28. Klass_chistoty_pomeschenia_grade_of_clea nline (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "28. Klass_chistoty_pomeschenia_grade_of_cleanline" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "28. Klass_chistoty_pomeschenia_grade_of_clea nline"
Текст из документа "28. Klass_chistoty_pomeschenia_grade_of_clea nline"
28. Класс чистоты помещения - статус "чистой" зоны или "чистого" помещения, устанавливающий пределы содержания механических частиц определенного размера и/или жизнеспособных микроорганизмов в единице объема воздуха.
К атмосфере чистого производственного помещения (ЧПП) предъявляются требования по давлению, температуре, влажности, статическому электричеству, электромагнитным наводкам, вибрации фундамента, однако важнейшим параметром является концентрация твердых микрочастиц (пыли).
Эффективность производства изделий электронной техники (ИЭТ) во многом зависит от правильного выбора класса чистоты ЧПП, причем необходимо учитывать, что недостаточная чистота воздуха приводит к уменьшению выхода годных ИЭТ, а слишком завышенный класс чистоты приводит к неоправданным расходам на строительство и содержание ЧПП.
Согласно этому стандарту каждый класс чистоты характеризуется строго определенной концентрацией микрочастиц C определенного размера d. О приемлемости того или иного класса ЧПП для хранения, транспортировки и обработки ИЭТ, например, интегральных микросхем (ИС) можно судить по геометрическим параметрам ИС. Процесс формирования привносимой дефектности ИС в ЧПП определяется законом движения микрочастиц в воздухе, который зависит от размеров микрочастиц. Для регламентированных стандартом диаметром частиц – 0,1-5 мкм – их движение в воздухе подчиняется законам Стокса и Стокса-Ханингама, а скорость осаждения пропорциональна квадрату диаметра.