40_avt_svid_EAD_1595261 (Патенты Деулина Е.А часть 3)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГОСУДАРСТВЕННОМ КОМИТЕТЕ СССР ПО НАУКЕ И ТЕХПИКЕ (госкомизов втиний1 дУ На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Госкомизобретений выдал настоящее .авторское . свидетельство на изобретение: "Устройство для изготовлення элеущуоветумннх щ)иберов" АвтоР ~автоРы): Л Е й АИ~КСЕЕв; укезнннне в описании Заявитель: Мгчяг ~щ Нс В'.

БАУМАНА Заявка № 44Зщз~ Приоритет изобретения Зо ~с~щь, Зарегистрировано в Государственном реестре иеобретений СССР 22 мая 19931'. Действие авторского свидетедьства распространяется на всю терр Председате.ьь Комитпепьа 159526! держателя Расположены между балками 7 второго дополнительного держателя, а балки 8 второго держателя расположены между жестко закрепленными балками 5 9 первого держателя. При этом балки 7 и 8 соединены с прннодами вертикаль.

ного н горизонтального перемещения. На балках располагаются оправки 10 с продольными баэирующнмн проточками 10 для транспортирования катодов 11 ЭВП и оправки 12 для транспортирования анодов 13 ЭВП, а также собранных ЭВП 14. Оправки 10 для транспортирования катодов 11 выполнены разъемными 15 в вертикальном направлении и состоят из нижней 15 и верхней 16 частей (см. Фиг. 5), причем нижние части 15 имеют П-образную форму. В камере 2 сборки расположен механизм сборки в 70 виде штока 17 с привццон вертикального перемещения 18 и герметизатором 19 и опорной плиты 20. На штоке 17 закреплен упор 21, а над позицией сборки установлен подвижный упор 22 с приво- 25 дом перемещения 23. Подвикные балки 7 и 8 имеют герметизаторы 24 и шарнирно соединены посредством штанг 25 механизмами вертикального игорнэонтапьного перемещений в виде кривошипов 26 с авч30 тономныни для каждой пары балок 7,8 приводами вращения 27 и 28.

Пенные нли зубчато-ременные передачи 29 и 30 служат для..синхронизации работы механизмов перемещения подвижных ба- 35 пок. Перфорированный диск 31, Фотоэле»ьент 32 и источник света 33 служат дпя контроля положения подвижных балок, а блок управления 34 согласует работу механизмов перемещения в сосед-40 них камерах при перегрузке изделий из канеры в камеру. Устройство работает следующим образом. В камеру 1 загружаются оправки 12 с анодами 13 ЭВП, которые устанавлива,ются иа нижние неподвижные балки 9 первого держателя.

В камеру 3 эагружа- 1 ются оправки 10 с катодани 11 ЭВП, устанавливаемые на верйнне неподвикнык50 балки первого дополнительного держа-- теля 6. Подвижные белки 7,8 вторых держателей находятся в крайнем нижнем положении. Вакуумные шлюзовые затворы 5 закрываются, изолируя технологические камеры 1 - 3. В случае если по требуемой производительности и технологическому процессу число камер уст-,.' ройства больше трех (фиг. 1), то заг-; руэка катодов и анодов ЭВП осуществля- ется в крайние камеры.

В камерах 1 -3 создаются требуемые условия вакуума средствамн откачки (не показаны). Затем в камере 1 производится обеэгаживание вводных узлов ЭВП, а в камере З„производится Формирование катода ЭВП. Когда заканчивается процесс обеэгажнвання анода ЭВП, шпюэовой затвор 5, соединяющий камеры 1 н 2, открывается и оправка 12 с анодом 13 переме . щается в камеру 2 на позицию„ где установлен механизм сборки. Процесс перемещения оправок 10 и 12 происходит следующим образом: вращение от приводов 27 и 28 передается на криво- шипы 26, шарнирно соединенные со штан- гамп 25, которые, в свою очередь, жестко соединены с подвижными балками 7,8 вторых держателей.

Таким образом, балки 8 и 9 начинают совершать плоскоцараллельное движение в вертикальной плоскости, поднимая оправки 10 и 12 над неподвижными балками 6, 9, переносят их вдоль этих балок на шаг, определяемый размерами крнвошипов 26, и устанавливая их обратно на балки 6,9. Для обеспечения параллельности перемещения подвижных балок 7,8 по всей нх длине служат цепные ипи зубчано-ременные передачи 29 и 30, кото" рые синхронизируют вращение двух кривошипов 26„ связанных с одной и той же подвижной балкой, при этом вращение передается от одного привода.Оправки 1О и 12 могут перемещаться через разрывы в неподвижных и подвикных белках, необходиьззе для применения затворов 5. Дпя обеспечения передачи оправак 10, 12 через затвор 5, образующий разрыв а,' длина оправки 1 должна более чем в два раза превышать величину разрыва а, чтобы центр тяжести оправки всегда находился в площади опоры (см.

