ЭМ (Раздаточные материалы от преподавателя), страница 22

Елсуков ______________И. А. Косолапов ______________126Электронная микроскопия3.2. СТРУКТУРА И СОСТАВ ФОНДОВ ОЦЕНОЧНЫХСРЕДСТВ ПО ДИСЦИПЛИНЕФонды оценочных средств по дисциплине представляют собой:варианты экзаменационных билетов, перечень вопросов для рейтинговых и контрольных мероприятий.3.2.1. ПЕРЕЧЕНЬ ВОПРОСОВ ДЛЯ РЕЙТИНГОВЫХИ КОНТРОЛЬНЫХ МЕРОПРИЯТИЙ1. Основные понятия, используемые в физике и химии поверхности (кромка, реконструкция, релаксация поверхности).2. Симметрия поверхности и описание ее структуры.3. Определение рельефа поверхности с помощью метода фиксирования отраженных электронов.

Схема растрового электронного микроскопа.4. Основные принципы работы ПЭМ – зависимость качествасканирования от толщины образца. Получение изображенийвысокого разрешения в ПЭМ.5. Метод улавливания вторичных электронов при изученииструктуры поверхности на срезе (растровая электронная микроскопия).6. Эффект «груши» и зависимость ее влияния от ускоряющегонапряжения.7.

Основные принципы работы ЗЭМ. Особенности работы.8. Особенности получения атомарного разрешения с помощьюРЭМ.9. Основные принципы работы электронных микроскопов.10. Исследование поверхности методами электронной микроскопии (на срезе). Особенности подготовки образцов для сканирования в РЭМ.11. Рентгеноспектральный микроанализ. Основные принципы работы рентгеноспектрального микроанализатора.12.

Влияние эффекта «груши» на рентгеноспектральный микроанализ при высоких и низких ускоряющих напряжениях.13. Основные отличия между РЭМ и ПЭМ. Особенности подготовки образцов для сканирования в РЭМ и ПЭМ.Методические материалы12714. Особенности проведения сканирования на рентгеноспектральном микроанализаторе.15. Основные режимы работы рентгеноспектрального микроанализатора.16. Взаимодействие РЭМ и рентгеноспектрального микроанализатора на примере Zeiss Ultra 55 и Oxford INCA X-RAY.3.2.2. ВАРИАНТЫ ЭКЗАМЕНАЦИОННЫХ БИЛЕТОВМосковский государственный технический университет имени Н.

Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 1по курсу «Электронная микроскопия»1. Классификация направлений электронной микроскопии.2. Просвечивающая микроскопия. Принцип работы.3. Объясните понятие электронная пушка. Приведите пример использования.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 2по курсу «Электронная микроскопия»1.

Сканирование структуры образца на срезе при использованииРЭМ.2. Зеркальная электронная микроскопия. Особенности сканирования.3. Принцип работы сканирующего электронного микроскопа.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.128Электронная микроскопияМосковский государственный технический университет имени Н. Э.

БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 3по курсу «Электронная микроскопия»1. Факторы, определяющие быстродействие, точность и стабильностьсканирования на РЭМ.2. Классификация основных методов электронной микроскопии.3. Общая характеристика метода улавливания вторичных электронов(РЭМ).УтверждаюВ. А.

ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 4по курсу «Электронная микроскопия»1. Разрешение РЭМ. Зависимость качества изображения от увеличения.2. Высоковольтная микроскопия.3. Физические основы просвечивающей электронной микроскопии.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Методические материалы129Московский государственный технический университет имени Н.

Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 5по курсу «Электронная микроскопия»1. Отражательный РЭМ. Особенности сканирования образцов.2. Особенности сканирования ПЭМ.3. Физические основы рентгеноспектрального микроанализа.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 6по курсу «Электронная микроскопия»1.

Метод контраста полей (ПЭМ). Основные особенности. Улучшение качества сканирования.2. Микроскопия магнитных полей (ЗЭМ).3. Метод сканирования по отраженным электронам (РЭМ).УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.130Электронная микроскопияМосковский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 7по курсу «Электронная микроскопия»1. Рентгеноспектральный микроанализ. Основные особенности.

Принцип работы.2. Функциональный состав ЗЭМ.3. Эффект «груши». Влияние на качество сканирования.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 8по курсу «Электронная микроскопия»1. ПЭМ. Применение. Недостатки. Ограничения по разрешению.2. Перспективы развития электронной микроскопии.3.

Устройство и работа растрового электронного микроскопа.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Методические материалы131Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 9по курсу «Электронная микроскопия»1. Совмещение рентгеноспектрального микроанализа и сканированияРЭМ. Побочные эффекты. Ограничения по сканированию.2. Схема ПЭМ.3. Особенности образцов для различного вида электронных микроскопов.УтверждаюВ. А.

ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 10по курсу «Электронная микроскопия»1. Наноразмерные структуры. Основные понятия.2. Микроскопия электрических полей (ЗЭМ).3. Режимы сканирования РЭМ.УтверждаюВ. А.

ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.132Электронная микроскопияМосковский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 11по курсу «Электронная микроскопия»1. Режимы сканирования РЭМ.2. Схема ПЭМ.3. Физические основы электронной микроскопии.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н.

Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 12по курсу «Электронная микроскопия»1. ПЭМ. Применение. Недостатки. Ограничения по разрешению.2. Рентгеноскопический микроанализ. Особенности применения. Недостатки.3. Функциональный состав ЗЭМ.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Методические материалы133Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 13по курсу «Электронная микроскопия»1. Отражательный РЭМ. Особенности сканирования образцов.2. Наноматериалы. Виды наноматериалов.

Применение наноматериалов.3. Физические основы рентгеноспектрального микроанализа.УтверждаюВ. А. ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.Московский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаЭКЗАМЕНАЦИОННЫЙ БИЛЕТ № 14по курсу «Электронная микроскопия»1. Высоковольтная микроскопия.2. Рентгеноскопический микроанализ. Особенности применения. Недостатки.3. Принцип работы сканирующего электронного микроскопа.УтверждаюВ. А.

ШахновБилет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры «__» ______________ г.134Электронная микроскопия3.3. СПЕЦИФИКАЦИЯ УЧЕБНЫХ ВИДЕОИ АУДИОМАТЕРИАЛОВ, СЛАЙДОВ, ЭСКИЗОВПЛАКАТОВ И ДРУГИХДИДАКТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ3.3.1. СПЕЦИФИКАЦИЯ СЛАЙДОВ – КОНСПЕКТОВ ЛЕКЦИЙНазвание разделаЧислослайдов1. Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование.

Общие сведения о наноразмерных структурах, особенности свойств наноструктур, термодинамическиесвойства, свойства проводимости, магнитные свойства, применение наноструктур для создания элементов приборных устройств62. Введение в электронную микроскопию. Введение в основыэлектронной микроскопии. Физические основы электронноймикроскопии63. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ). Основы просвечивающей электронной микроскопии, конструкцияпросвечивающего электронного микроскопа, подготовка объектов для исследований и особые требования к ним, формированиелуча, методы визуализации, недостатки и ограничения, особенности применения64.

Растровая электронная микроскопия (РЭМ). Основы растровой электронной микроскопии, конструкция растровогоэлектронного микроскопа, устройство и работа растрового электронного микроскопа, подготовка объектов для исследованийи особые требования к ним, детектирование вторичных электронов, детектирование отраженных электронов, разрешение, применение105. Зеркальная электронная микроскопия (ЗЭМ). Основы зеркальной электронной микроскопии, конструкция зеркальногоэлектронного микроскопа, режимы работы, виды отображениярезультатов, разрешение и чувствительность, применение46. Рентгеноспектральный микроанализ.

Физические основы,устройство и работа рентгеноспектрального микроанализатора,подготовка объектов для исследований и особые требованияк ним, технические возможности рентгеноспектрального микроанализатора, области применения рентгеноспектрального микроанализатора8Методические материалы1353.3.2.

ПРИМЕР ОФОРМЛЕНИЯ ДИДАКТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВПО ЛЕКЦИЯМВ разделе приведен типовой пример оформления дидактического материала по дисциплине «Электронная микроскопия» – конспект материалов лекций, содержащих основные определения,теоретические основы физических принципов, а также примеры.Методологически курс лекций строится на основе оптимальногосоотношения теоретических и прикладных вопросов с реализациейпроектных методов обучения. Структура материала отличаетсяреализацией блочно-вариативной концепции и внедрением проектных методов подготовки специалистов по «Наноинженерии».136Электронная микроскопияМетодические материалы137ЗАКЛЮЧЕНИЕВ рамках проекта, руководствуясь единой концепцией, созданыметодические материалы по дисциплине «Электронная микроскопия».

Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекцийи лабораторных работ, перечень слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.Цель дисциплины – изучение основных методов, методики устройств для проведения микроскопии нанообъектов и наносистем. Материал курса является основой для изучения других технологических процессов, применяемых при создании наноразмерных структур, в том числе в курсах «Технологии синтеза наноструктур», «Проектирование наносенсоров», «САПР наносистем»и ряда других, выполнения исследовательской части курсовогопроекта, курсовых работ по технологии производства ЭВС и подготовки магистерской диссертации.Задачи дисциплины – получение теоретических и практическихнавыков проведения исследований, измерений и сертификации наноструктур, нанообъектов и наносистем.Методологически дисциплина должна строиться на основе оптимального соотношения теоретических и прикладных вопросовс обязательным участием студентов в самостоятельном исследовании особенностей проведения процессов измерения наноструктур.Теоретические основы должны излагаться в такой мере, чтобыпоказать общие принципы основных методов электронной микроскопии, их особенности, достоинства и недостатки.