CBRR1902 (729258), страница 4

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 4)

Ïðè íàêëåèâàíèè òîðöà ñëèòêà 1 íà îïðàâêó îáû÷íî èñïîëü­çóþò øåëëàê èëè ýïîêñèäíóþ ñìîëó. Øåëëàê- ýòî ïðèðîäíîå îð­ãàíè÷åñêîå âåùåñòâî, èìåþùåå ïëàñòèí÷àòîå ñòðîåíèå. Îí ïëàâèò­ñÿ ïðè 75-90°Ñ è ðàñòâîðÿåòñÿ â ýòèëîâîì ñïèðòå. Îïðàâêó íàãðåâàþò äî òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ øåëëàêà è «àíîñÿò åãî òîíêèé ñëîé. Çàòåì ñèëüíî ïðèæèìàþò ñëèòîê ê îïðàâêå, âûäàâëèâàÿ èç­ëèøêè øåëëàêà, è îõëàæäàþò. Ýïîêîèäíàÿ ñìîëà-ýòî ñèíòåòè÷åñêîå âåùåñòâî, îáëàäàþùåå â òâåðäîì ñîñòîÿíèè âûñîêîé ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòüþ. Ïîñëå ñìåøèâàíèÿ ýïîêñèäíîé ñìîëû ñ îòâåðäèòåëåì ïîëó÷åííóþ ñìåñü íàíîñÿò íà îïðàâêó, ïðèæèìàþò ê íåé ñëèòîê è ïîìåùàþò èõ â òåðìîñòàò.  òåðìîñòàòå îïðàâêó ñî ñëèòêîì âûäåðæèâàþò ïðè 120-150°Ñ â òå÷åíèå 1,5-2 ÷, ïîñëå ÷åãî îõëàæäàþò. Îáû÷íî èñïîëüçóþò ýïîêñèäíóþ ñìîëó ìàðîê ÝÄ-16 èëè ÝÄ-20. Ïåðåä íàêëåéêîé ïîâåðõíîñòü îïðàâêè è òîðåö ñëèòêà îáåçæèðèâàþò îðãàíè÷åñêèìè ðàñòâîðèòåëÿìè è ïðîòèðàþò.

Ìàñòèêó, êîòîðóþ íàíîñÿò íà îáðàçóþùóþ ñëèòêà äëÿ óäåðæèâàíèÿ îòðåçàííûõ ïëàñòèí, ïðèãîòîâëÿþò èç êîìïîíåíòîâ è íàïîëíèòåëåé. Íàïîëíèòåëè íåîáõîäèìû äëÿ òîãî, ÷òîáû ïðèäàòü ñðàâíèòåëüíî òîëñòîìó ñëîþ ìàñòèêè, íàíåñåííîìó íà ñëèòîê, äîñòàòî÷íóþ ìåõàíè÷åñêóþ ïðî÷íîñòü. Åñëè â êà÷åñòâå íàïîëíèòåëÿ íåïîëüçóþò àáðàçèâíûé ïîðîøîê, òî ðåæóùàÿ êðîìêà êðóãà ÀÊÂÐ, âðåçàÿñü â ìàñòèêó, ïîäâåðãàåòñÿ ïðàâêå. Íàèáîëåå ÷àñòî èñïîëüçóþò ìàñòèêó, ñîäåðæàùóþ 3 ìàñ. ÷. øåëëàêà, 4 ìàñ. ÷. àáðàçèâíîãî ïîðîøêà è 2 ìàñ. ÷. ýïîêñèäíîé ñìîëû. Çåðíèñòîñòü àáðàçèâíîãî ïîðîøêà âûáèðàþò â ïðåäåëàõ 20-40 ìêì.

Îðèåíòàöèþ èëè ïîèñê çàäàííîé êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé ïëîñêîñòè ìîíîêðèñòàëëà è îïðåäåëåíèå ïîëîæåíèÿ ýòîé ïëîñêîñòè îòíîñèòåëüíî òîðöà ñëèòêà ïðîèçâîäÿò íà ñïåöèàëüíîì îáîðóäîâàíèè îïòè÷åñêèì èëè ðåíòãåíîâñêèì ìåòîäàìè.

Ðèñ. 8. Ôèêñàöèÿ îòðåçàííûõ Ðèñ. 9. Îïòè÷åñêèé ìåòîä îðèåíòàöèè

ïëàñòèí ñ ïîìîùüþ ìàñòèêè: ìîíîêðèñòàëëîâ:

1 - слиток, 2 - слой мастики, à - ñõåìà îðèåíòàöèè, б - световые фигуры

3 - круг АКВР , 4 - барабан на плоскостях (1 1 1) и (1 0 0);

1 - слиток ориентации (1 1 1), 2 -плос-

кость торца, 3 - ýêðàí

 îñíîâó îïòè÷åñêîãî ìåòîäà îðèåíòàöèè ìîíîêðèñòàëëîâ ïîëîæåíî ñâîéñòâî ïðîòðàâëåííûõ ïîâåðõíîñòåé îòðàæàòü ñâåòîâûå ëó÷è â ñòðîãî îïðåäåëåííîì íàïðàâëåíèè. Ïðè ýòîì îòðàæàþùàÿ ïëîñêîñòü âñåãäà ñîâïàäàåò ñ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèìè ïëîñêîñòÿìè òèïà {111}. Îòêëîíåíèå òîðöà ñëèòêà îò êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé ïëî­ñêîñòè (111) ïðèâîäèò ê îòêëîíåíèþ îòðàæåííîãî ëó÷à íà ìàòîâîì ýêðàíå íà ðàññòîÿíèå l (ðèñ. 9, à), õàðàêòåðèçóþùååñÿ óãëîì ðàçîðèåíòàöèè òîðöà îò ïëîñêîñòè (111).

