231b_v025 (810495), страница 5
Текст из файла (страница 5)
15. Окно установления связи с блоком управления БУ насосами и вакуумметрамиI.6.Установитесвязьс блокомуправления БУнасосамии вакуумметрами. ↓В окне для установления связи [Connect To System] (рис. 15)нажмите кнопку [Auto-detect system]. После успешного соединения с БУ,программа предоставит доступ к информации о подключенном оборудовании.Если автоматического подключения не происходит, остановитепроцесс подключения и сметите номер COM-порта на следующийпо списку [COM Port:] → COM# 12.На вкладках [Pump speed and power] и [Pump status & control]находятся информационные данные и органы управления вакуумныминасосами (рис. 16).11Здесь и далее названия кнопок, окон, всплывающих меню и др. элементов программыуказаны в квадратных скобках.12# обозначена соответствующая цифра COM-порта для связи устройства с ПК.272.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаНа вкладке [Gauges] находятся информационные данные и органы управления вакуумметрами (рис.
17).Ознакомьтесь со справкой программного обеспечения, вызываемой кнопкой [Help] → [Contents], и пользуйтесь ей по мере необходимости. Вышеупомянутые действия описаны в п. 2.1 справки (разд. сп. 2.1<Загрузка> 13).Рис. 16. Главное окно программы с открытыми вкладками данных о насосахВыберите данные для записи в файл. ↓Вызовите окно записи данных через верхнее меню [Utilites] →[Data Logging Manager].В открывшемся окне установите «галочки» в чекбоксы (☑)напротив позиций:− [TIC Turbo Speed] — скорость вращения турбины ТМ насоса;− [TIC Turbo Power] — потребляемая турбиной ТМ насоса мощность;I.7.13Здесь и далее в треугольных скобках будут указаны соответствующие разделы справки,с которыми рекомендуется ознакомиться перед выполнением тех или иных действий (разд.
спр. <Introduction>).282.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуума− [TIC Gauge 1] — показания вакуумметра В1;− [TIC Gauge 2] — показания вакуумметра В2;− [TIC Gauge 3] — показания вакуумметра В3.Установите интервал опроса данных в колонке [Period] — 2 секунды (рис. 18).Подтвердите выбор данных кнопкой [OK] и окно закроется.Данные показаний вакууметров записываются в паскалях.Рис.
17. Главное окно программы с открытыми вкладками данных о вакуумметрах и общихданных БУВключите запись выбранных данных в файл 14. ↓Активируйте запись данных, установив «галочку» в чекбокс[Activate Data Logger:] вверху основного окна программы (рис.
17).В результате указанных действий выбранные данные будут записываться в файл 15 на протяжении выполнения всей работы.I.8.Альтернативный, но менее удобный вариант — производить съемку показаний датчиковиспользуя напр. смартфон. Также периодически можно делать скриншоты для выполненияоценок.14292.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаРис. 18. Окно записи данных с необходимыми установками для записиТабл. 1. Таблица записи ключевых показаний и действийВремяПоказанияВ1ПоказанияВ2ПоказанияВ3МощностьТМНt,чч:мм:ссP1, ПаP2, ПаP3, ПаW, Вт…………Пункты заданияи комментарии…I.9.Подготовьте рабочую тетрадь для фиксации ключевых параметров.
↓Так как запись данных происходит в течение всей работы, тов рабочей тетради можно фиксировать только ключевые показания, периоды времени по часам ПК и делать соответствующие пометки, чтобыв дальнейшем при обработке записанных данных идентифицировать их со своими действиями. Для этих целей удобно предварительнозаготовить в тетради несколько листов в виде таблицы (табл. 1.) и заполнять соответствующие ячейки по мере необходимости.15Данные записываются в файл формата ГГГГММДД.csv, где ГГГГММДД дата записи файла.302.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаII. Определение откачиваемого объёмаи измерение скорости откачки форвакуумным насосомОткачайте установку форвакуумным насосом ПРН.
↓Включите ПРН кнопкой [Start Pump] окна [Backing Pump] вкладки [Pump status & control]. Отметьте время запуска в тетради. Откачайтеустановку до предельного давления, которое можно определитьпо динамике показаний вакууметров.Если по истечении ~5 минут показания вакуумметров будут отличаться от заявленного производителем предельного давления насоса2,5×10-2 мбар (см. прил. 1Б) более чем на порядок, остановите откачку(кнопка [Start Pump] окна [Backing Pump] вкладки [Pump status & control])и ещё раз проверьте состояние кранов.Зафиксируйте время откачки и предельное давление в системе.II.2.Присоедините к установке сильфон с воздухом при атмосферномдавлении.
