Т. Шагова ТехРед М.Дидик Корректор Л. Пилипенко Зака» 3184(ДСП Тиран 254. Поднисное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретенинм и открцтиям лри ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб.,' д; 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Укгород„ ул. Гагарина, 101 и й й Д Я Ф Й Б Ф й Я Я М Р н о о 4 х И О, 8 О 6 и й О,> К Ф. С ~О й О б) Р х Я Ф к Ь 3 2 О~ А. й~ Х Л О Е О 2: О о о д Л а м о о о р Ж 3 'д ж э с ~ э 3 о Ы Ф ~:~ б и Р3 р а о о Рб ~й Ф Б й О Ы й ю Ф $ х Ь Б а Ф о ю Ф б ~О ~К б Р :а Ж Г й ~б :з й.

й о Ю и с2 Й $. 3 Ф, а~ Ф й б 4~ о Б Е Р а- .