Test_2_2013_Kulikova_MT11-51 (Готовые ДЗ по Цветкову)
Описание файла
Файл "Test_2_2013_Kulikova_MT11-51" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по Цветкову". Документ из архива "Готовые ДЗ по Цветкову", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Test_2_2013_Kulikova_MT11-51"
Текст из документа "Test_2_2013_Kulikova_MT11-51"
Тест 2 Срок сдачи – 28.09.13
-
На основе описания технологического маршрута изготовления чувствительного элемента кремниевого микродатчика и с учетом используемых при этом фотошаблонов проработать сечения формирующихся при этом микроструктур.
На видах сверху прорисовать топологии формируемых на каждом этапе элементов, выделив их разными цветами в соответствии с сечениями.
| Фотошаблоны | ||||
|
|
|
|
|
|
| Вид сверху на топологию | ||||
|
|
|
|
|
|
| Сечения микроструктур | ||||
| |
|
|
|
|
-
Получить выражение (3) в тексте лекций, дифференцируя (1) самым простым и лаконичным способом, полагая, что ΔR≈dR.
После дифференцирования имеем:
-
При описании выражения (4) использованы типичные для технической литературы обозначения для значений относительной продольной (longitudinal ) и относительной поперечной (traverse) деформации. В самом выражении (4) приведен связывающий эти деформации коэффициент Пуассона. Однако, при удлинении тела (положительное приращение длины) его сечение уменьшается (отрицательное приращение площади). Поэтому встает вопрос о знаке (плюс – минус) в выражении (4). Учтите это обстоятельство при выводе выражения (5).
-
Бонус. Контактные площадки к пьезорезисторам выполнены в виде ячеистой структуры. Почему?
Для увеличения прочности соединения при последующей технологической операцией.
