9. Классификацмя и сущность травления (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "9. Классификацмя и сущность травления" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "9. Классификацмя и сущность травления"
Текст из документа "9. Классификацмя и сущность травления"
9. Классификация и сущность методов вакуумно-плазменного травления микроструктур.
Ионное травление — удаление вещества с поверхности твёрдого тела под действием ионной бомбардировки (инертным газом). Процесс ионного травления зависит от интенсивности пучка, вида, энергии и угла падения ионов, а также от материала и состояния мишени. В процессе ионного травления вследствие распыления, дефектообразования, имплантации ионов и атомов отдачи меняются элементный состав и структура поверхности: происходит обогащение поверхности отдельным элементом, кристаллизация или аморфизация поверхностного слоя.
Химическое травление – процесс взаимодействия химических реагентов с поверхностью обрабатываемого материала.
Ионно-химическое травление — совместное воздействие распыления и химической реакции. ИХТ осуществляют в тех же установках, что и ионное травление, только в качестве рабочего используют не инертный, а химически активный газ.
Наименьшей селективностью травления и наименьшей погрешностью размеров обработки обладает ионное травление ("ИТ"); наибольшую скорость травления и наименьший нарушенный слой обрабатываемой поверхности можно получить при химическом травлении ("ХТ"); наилучшим сочетанием точности обработки и производительности оборудования обладает ионно-химическое травление ("ИХТ").