20. Формирование атомарных и молекулярных пучков (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "20. Формирование атомарных и молекулярных пучков" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "20. Формирование атомарных и молекулярных пучков"
Текст из документа "20. Формирование атомарных и молекулярных пучков"
20. Каким образом формируются атомарные и молекулярные пучки?
МОЛЕКУЛЯРНЫЕ И АТОМНЫЕ ПУЧКИ - направленные потоки молекул или атомов, движущихся в вакууме практически без столкновений друг с другом и с молекулами остаточных газов.
Основными способами формирования атомарных и молекулярных пучков являются: термическое и дуговое испарение, испарение взрывом, ионное распыление, а также, получение ионных пучков из газовой фазы с последующей нейтрализацией.
С помощью испарения можно формировать потоки атомов и молекул металлов, сплавов, полупроводников и диэлектриков с энергией E=kT.
Ионное распыление материала имеет место при взаимодействии («бомбардировке») ускоренных до 0,5 – 5 кэВ ионов с веществом, находящемся в твердом или жидком состоянии. Сущность метода заключается в механическом выбивании атомов или молекул материала мишени путем передачи им кинетической энергии ускоренных ионов инертного газа. Энергия выбитых частиц 3-5 эВ.
Поток атомов или молекул, сформированный из газовой фазы, характеризуется небольшой энергией (Eг=kTг = 0,1 – 0,2 эВ, где Tг - температура газа, К) и гибким регулированием интенсивности Nг или Vг с помощью изменения давления газа pг в широком диапазоне – от 1Е-5 до 1Е5 Па:
Атомарные пучки с энергией 1 - 10 кэВ получают с помощью ионно-оптических систем, снабженных устройством компенсации заряда пучка ионов. Нейтрализацией ионного пучка можно сформировать высокоэнергетические потоки атомов или молекул