6. Термоионный метод (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "6. Термоионный метод" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "6. Термоионный метод"
Текст из документа "6. Термоионный метод"
6.Термо-ионный метод
И сходное вещество получают с помощью одного из методов термического испарения D0 (термо-ионный метод D40);
Атомы вылетают с поверхности(за счет нагрева), инонизируются в ионизаторе и подхватываются полем.
Преимущества:
-
регулируемая в широких пределах энергия осаждаемых частиц E (оптимальной считается энергия Eопт = 100 эВ)
-
высокая скорость осаждения Vо
Недостатки:
-
сложность реализации
-
распыление конструкционных материалов,
-
загрязнение плазмы и получаемой пленки.