231b_v025 (810495), страница 7
Текст из файла (страница 7)
Lesker Companyhttp://www.lesker.com/, Vacom Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbHhttp://www.vacom.de/22382.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаПреимущества использования: быстрый и простой монтаж безиспользования инструментов, многообразие компонентов, уплотнениямногоразового использования.Приложение Б.
Технические характеристики экспериментального стендаНиже представлены основные технические характеристикисредств откачки и измерения давления экспериментального стенда.1Б. Пластинчато-роторный насос Е2М1.5 (ПРН) 23Табл. 3. Технические характеристикиВнешнее давление, макс.Фланец входнойФланец выходнойСкорость откачкиСкорость вращения ротораПредельное давление с газобалластомПредельное давление без газобалласта150 кПа | 1125 Торр | 1500 мбарDN 10 ISO-KFАдаптер для присоединения гибкого шланга 3/8’’BSP / 11 мм1,8 м3/ч2 800 об/мин1,5×10-1 Па | 1,1×10-3 Торр | 1,5×10-3 мбар2,5×10-1 Па | 1,9×10-3 Торр | 2,5×10-2 мбар23Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Instruction ManualE2M0.7, E2M1 and E2M1.5 Rotary Vacuum Pumps (A371-32-880 Issue E Original)392.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуума1 — без газобалласта, 2 — с газобалластомРис.
20. Зависимость быстроты действия на входе в насос от входного давления242Б. Турбомолекулярный насос EXT70H (ТМН)Табл. 4. Технические характеристикиМинимальная скорость откачки форвакуумного насоса на выходеФланец входнойФланец выходнойСкорость откачкиСкорость вращения ротораПредельное давление0,6 м3/чDN 40 ISO-KFDN 16 ISO-KF46 л/с по H2, 53 л/с по He, 52 л/с по N290000 об/мин< 5 · 10-7 Па | < 3,75 10-9 Торр | < 5 · 10-9 мбарРис. 21. Зависимость быстроты действия на входе в насос от входного давления3Б. Вакууметр APG100-XM типа Пирани (В1) 25Табл.
5. Технические характеристикиСоединительный фланецМаксимальное измеряемое давлениеМинимальное измеряемое давлениеТочность измеренийМетод измеренийDN 16 ISO-KF105 Па | 750 Торр | 1000 мбар10-1 Па | 7,5 · 10-4 Торр | 1 · 10-3 мбарв диапазоне 1 · 10-3 – 100 мбар : ± 15%датчик Пирани, терморезисторный вакуумметр24Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Instruction ManualLow Voltage EXT Compound Molecular Pumps: EXT70H 24V, EXT70Hi 24V, EXT255H 24Vand EXT255Hi 24 V (B722-20-880 Issue D Original)25Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Instruction ManualAPG100 Active Pirani Gauge (D026-01-880 Issue B)402.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаИнтерфейс управленияВнутренний объемRS-485 / RS-2325 см3Регистрируемое давление, мбар1E+3He1E+2NeN2CO21E+1Ar1E+0Kr1E-11E-21E-21E-11E+01E+11E+21E+3Истинное давление, мбарРис.
22. Зависимость показаний от типа газаКорректирующие коэффициенты для датчика Пирани или относительная чувствительность в молекулярном режиме (> 1 мбар): 1,0 (N2),1,0 (воздух), 1,5 (Ne), 1,1 (He), 1,7 (Ar), 1,0 (CO2), Kr (2,6).4Б. Инверсно-магнетронный вакуумметр AIM-X (В2) 26Табл. 6. Технические характеристикиСоединительный фланецМаксимальное измеряемое давлениеМинимальное измеряемое давлениеТочность измеренийМетод измеренийИнтерфейс управленияВнутренний объемDN 25 ISO-KF1 Па | 7,5 · 10-3 Торр | 1 · 10-2 мбар1 · 10-7 Па | 7,5 · 10-10 Торр | 1 · 10-9 мбар± 30%ионизационный датчик с холодным катодоманалоговый, коннектор RJ45 8-штырьковый26 см326Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Instruction ManualAIM-X Active Inverted Magnetron Gauge (D146-41-885 Issue G)412.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаПоказания датчика откалиброваны по азоту (сухому воздуху).5Б.
