21. Виды электронно-лучевой обработки (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "21. Виды электронно-лучевой обработки" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "21. Виды электронно-лучевой обработки"
Текст из документа "21. Виды электронно-лучевой обработки"
2 1. Виды электронно-лучевой обработки материалов и области применения.
Физические эффекты в объеме твердого тела, возникающие в результате проникновения электронного пучка вглубь материала, делятся на нетермические и термические. К первым относятся ионизация атомов мишени, возбуждение фононных колебаний, образование дислокаций и радиационных дефектов, активация химических реакций и увеличение проводимости полупроводников и диэлектриков; ко вторым - плавка, испарение, сварка и размерная обработка (прошивка отверстий, пазов, профилирование и т.п.).
Из нетермических эффектов наибольшее применение нашло изменение структуры и свойств материала электронорезиста при облучении его остросфокусированным электронным пучком с энергией 20 – 30 кэВ. В электронно-лучевой литографии в качестве резиста используются органические материалы, которые при взаимодействии с ускоренными электронами либо полимеризуются (образуются более крупные молекулы), либо в них происходит деструкция материала (распадение на более мелкие молекулы).
Применение:
-
Электронно-лучевая сварка в вакууме;
-
Нанесение тонких пленок;
-
Резание;
-
Плавка.
-
Использование в электронных микроскопах(возможно не стоит писать, т.к. это не относится к обработке изделия)
Основные достоинства электронно-лучевой обработки:
-
Универсальность (обработка, измерение);
-
Экологическая чистота (высокий вакуум);
-
Управляемость (энергия, фокусировка, модуляция, отклонение луча, малая инерционность, высокая скорость обработки и локальность воздействия .