Применение фазочувствительного анализа спектров фотоотражения для оценки времени жизни неравновесных носителей в дельта-легированных структурах

Введение
Одной из важных задач современной физики и технологии полупроводников и полупроводниковых приборов является реализация возможности управления временем жизни неравновесных носителей. Этим временем жизни определяются такие практически важные характеристики полупроводников, как подвижность носителей, плотность двумерного электронного газа, ширина линии излучения и т. п. Для полупроводниковых структур, отдельные части которых по размерам составляют единицы нанометров или слаболегированных структур методы оценки времен, основанные на эффекте Холла или фото ЭДС, оказываются малопригодными. В данной работе предлагается к рассмотрению методика оценки времен, основанная на фазочувствительном анализе (ФЧА) спектров фотоотражения
Глава 1
Электромодуляционная спектроскопия полупроводников: временн ´ые характеристики сигнала фотоотражения
1.1 Модуляционная спектроскопия полупроводников
Модуляционная спектроскопия появилась в 60-х годах прошлого века, и стала новым мощным методом исследования полупроводниковых материалов. Чтобы ответить на вопрос — почему? надо ознакомиться с общими принципами данного метода. Обычный оптический спектр полупроводника, например, спектр отражения