Термоэлектронный вакуумметр AIGX-S (В3) (с накалённым катодом) 27Табл. 7. Технические характеристикиСоединительный фланецМаксимальное измеряемое давлениеМинимальное измеряемое давлениеТочность измеренийМетод измеренийИнтерфейс управленияВнутренний объемDN 25 ISO-KF6,6 · 10-4 Па | 5 · 10-2 Торр | 6,6 · 10-2 мбар6,6 · 10-12 Па | 5 · 10-10 Торр | 6,6 · 10-10 мбар± 15%ионизационный датчик с накаленным катодоманалоговый, коннектор RJ45 8-штырьковый21 см3Корректирующие коэффициенты для ионизационного датчикас накаленным катодом или относительная чувствительность в молекулярном режиме: 1,0 (N2), 1,0 (воздух), 3,3 (Ne), 5,7 (He), 0,75 (Ar), 0,7 (CO2),0,5 (Kr), 0,35 (Xe), 2,4 (H2), 1,0 (O2), 1,15 (CO).6Б.
Кран-натекатель LV10K (КН) 280,1л/с0,080,060,040,02N002468101214Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Instruction ManualAIGX-S Active Ion Gauge (D048-50-880 Issue D)28Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Instruction ManualLV10K Fine Control Leak Valve (C371-02-885 Issue C)27422.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаРис. 23.
Типичная кривая натекания: количество оборотов (N) от величины потока (л/с)Табл. 8. Технические характеристикиСоединительный фланецМаксимальный потокУровень герметичностиМаксимальный перепад давленийЗапертый «мёртвый» объёмDN 10 ISO-KF0,1 л/с1 · 10-7 мбар л/с2000 мбар / 1500 Торр0,032 см3432.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаПриложение В. Работа с файлом данныхПример структуры данных в файле показан в табл.
9. Ниже представлен способ обработки фала с данными с помощью редактора электронных таблиц Microsoft Excel 29 версии 2007 и выше. Рассмотрим последовательность действий для графического выведения записанных параметров:В.1.Загрузите данные из файла в программу. ↓В программе Microsoft Excel откройте необходимый лист, выделите мышкой левую верхнюю ячейку, перейдите на вкладку [Данные] и вгруппе [Получение внешних данных] нажмите [из текста] для загрузкиданных из полученного в работе файла.
В появившемся окне выберитенеобходимый файл с расширением <.csv> и нажмите кнопку [Импорт].После этого откроется окно [Мастер текстов (импорт)] для выполнениянескольких последовательных шагов.В.2.Выполните необходимые действия для корректного отображения данных. ↓На первом шаге окна [Мастер текстов (импорт) — шаг 1 из 3]укажите формат данных [с разделителями] и нажмите кнопку [Далее]. Навтором шаге [Мастер текстов (импорт) − шаг 2 из 3] укажите, что символом-разделителем является [запятая] (остальные не выбирайте).
При этомобразец разбора данных должен поделиться на колонки однотипных данных. На третьем шаге [Мастер текстов (импорт) − шаг 3 из 3] определитеформат данных столбца <Value>, как «текстовый» для корректного отображения данных. Для завершения импорта в программу нажмите кнопку[Готово]. Выберите, на какой лист следует поместить данные в следующем окне и нажмите кнопку [Ок]. В результате описанных действий впрограмме отобразиться таблица с колонками записанных данных.В.3.Удалите все лишние данные. ↓Удалите колонки с данными <Units>, <Alert ID>, <Priority>.Удалите дату проведения эксперимента.
Для этого вызовите окно[Найти и заменить] сочетанием клавиш [Ctrl+F] и перейдите на вкладку[Заменить]. В поле [Найти:] введите указанную в файле дату в формате«DD.MM.YYYY » (без кавычек и обязательно с пробелом вконце), а поле[Заменить на:] оставьте незаполненным, и нажмите кнопку [Заменитьвсё]. В результате дата в каждой ячейке будет удалена, а останется тольковремя в формате «hh:mm:ss».29Официальный сайт программы — https://products.office.com/ru-ru/excel442.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаВ.4.Переведите время в формате «hh:mm:ss» в секунды с начала записи данных.
