14. Принципиальная схема процесса ионной имплантации, назначение и области применения. (Ответы на экзаменационные вопросы)
Описание файла
Файл "14. Принципиальная схема процесса ионной имплантации, назначение и области применения." внутри архива находится в папке "Ответы на экзаменационные вопросы". Документ из архива "Ответы на экзаменационные вопросы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "к экзамену/зачёту", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "14. Принципиальная схема процесса ионной имплантации, назначение и области применения."
Текст из документа "14. Принципиальная схема процесса ионной имплантации, назначение и области применения."
14. Принципиальная схема процесса ионной имплантации, назначение и области применения.
И онно-лучевая обработка применяется для формирования микрорельефа, очистки, полировки и активации поверхностей, нанесения тонких пленок в вакууме.
Уникальная возможность ионной имплантации состоит в легировании материалов атомами, которые могут получать достаточно высокую энергию от ускоренных ионов и перемещаться на несколько нанометров, что позволяет создавать сверхтонкие легированные слои.
Ионная имплантация в металлы и диэлектрики позволяет в широких пределах изменять их свойства. Удается, например, сплавлять металлы, не смешиваемые в жидком состоянии
Ионная имплантация в металлы применяется для изменения их поверхностных свойств: увеличения твердости, износостойкости, коррозионной и радиационной стойкости, увеличения сопротивления усталостному разрушению, уменьшения коэффициента трения, управления химическими, оптическими и другими свойствами. Ионная имплантация позволяет упрочнять поверхностные слои металлов и сплавов путем перевода их в аморфное состояние.