↓Внимание: во время монтажа ко всем вакуумным поверхностямсоединительных элементов, включая уплотнительные кольца,можно касаться только используя латексные перчатки 16!Отсоедините заглушку З от крана МК3 (кран МК3 закрыт!). Протрите вакуумные поверхности сильфона С, заглушки З, а также уплотнительные кольца безворсовой тканью смоченной обезжиривающей жидкостью. Установите заглушку З на один конец гибкого сильфона 17, а другойконец присоедините к крану МК3 (см. прил. 1А).При этом в сильфоне между заглушкой и краном будет «заперто»252 мл воздуха при атмосферном давлении.II.3.Выровняйте давления в сильфоне С и вакуумной камере К экспериментального стенда.
↓Перекройте откачку вакуумной камеры К, закрыв кран МК2. Далее предельно плавно, не допуская резкого изменения показаний вакуумметра В1, откройте кран МК3 для распространения «запертого» воздуха по объёму вакуумной камеры К (насос ПРН должен оставаться включенным!). Зафиксируйте установившиеся показания вакуумметра В1 18.Сделайте выводы о точности его показаний в данном диапазоне измерений.II.1.161718См.
правила вакуумной гигиены на стр. 21.Все необходимые вакуумные элементы можно получить у лаборанта.Время установления давления может составлять до 1−2 минут.312.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаII.4.Выровняйте давление вакуумной камеры К и форвакуумной магистрали установки. ↓Закройте краны МК1 и МК4. Далее плавно откройте кран МК2.Зафиксируйте установившиеся показания вакуумметра В1. Насос ПРНпри этом остается включенным и откачивает только масляную ловушкуи сильфон С до крана МК4.II.5.Выровняйте давление во всей установке, включая объем турбомолекулярного насоса ТМН.
↓Плавно откройте кран МК1, запустив воздух в объём насоса ТМН. Зафиксируйте установившиеся показания вакуумметра В1.(насос ПРН должен оставаться включенным!).II.6.Напустите в установку воздух до атмосферного давления. ↓Выключите насос ПРН и откройте кран МК4.Ручку тонкой регулировки КН со шкалой плавно вращайтедо упора против часовой стрелки (около 14-ти полных оборотов).II.7.Подготовьте установку к повторному выполнению части II задания. ↓Закройте КН плавно вращая ручку тонкой регулировки со шкалойдо упора по часовой стрелке (около 14-ти полных оборотов). Закройтекран МК3.II.9.Измерения по пп. II.1−II.7 повторите ещё 1−2 раза, каждый разфиксируя время начала работы форвакуумного насоса ПРН.Если достигается приемлемая повторяемость, можно переходитьк следующей части задания.Расчетное время выполнения частей I, II задания не более 1 часа.Определите объёмы вакуумных частей установки согласнопп. VI.1.
Определите скорость откачки системы насосом ПРНпо улучшению вакуума во время откачки согласно пп. VI.2.19 Для получения требуемых параметров используйте файл с записанными данными.III. Измерение скорости откачки турбомолекулярным насосом и определение предельного вакуумаIII.1.19Отсоедините сильфон от установки. ↓Внимание: во время демонтажа ко всем вакуумным поверхностямсоединительных элементов, включая уплотнительные кольца,Обработку данных рекомендуется выполнять после завершения работы на установке.322.3.1Б Современные средства получения и измерения вакуумаможно касаться, только используя латексные перчатки! После окончаниядемонтажа поместите все неиспользуемые вакуумные детали в герметичный пакет с замком.Отсоедините сильфон от установки и установите заглушку Зна кран МК3. Откройте кран МК3, чтобы убрать из установки запертыйобъем с воздухом между заглушкой З и краном МК3.III.2.
Откачайте установку форвакуумным насосом ПРН (см. пп. II.1).III.3. Откачайте объём турбомолекулярным насосом ТМН. ↓Откройте шибер ШЗ, закройте кран МК2. Определите по схеме,по каким магистралям и какие объёмы будут откачиваться двумя насосами при данном состоянии кранов.Включите ТМН кнопкой [Start Pump] окна [Turbo Pump] вкладки[Pump status & control].
Отметьте время начала работы насоса ТМН.Откачайте установку до предельного давления, которое можноопределить по динамике показаний вакуумметров В2 и В3. Еслипо истечении ~5 минут скорость вращения турбины не выйдетна предельную 99,9 % (см. прил. 2Б), остановите откачку (кнопка [StartPump] окна [Turbo Pump] вкладки [Pump status & control]) и ещё раз проверьте состояние кранов.Проанализируйтеработувакууметров.Убедитесь,что терморезисторный вакуумметр В1 достиг своего предела измерений,в то время как инверсно-магнетронный вакуумметр В2 включился и отображает корректное давление в системе. Зафиксируйте предельное давление в высоковакуумной части установки и время откачки установки насосом ТМН.III.4.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
