231b_v025 (810495), страница 8
Текст из файла (страница 8)
Соотношения между часто используемымиединицамиДавление [L−1MT−2]:1 Торр (мм рт. ст.) = 133,3 Па (Н/м2) = 1,333 мбар = 19,337·10−3 psi;1 Па = 0,01 мбар = 1,45·10−4 psi = 7,5·10−3 Торр;1 мбар = 1,45·10−2 psi = 100 Па = 0,75 Торр;1 psi 30 = 51,715 Торр = 6894,8 Па = 68,948 мбар.Быстрота откачивающего действия (скорость откачки), пропускная способность (проводимость) [L3T−1]:1 м3/час = 0,278 л/с = 278 см3/с;1 л/с = 103 см3/с = 3,6 м3/час;1 см3/с = 3,6·10−3 м3/час = 10−3 л/с.Поток, производительность, натекание [L2MT−3]:1 Торр л/с = 0,133 Па·м3/с = 1,33 мбар·л/с = 1,3 sccm;1 Па·м3/с (Вт) = 10 мбар·л/с = 10 sccm = 7,5 Торр·л/с;1 мбар·л/с = 1 sccm = 0,75 Торр·л/с = 0,1 Па·м3/с;1 sccm 31 (атм.·см3/мин) = 0,76 Торр·л/с = 0,1 Па·м3/с =1 мбар·л/с.Фунт-сила на квадратный дюйм (англ.
pound-force per square inch, lbf/in²) — внесистемнаяединица измерения давления.31Стандартный кубический сантиметр в минуту (англ. standard cubic centimeters per minute,cm3/min) — единицы измерения потока в см3/мин при стандартной температуре (0°С) и давлении (760 мм. рт.
ст.).30472.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаСписок литературы1. Овчинников К.А. Измерительные приборы в лабораторном практикумепо общей физике. Приложение к сборнику лабораторных работ:Учебно-методическое пособие. М.: МФТИ, 2003. 48 с.2. Сивухин Д.В. Общий курс физики: Учеб. пособие для вузов. В 5 т.Т.2. Термодинамика и молекулярная физика. испр. и доп. 3-е изд.М.: Физматлит, 2013. 792 с.3. Гладун А.Д., Александров Д.А., Игошин Ф.Ф., Коротков П.Ф.,Корявов В.П., Овчинников А.П., Самарский Ю.А., Теврюков А.А.Лабораторный практикум по общей физике: Учебное пособие. В трёхтомах. Т.1.
Термодинамика и молекулярная физика. испр. 3-е изд.М.: МФТИ, 2012. 292 с.4. Умрас В, редактор. Основы вакуумной технологии. 00.200.07-е изд.Кёльн: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, 2007. 225 с.5. Шешин Е.П. Вакуумные технологии. Догопрудный: Издательский дом«Интеллект», 2009. 504 с.6. Плисковский В.Я. Конструкционные материалы и элементы вакуумныхсистем. М.: Машиностроение, 1976. 64 с.7. Рот А. Вакуумные уплотнения. М.: Энергия, 1971.
464 с.8. Сивухин Д.В. Общий курс физики: Учеб. пособие для вузов. В 5 т.Т.1. Механика. стер. 6-е изд. М.: Физматлит, 2013. 560 с.48.