18. Fizicheskie_printsypy_emissii_elektronov (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "18. Fizicheskie_printsypy_emissii_elektronov" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "18. Fizicheskie_printsypy_emissii_elektronov "
Текст из документа "18. Fizicheskie_printsypy_emissii_elektronov "
18. На каких физических принципах основана эмиссия электронов из вещества, типы катодов?
Термоэлектронная эмиссия - возникает в результате нагрева тела.
Автоэлектронная эмиссия — это испускание электронов проводящими твердыми и жидкими телами под действием внешнего электрического поля без предварительного возбуждения этих электронов. Суть явления состоит в туннелировании электронов сквозь потенциальный барьер вблизи поверхности тела.
Фотоэлектронной эмиссией называется испускание электронов веществом под действием электромагнитных излучений.
Вторичная электронная эмиссия — испускание электронов поверхностью металлов, полупроводников или диэлектриков при бомбардировке их пучком электронов.
Ио́нно-электро́нная эми́ссия —явление испускания электронов с поверхности твёрдого тела при его бомбардировке ионами.
Взрывная электронная эмиссия — электронная эмиссия с поверхности металла при его переходе из твёрдой фазы в газообразную в результате локальных взрывов микроскопических областей эмиттера. Это единственный вид электронной эмиссии, позволяющий получать плотность тока величиной 109 А/см2, и потоки электронов мощностью — 1013 Вт.
Типы катодов:
-горячий катод
-холодный катод
-полый катод
В источниках ионов с горячим катодом(Кауфмана) в качестве источника электронов используются катоды прямого накала или с косвенным подогревом. Основным достоинством таких источников является возможность получения высокоинтенсивных пучков ионов, а главным недостатком – быстрое разрушение термокатода при использовании химически активных рабочих газов.
Автономные источники ионов с холодным катодом и разрядом Пеннинга обладают высокой эффективностью ионизации (до 10 в 14 степени ион/см3), срок службы катода превышает 1000 часов. Недостатком является низкая сила тока пучка ионов (до 100 мкА), большая пульсация тока и возможность использования только газообразных рабочих веществ.