↓Создайте рядом с колонкой <Time> колонку в формате времени«hh:mm:ss» (напр. <Start>) и заполните все ячейки одинаковым временемиз 2-й строки (время начала измерений). После этого создайте ещё однуколонку (напр. <Synch.>), в которой выполните операцию вычитания данных колонки <Start> (с временем начала измерений) из колонки <Time> (свременем измерений). В результате отсчет времени будет начианаться с00:00:00.Создайте ещё одну колонку (напр.
<Sec.>) и переведите полученное время в секунды. Для этого выполните в каждой ячейке колонки<Sec.> операцию: =МИНУТЫ(C2)*60+СЕКУНДЫ(C2)+ЧАС(C2)*3600,где C2 — текущий номер ячейки колонки <Start>.Для вышеописанных действий достаточно заполнить первых двестрочки соответствующих колонок, выделить их, навести мышь на нижний правый угол рамки выделения отмеченный точкой, и двойным щелчком левой кнопкой мыши продлить зависимость на весь временной интервал.В.5.Удалите в колонке <Sec.> формулу, оставив только значения.
↓Скопируйте колонку <Sec.> и вставьте на то же место с помощьюкнопки [Вставить] вкладки [Главная], выбрав параметр только [Значения].После этого можно удалить колонки <Time>, <Start> и <Synch.>В.6.Отфильтруйте необходимые данные. ↓Выделите ячейки первой строчки с оставшимися названими отображаемых параметров. Перейдите на вкладку [Данные] и нажмите кнопку[Фильтр]. Теперь можно отображать на странице только требуемые показания.В.7.Замените все точки на запятые. ↓Для корректной работы с числами необходимо заменить все точки в данных на запятые аналогично описанным в пп. В4 способом.В.8.Постройте необходимые зависимости. ↓Выберите требуемый параметр колонки <Object Name> (и<Status> режима измерений — 11, при необходимости).Далее можно приступать к построению необходимых диаграммс помощью группы [Диаграммы] на вкладке [Вставка].
Полезно сначалапостроить зависимости на всём временном интервале для наглядности, адалее выбирать необходимые части для детального анализа согласно плану обработки экспериментальных данных.45Табл. 9 Структура данных файластолбец 1столбец 2столбец 3столбец 4столбец 5строка 1TimeObject NameStatusValueUnitsстрока 230.05.2016 12:42TIC Turbo Speed97.4строка 330.05.2016 12:42TIC Turbo Power66.7строка 430.05.2016 12:42TIC Gauge 1111.0000e-0259строка 530.05.2016 12:42TIC Gauge 2112.1720e-0259строка 630.05.2016 12:42TIC Gauge 3111.4148e-0259………………строка N30.05.2016 14:21TIC Turbo Speed1.6строка N+130.05.2016 14:21TIC Turbo Power7.0строка N+230.05.2016 14:21TIC Gauge 1111.1894e+0159строка N+330.05.2016 14:21TIC Gauge 259.9000e+0959строка N+430.05.2016 14:21TIC Gauge 359.9000e+0959………………____________−строка 1 — названия отображаемых параметров;−строка 2 — данные по скорости вращения ротора ТМН в процентах (TIC Turbo Speed);−строка 3 — данные по потребляемой турбиной ТМН мощности в ватах (TIC Turbo Power);−строка 4 — данные по измерению давления вакуумметром APG100-XM в паскалях (TIC Gauge 1);−строка 5 — данные по измерению давления вакуумметром AIM-X в паскалях (TIC Gauge 2);−строка 6 — данные по измерению давления вакуумметром AIGX-S в паскалях (TIC Gauge 3);−строки 7, 8, …, N, N+1, N+2, … — те же данные для других моментов времени;−−−−−−−столбец 1 — дата и время соответствующих измерений;столбец 2 — название измеряемого параметра;столбец 3 — состояние вакууметров (11 — в режиме измерений);столбец 4 — значение измеряемого параметра;столбец 5 — код единиц измерений вакуумметров (59 — в паскалях);столбец 6 — код возникшей ошибки (0 — в штатном режиме);столбец 7 — очередность измеряемых данных (0 — нет приоритета).столбец 6столбец 7Alert ID00000Priority0000000000000002.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаПриложение Г.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
