38_avt_svid_EAD_1556430 (Патенты Деулина Е.А часть 3)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГОСУДАРСТВЕННОМ КОМИТЕТЕ СССР ПО НАУКЕ И ТЕКИИКЕ ( ГОСКОМИЗОБРЕТЕНИЙ) Заявитель: Приоритет изобретения ' Зарегнотрнронано о Гооуд4Вэ4КИЮ р~ЩВ'. иеобретеннй ССОР 8 декабря 1989г, Действие авторского св страняется на всю терри Заявка № На основании полномочий, .предоставленных Правительством СССР, Госкомизобретений выдал настоящее авторское" - свидетельство на изобретение:: "Устройство: для ГГеремещении в вактуме." Автор (авторы): Анисимов Валерий Вячеславович, Волчкевич Леонид Иванович,: Деулин Бвтений Алексеевич,- Казаков Александр-ФЕДоровкч-и Прощаов Михаил-.АдГександроиич 1556430 Ф о р м у л а изобретения Составитель Ю.Вресьхо Редактор Б.Федотов Техред А.КРавчук Корректор В.Гнрняк Заказ 780/ДСП Тираж 326 Подписное ВНИНПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб;, д, 4!5 Производственно-нздательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул.

Гагарина, 10! Изобретение относится к электрон- ному машиностроению и может быть ис- пользовано при производстве полупро- водниковых приборов. Цель изобретения — повышение на- дежности, точности позиционирования и быстродействия за счет уменьшения сил сопротивления движению. На чертеже представлена структур- ная схема устройства для перемещения в вакууме, Устройство содержит вертикальные направляющие 1, в которых установлена каретка 2, выполненная с возможностью !5 перемещения в вакуумной камере 3. На камере 3 установлены зеркально сим" метрично относительно каретки верх- ний 4 и нижний 5 гидроприводы верти- кального ее перемещения.

Посредством 20 толкателей 6 гидроприводы 4, 5 и до- полнительный гидропривод 7 соединены с кареткой 2. Гидроприводы 4, 5 и 7, герметизированиые гибкой Фигурной перемычкой 8, выполнены в виде отака- 25 нов 9, к внутренней поверхности каж- дого иэ которых прикреплена перемыч- ка 8. В углублении перемычки размещен толкатепь 6. Гидроприводы 4 и 5 сое- динены друг с другом гидравлической магистралью 10 через магиитореологи-: ческий Распределитель 11, работа ко- т'орого обеспечивается гидронасосом 12, Дополнительный гидропривод 7 установ-' лен параллельно нижнему гидроприводу 5 и подключен к дополнительному маг" нитореологическому распределителю 13> магиитореологические дроссели 14, 15 которого соединены с выходом компара- тора 16, входы которого соединены с датчиком 17 перемещения каретки.

Гид- ронасос 18 обеспечивает работу магни- тореологического распределителя 13. Устройство работает следующим об- разом„ При подаче порции жиДкостй от ! 45 магнитореологического распределителя 11 в полость стакана 9 гидропривода каретка 2 по направляющим 1 перемеща- ется вниз. При этом такая же порция жидкости из полости стакана 9 гидро- привода 5 поступает в магнитореологи- ческий распределитель 1 1.

Тем самым компенсируются силы сопротивления движению каретки, а также происходит выборка люФтов. При возникновении до- полнительных нагрузок на каретку до- полнительный гидропривод 7 позволяет компенсировать их по сигналу с датчи- ка !7. Х Устройство для перемещения в вакууме, содержащее вакуумную, камеру, в которой размещена каретка, выполненная с воэможностью вертикального перемещения, соединенная с нижним и верхним гидроприводами вертикального перемещения, установленными на камере эеркальио симметрично относительно каретки, и дополнительный гидропривод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, точности позиционирования и быстродействия, каждый из гидроприводов вы полнея в виде стакана, заполненного ' магнитореологической жидкостно, торцовый срез которого герметизирован гибкой Фигурной перемычкой,, в центральном углублении которой размещен толкатель каретки, ]Ри этом нижний и верхний зеркально симметричные гид.

роприводы соединены гидравлической магистрапью через магнитореологическнй распределитель. 2, Устройство по и, 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что дополнительный гидропрнвод установлен параллельно нижнему гидропрнводу и подипочен к дополнительному магнитореологическому Распределителю,' магнитореологические дроссели которого соединены с выходом компаратора, вкоды которого соединены с датчиком перемещения каретки. ы Я б Ф О '8 Ф Ф о 2 о и ж 3 Р б о ЗФ Ю б И ~О п й Ф 2 % О и о $ й о Р Ф Ф3 4 Ф ~Ф л Ф о о х з ы О, С о б1 о ы о й о 5 3 5 Р' 4 ы д ~о й» Я С 2 О '.С Б С о Б х Б Л л о 5 Ж Й Ф :1 й Ф Й 4 Я— Ь а а 2 о Ф О Ф О Щ Р :к З О. Г с с п Ю О о ~~ д о О й Ю й й Ю бй.

~Ф "4 ~- я э а Л д Й ..з ф Ю Я' 2 ~ сз .