29. Ot_chego_zavisit_velichina_dozy_privnese nnoy (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "29. Ot_chego_zavisit_velichina_dozy_privnesennoy" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "29. Ot_chego_zavisit_velichina_dozy_privnese nnoy"
Текст из документа "29. Ot_chego_zavisit_velichina_dozy_privnese nnoy"
29. От чего зависит величина дозы привнесенной дефектности поверхности полупроводниковой пластины, находящейся в чистом производственном помещении? Таким образом, дозу привнесенной дефектности можно рассчитать по следующей формуле
где dj, мкм; Vлам, м/с; Dj, шт/см2.
эмпирический коэффициент γос.j, зависящий от диаметра микрочастиц и равный отношению
Vлам – скорость ламинарного потока воздуха
dj - размер осаждающихся на подложку микрочастиц
t – время нахождения изделия в ЧПП
m – класс чистоты помещения