ЭМ (Раздаточные материалы от преподавателя), страница 24

Осуществить подбор ускоряющего напряжения (от 2 до 20 кВ).2. Изучить основные преимущества и недостатки выбранныхметодов исследования.Проведение лабораторной работы1. Изучение теоретической части и подготовка краткого конспекта.2. Изучение на практике различных режимов исследования РЭМZeiss Ultra 55.3.

Изучение на практике влияния ускоряющего напряжения накачество получаемых изображений.4. Получение первичного изображения под контролем преподавателя.5. Фокусировка и настройка микроскопа для проведения основных исследований.6. Сохранение результатов работы. Обработка полученных результатов исследований.7. Анализ результатов работы, оформление и защита отчета.Сравнительная характеристика режима измеренияМетод InLensМетод SE2Приложение 1.

Рабочая тетрадь149Анализ экспериментальных данных:Выводы:Контрольные вопросы1. Какие условия необходимо соблюдать при сканировании диэлектриков?2. В чем особенности каждого из режимов сканирования?3. Какие из режимов сканирования наиболее предпочтительныв данной работе? Ответ обосновать.4. По какой причине в камере сканирования должен поддерживаться высокий вакуум?5. Назовите искажение, вносимое при низких и высоких ускоряющих напряжениях.6. Перечислите основные панели управления РЭМ Zeiss Ultra 55.7. Опишите идеальные условия сканирования.8.

Расскажите о методах очистки образцов перед сканированием.9. Расскажите о влиянии астигматизма на получаемые изображения.150Электронная микроскопияОтчет по лабораторной работе № 3.Анализ результатов измерений растровой электронной микроскопииДатаОценка (max 5)Бонус за сложностьПодписьЦели работы1. Изучение методов анализа полученных результатов.2. Изучение методик расчета погрешностей при различных видах измерений.3. Расчет погрешностей проведенных измерений.4.

Получение навыков обработки и представления погрешностейэкспериментальных результатов. Получение навыков анализапогрешностей.Решаемые задачи1. Изучение на практике применения методик расчета погрешностей измерений.2. Изучение базовых методик расчета погрешностей.3. Обработка экспериментальных данных каждым студентоминдивидуально.4. Проведение расчетов погрешностей полученных результатов.5. Анализ результатов работы, формулировка кратких выводовпо работе, оформление отчета и представление его к защите.Методические указания.

Прежде чем приступить к расчетупогрешностей, следует повторить основные тезисы курса «Метрология».Краткий конспект теоретической частиКакие размеры приведены на изображении (какие погрешности влияют на них)?Приложение 1. Рабочая тетрадь151________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Какие существуют типы погрешностей?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________В чем состоит смысл поля допуска и как он соотносится с нормальным законом распределения?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Подготовка к проведению лабораторной работы1.

Наличие нескольких листов формата А4, вычислительныхприборов.2. Предварительное ознакомление с методиками расчета.3. Распечатанные изображения после проведенных исследований с линейными размерами объектов.Проведение лабораторной работы1. Провести анализ полученных результатов измерений линейных размеров объектов.2. По представленным методикам рассчитать погрешности измерений.3. Сделать вывод о погрешностях и факторах, влияющих на погрешности.4. Заполнить отчет и представить к защите.152Электронная микроскопияОсновные методики расчета, формулы расчета и результаты расчетаАнализ экспериментальных данных:Выводы:Контрольные вопросы1. Измерения.

Наблюдения. Независимые наблюдения.2. Мера рассеяния. Математическое ожидание. Моменты первого и второго рода.3. Правила обработки многократных наблюдений.4. Порядок обработки результатов наблюдений.5. Коэффициент Стьюдента. Вычисление коэффициента Стьюдента.6. Оценка достоверности результатов испытаний.7. Оценка результатов измерительного контроля.8. Ошибки первого и второго рода.9. Формирование ошибок контроля.Приложение 1.

Рабочая тетрадьДатаОтчет по лабораторной работе № 4.Рентгеноспектральный микроанализОценка (max 5)Бонус за сложность153ПодписьЦели работы1. Изучение основ рентгеноспектрального микроанализа.2. Изучение конструкции и принципов работы прибора OxfordINCA X-RAY.3. Изучение режимов работы рентгеноспектрального микроанализатора.4. Получение спектров излучения исследуемых образцов.5. Получение навыков сбора и предварительной обработки результатов измерений.Решаемые задачи1.

Изучение на практике общей конструкции прибора OxfordINCA X-RAY.2. Изучение базовых принципов работы с программой управления прибором Oxford INCA X-RAY в режиме обслуживанияи в режиме сбора спектра.3. Получение спектра излучения. Получение состава исследуемого образца под руководством преподавателя. Рекомендуется использовать в качестве образцов кремниевые пластиныс напыленными металлами, окисленными металлами.4. Проведение обработки полученных спектров. Распознаваниенеизвестных включений по методике, представленной в инструкции по работе с устройством.5.

Анализ результатов работы, формулировка кратких выводов по работе, оформление отчета и представление егок защите.Методические указания. Прежде чем приступить к работе нарентгеноспектральном микроанализаторе Oxford INCA X-RAY,следует изучить руководство пользователя прибора.Техника безопасности. Прибор управляется напряжением220 В. Эксплуатацию рентгеноспектрального микроанализаторапроизводить в соответствии с ПТЭ электроустановок потребителейи ПТБ при эксплуатации электроустановок потребителей для электроустановок напряжением до 220 В.154Электронная микроскопияКраткий конспект теоретической частиИз каких основных конструкционных компонентов рентгеноспектральный микроанализатор Oxford INCA X-RAY?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Какое охлаждение используется в рентгеноспектральном микроанализаторе? Физический принцип работы данного элемента.________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Приложение 1.

Рабочая тетрадь155Какие режимы работы у рентгеноспектрального микроанализатора? В чем их отличие? В каком режиме производится сборспектров?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Подготовка к проведению лабораторной работы1. Выбор образцов для исследования: 3-4 образца по выборупреподавателя.2.

Подготовка рентгеноспектрального микроанализатора к работе.Проведение лабораторной работы1. Изучение теоретической части и подготовка краткого конспекта.2. Изучение на практике общей конструкции прибора OxfordINCA X-RAY.3. Ознакомление с программой управления прибором OxfordINCA X-RAY.4. Сбор спектров с выбранных образцов, сохранение и предварительная обработка результатов измерения.5. Распознавание неизвестных включений в образцы.6. Анализ результатов работы, оформление и защита отчета.Вклеить спектры образцов (1-2 – на выбор)156Электронная микроскопияАнализ экспериментальных данных:Выводы:Контрольные вопросы1. Возможно ли сканирование диэлектриков на рентгеноспектральном микроанализаторе?2.