37_avt_svid_EAD_1556429 (Патенты Деулина Е.А часть 3)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ НО ИЗОБРЕТЕНИЯМ Н ОТКРЫТИЯМ прн гос~ддрствкннов комитктн ссср но нлунн н тнниинн (госкомиеовввтвиий> На основании полномочий, нредостащейных Правительством СССР, Госкомизобреьтеньиб:. евыдаа .настоящее =авторское свидетельство пус~роиОввео для перемещбния 3 велуумеп Автор (автор":)' Аниоийов Валерий Вячеславович, Деулин Евгений Анекоеевич, Каеаков:4лексавдр: 4едорович, Коллеров Эдуард-Павнович и: Пронькев Йихаил Анекоандрович Заявитель: Приоритет изобретения Заретястрнрошно я Росударсжннои реестре е язобротений СССР 6 декабря 1989г.

Действие авторского св страняется на всю терри Лредеедаеаеаь еео.п ип епеа Начальник ееп4ела СОЮЗ СОБЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИН 1191ЗО1111 155 (51)5 Н 01 Ь 21/00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕ'ТЕЛЬСТВУ 13-90 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР (21) 4490974/24"21 (22) 29.07.88 (72) В.В.Анисимов, К.А.Деулин, А.Ф.Казаков, Э,П.Коллеров и М.А,Проиьков (53) 624.521(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР Р 1281150, кл. Н 05 К 13/02, 1984, Авторское свидетельство СССР Р 1134044, кл, Н 01 Ь 2 1/00, 1983„ (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПКРКИКЩКНИЯ В ВАКУУМК (57) Изобретение относится к электронному машиностроению и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов.

Целью изоб- ЛЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЭ, Н' ретения является повышение надежности, точности позиционирования и бы стродействия за счет уменьшения сил сопротивления движению, Устройство содержит каретку 1, камеру 2, приводы 3, 4, выполненные в виде стаканов 5.и 6, герметиэированных Фигурной перемычкой 7 и 8. Толкатели 9 и 1О соединены с кареткой 1. Привод 11 герметизирован перемычкой !3, иа срезе суакана 12 в углублении которой размешав толкатель 14, Винты 15, 23 винтовык пар 16„ 22 соединены через шестерни 27, 2 1 с гайками 20, 26, Привод 4 соединен с гидроаккумулятором 25 , через гидромагистраль 24. 1 ип. 1556429 Формула изобретения Редактор Т.!Врчикова Составитель !В.Яресько Техред А.Кравчук Корректор С.Черни Эаказ 780(ДСП Тираж 326 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д.

4!5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к электронному машиностроению и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов, Белью изобретения является повышение надежности, точности позиционирования и быстродействия за счет умень' шения сил сопротивления движению. На чертеже изображена схема уст- !0 ройства для перемещения в вакууме.

Устройство содержит каретку 1, установленную в вакуумной камере 2 с возможностью вертикального перемещения, На камере 2 зеркально симметрич- 15 на относительно каретки 1 установлены верхний привод 3 и нижний привод 4, каждый из которых выполнен в виде стакана 5, 6. Каждый срез стаканов 6 и 5 герметизирован гибкой и фигур" 20 ной перемычкой 7 и 8. В углублениях перемычек 7 и 8 размещены толкатели 9 и 10, которые соединены с кареткой 1. Аналогично устроен дополнительный привод 11, где срез стакана 12 герме- 25 тизирован фигурной перемычкой 13, в углублении которой размещен толка- тель 14.

Толкатель 9 верхнего привода 3 соединен с винтом 15 первой винтовой пары 16. Летчик 17 положении ,30 винта 15 пары 16 соединен с входами компаратора 18, выход которого соединен с входом второго управляемого электропривода 19, соединенного через шестерню 20 с гайкой 21 второй винтовой пары 22, винт 23 которой соединен с толкателем 14 дополнительного привода 11, заполненного жидкостъю н соединенного посредством гидромагистралн 24 с гидроаккумулятором 40 25 и гидроприводом 4.

Привод 16 через шестерню 26 соединен с гайкой 27. Устройство работает следующим образом~ При перемещении винта 15, вниз толкатель 9 перемещает каретку 1. При этом сигнал с датчика 17 перемещения винта 15 поступает иа вход компарато- ра 18 и вызывает сигнал разбаланса, который приводит в действик привод 19.

Винт 23 перемещает толкатель 14 вниз, в результате чего жидкость удаляется из объема привода 4, тем самым ком- пенсируя силы сопротинления движению каретки 1 и выборку люфта, Устройство для перемещения в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещена каретка, выполненная с возможностью вертикального перемещения и соединенная с нижним и верхним приводами вертикального перемещения, установленными на камере зеркально симметрично относительно каретки, и дополнительный привод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, точности позиционирования и быстродействия, каждый из приводов выполнен в виде стакана, торцовый срез которого герметизирован гибкой фигурной перемычкой, в центральном углублении которой размещен толкатель, при этом толка- тель верхнего привода соединен с кареткой и винтом первой винтовой пары, гайка которой через первую шестерню соединена с первым управляемым электроприводом, а датчик положения пинта первой винтовой пары соединен с входом компаратора, выход которого соединен с входом второго управляемого электропривода, соединенного через вторую шестерню с гайкой второй винтовой'пары, винт которой соединен с толкателем дополнительного привода, стакан которого заполнен жидкостью и через гндромагистрапь соединен с гидроаккумулятором и полостью нижнего привода, толкатепь которого соединен с кареткой.

а э п Д Ф 2 Б й Ф и д О 8 о 8 Е а 5 Е '.0 Б а й~ Я С Л О < Х С с О й О ж Р О ,( И' Ж 4. % б Г а а Я «4 Ы ю ю 3 М Р Я ц Я С Ы О и в н о я к о О сО ю :1 М к 4 Ф Ф. =" Д % и й Е "и Д х 8 Р, и М Р Й о .