15. Назначение масс-сепаратора в установке ионной имплантации, принцип действия (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "15. Назначение масс-сепаратора в установке ионной имплантации, принцип действия" внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "15. Назначение масс-сепаратора в установке ионной имплантации, принцип действия"
Текст из документа "15. Назначение масс-сепаратора в установке ионной имплантации, принцип действия"
Масс-сепаратор применяется для отделения имплантируемых ионов от других веществ, присутствующих при формировании пучка в источнике ионов, т.е. для создания моноизотопного пучка ионов. Принцип его действия основан на различии радиуса R отклонения ускоренных электрическим потенциалом U ионов с разной массой m и зарядом zq в магнитном поле B
.