Фиг. 2). Фиксация оцравок на балках в поперечном направлении осуцествляется продольньын проточками, выполненными по бокам оправок (в виде стуценей). Для передачи оправок 10, 12 из камеры.в камеру с балок одной камеры на балки другой камеры необходима синхронизация перемещения подвижных балок обеих камер; Такая синхронизацшя обеспечивается контролем углового положения кривошипов 26 камер с помощью закрепленных на валах приводов перфорированных дис- ков 31, Фотоэлементов 32 и источников 5 159 Света 33.

При поступлении от Фотоэлемента 32 сигнала на блок управления 34 первой камеры последний останавли" вает привод вращения кривошипа 26 первой камеры. При поступлении сигнала на блок управления второй камеры, датчики которого (фотоэлемент и источник света) расположены также относительно своего перфорированного диска как и в первой камере> блок управления второй камеры включает привод вращения кривошипа 26 первой камеры. В результате достигается синхронное вращение кривошипов обеих камер, а значит и синхронное перемещение подвижных балок. Синхронизация перемещения подвижных балок в смежных камерах может достигаться и.с помощью цепных или зубчато-ременных передач, соединяющих валы кривошипов соседних камер.

Для фиксации оправок 10,12 с уэламн ЭВП на позициях обработки для совмещения с инструментом или друг с другом на камере установлены подвижные упоры 22 с приводами 23, имеющие воэможность взаимодействия с оправками 10,12 в подведенном состоянии (крайнее положение). Па позиции сборки ЭВП, оправка 12 с анодом 13 взаимодействует с упором 21; закрепленным на штоке 17 механизма сборки, при этом роль привода упора 21 играет привод 18 механизма:сборки. Взаимное положение упоров 21 и 22 определно таким образом, что катод 11 и анод 13 совмещаются друг с другом с заданной точностью при взаимодействии оправок 10„ 12, в которых они транспортируются, с этими упорами.В отведенном состоянии подвижные упоры 21, 22 обеспечивают'свободный проход оправок 10, 12 с узлами ЭВП.

После завершения процесса Формирования катода ЭВП в камере 3 затвор 5, соединяющий камеры 3 и 2, открывается> а оправка 10 с катодом 11 перемещается описанным выше способом на позицию механизма сборки, где уже находится оправка 12 с анодом- 13. После совмещения оправок 10, 12 с узлами ЭВП шток 17 с помощью привода 18 механизма сборки перемещается вверх, подниман оправки с узламн ЭВП до упора в неподвижную.плиту 20 (см. Фиг. 4). При этом верхняя часть 16 с катодом 11 выходит из нижней части 15 оправки 10 (см. Фиг. 5). Пока катод 11 и анод 13 поджаты к опорной плите 20 штоком 17, нижняя часть 15 оправки 5261 6 10, имеющая П-образную форму, перемещается с помощью верхних подвижных балок 7 второго дополнительного держа- 5 теля в том же направлении, что н до этого, вместе с катодом 11 и верхней частью 16.

П-образная Форма нижней . части 15 позволяет обеспечить свободный проход корпуса ЭВП диаметра д в пазу нижней части 15 оправки 10. После,завершения процесса сборки ЭВП (герметизации катода и анода 13) шток 17 опускается приводом 18 вниз. При этом верхняя часть 16 оправки 10, имеющая ширину с, проходит в зазоре между верхними неподвижными балками 6 первого дополнительного держателя, имеющим величину Ь.

Величина зазора Ь превьппает величину ширины с на вели- 20 чину погрешности взаимного положения неподвижных балок 6, первого дополни . тельного держателя, чтобы обеспечить свободный проход верхней части 16 оправки 10 между балками 6, т,е. 25. с = Ь вЂ” б,где Ь задается, исходя из размеров ЭВП, а б рассчитывается, исходя иэ точности изготовления устройства,, При опускании штока 17 вниз оправ- 30 ка 12 с уже собранным ЗВП 14 устанав-. ливается на нижние неподвижные банки 9 первого держателя, после чего транспортируется в том же напранленин„ что и ранее с анодом 13. Таким образом„ производится встречная транспортировка катодов и анодов ЗВП с их сборкой в центральной камере устройства.

Иэ камеры 1 выгружаются пустые нижние части 15 оправок 10, а из камеры 3 40 выгружаются оправки 12 с готовыми ЭВП 14 (см. Фнг. 1). По мере необходимости камеры устройства могут изолироваться друг от друга вакуумными,затворами, что позволяет в центральных 45 камерах постоянно поддерживать требуемые вакуумные характеристики. Зазор между балками в вертикальном направлении обеспечивает проход оправки 12 с собранным ЭВП 14 с верхней частью. 16 50 под оправкой 10 с катодом 11 с гарантированным зазором д (см. Фнг.