2. Электронно лучевое испарения (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "2. Электронно лучевое испарения" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "2. Электронно лучевое испарения"
Текст из документа "2. Электронно лучевое испарения"
2.Принципиальная схема процесса нанесения тонких пленок в вакууме методом электронно-лучевого испарения в вакууме, достоинства и недостатки.
D030 – Электронно-лучевой нагрев. Испаритель с пушкой Пирса.
D031 – Электронно-лучевой нагрев. Испаритель с аксиальной пушкой.
Достоинства:
-используется эффузионный источник в виде ячейки Кнудсена и капилярный испаритель, в котором энергия к веществу подводится благодаря резистивному нагреву.
-наличие тепловых экранов и контроль температуры обеспечивает одинаковую энергию испарения частиц и идеальную диаграмму распределения частиц по направлениям.