16. Назначение системы сканирования в установке ионной имплантации, принцип действия (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "16. Назначение системы сканирования в установке ионной имплантации, принцип действия" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "16. Назначение системы сканирования в установке ионной имплантации, принцип действия"
Текст из документа "16. Назначение системы сканирования в установке ионной имплантации, принцип действия"
-
Назначение системы сканирования в установке ионной имплантации, принцип действия.
Устройство сканирования ионного пучка направляет сфокусированный ионный луч в нужное место мишени по заданной программе.
В оборудовании ионной имплантации применяются три способа сканирования: механическое, электростатическое и комбинированное. При механическом сканировании ионный луч не перемещается в перпендикулярных его движению направлениях, а перемещается мишень относительно луча в двух взаимно перпендикулярных направлениях. При электростатическом сканировании ускоренный потенциалом U ионный луч отклоняется от направления своего движения потенциалом Ur отклоняющих электродов длиной l и расстоянием между ними d на угол
Система сканирования должна обеспечивать однородность легирования поверхности, поэтому необходимо учитывать наклон мишени к направлению движения ионного пучка, неравномерность скорости сканирования луча при различных углах , диаметр или стороны сечения ионного пучка, неравномерность плотности ионного тока по сечению пучка