Îòðàæåííûé ëó÷ îáðàçóåò íà ýêðàíå ñâåòîâûå ôèãóðû, ôîðìà êîòîðûõ îïðåäåëÿåòñÿ êîíôèãóðàöèåé ÿìîê, âûòðàâëåííûõ íà òîðöå ñëèòêà ñåëåêòèâíûìè òðàâèòåëÿìè. Òèïè÷íîé ñâåòîâîé ôèãóðîé äëÿ ñëèòêà, âûðàùåííîãî â íàïðàâëåíèè [111], ÿâëÿåòñÿ òðåõëåïåñòêîâàÿ çâåçäà, à äëÿ ñëèòêà, âûðàùåííîãî â íàïðàâëåíèè [100],-÷åòûðåõëåïåñòêîâàÿ çâåçäà (ðèñ.9,á).

§ 6. Ôîðìèðîâàíèå ôàñîê íà êðîìêàõ ïëàñòèí

Ñíÿòèå ôàñîê ñ êðîìîê ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò äëÿ äîñòèæåíèÿ íåñêîëüêèõ öåëåé. Âî-ïåðâûõ, äëÿ óäàëåíèå ñêîëîâ íà îñòðûõ êðîìêàõ ïëàñòèí, âîçíèêàþùèõ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Âî-âòîðûõ, äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ âîçìîæíîãî îáðàçîâàíèÿ ñêîëîâ â ïðîöåññå ïðîâåäåíèÿ îïåðàöèé, íåïîñðåäñòâåííî ñâÿçàííûõ ñ ôîðìèðîâàíèåì ñòðóêòóð ïðèáîðîâ. Ñêîëû, êàê èçâåñòíî, ìîãóò ñëóæèòü èñòî÷íèêàìè ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ â ïëàñòèíàõ ïðè ïðîâåäåíèè âûñîêîòåìïåðàòóðíûõ îáðàáîòîê è ëàæåí ÿâëÿòüñÿ ïðè÷èíîé ðàçðóøåíèÿ ïëàñòèí. Â-òðåòüèõ, äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ îáðàçîâàíèÿ íà êðîìêàõ ïëàñòèí óòîëùåíèÿ ñëîåâ òåõíîëîãè÷åñêèõ æèäêîñòåé (ôîòîðåçèñòîâ, ëàêîâ), êîòîðûå ïîñëå çàòâåðäåâàíèÿ íàðóøàþò ïëîñêîñòíîñòü ïîâåðõíîñòè. Òàêèå æå óòîëùåíèÿ íà êðîìêàõ ïëàñòèí âîçíèêàþò ýðè íàíåñåíèè íà èõ ïîâåðõíîñòü ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ è äèýëåêòðèêîâ.

Ôîðìèðîâàíèå ôàñîê ïðîèçâîäÿò ìåõàíè÷åñêèì ñïîñîáîì (øëèôîâàíèåì è ïîëèðîâàíèåì), õèìè÷åñêèì èëè ïëàçìîõèìè÷åñêèì òðàâëåíèåì. Ïëàçìîõèìè÷åñêîå òðàâëåíèå ôàñîê îñíîâàíî íà òîì, ÷òî îñòðûå êðîìêè â ïëàçìå ðàñïûëÿþòñÿ ñ áîëüøåé ñêîðîñòüþ, ÷åì äðóãèå îáëàñòè ïëàñòèí, ââèäó òîãî, ÷òî íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ íà îñòðûõ êðîìêàõ ñóùåñòâåííî âûøå. Ýòèì ñïîñîáîì ìîæíî ïîëó÷èòü ôàñêà ñ ðàäèóñîì çàêðóãëåíèÿ íå áîëåå 50-100 ìêì. Õèìè÷åñêîå òðàâëåíèå îáåñïå÷èâàåò áîëüøèé ðàäèóñ ôàñîê, îäíàêî è õèìè÷åñêîå, è ïëàçìîõèìè÷åñêîå òðàâëåíèå íå ïîçâîëÿþò èçãîòîâëÿòü ôàñêè ðàçëè÷íîãî ïðîôèëÿ. Êðîìå òîãî, òðàâëåíèå ÿâëÿåòñÿ ïëîõî óïðàâëÿåìûì è êîíòðîëèðóåìûì ïðîöåññîì, ÷òî îãðàíè÷èâàåò åãî øèðîêîå ïðîìûøëåííîå ïðèìåíåíèå.

 ïðîèçâîäñòâå ÷àùå âñåãî èñïîëüçóþò ñïîñîá ôîðìèðîâàíèÿ ôàñîê ïðîôèëüíûì àëìàçíûì êðóãîì. Ñõåìà îáðàáîòêè ïëàñòèíû 1 àëìàçíûì êðóãîì 2 ïîêàçàíà íà ðèñ.. 10. Ýòèì ñïîñîáîì ìîãóò áûòü èçãîòîâëåíû ôàñêè ðàçíîîáðàçíîé ôîðìû (ðèñ. 11, à-â). Íà ïðàêòèêå ÷àùå âñåãî ôîðìèðóþò ôàñêè, ôîðìà êîòîðûõ ïîêàçàíà íà ðèñ. 11, à.  ïðîöåññå îáðàáîòêè ïëàñòèíà çàêðåïëÿåòñÿ íà âàêóóìíîì ñòîëèêå ñòàíêà è âðàùàåòñÿ âîêðóã ñâîåé îñè. ×àñòîòà âðàùåíèÿ ïëàñòèíû 10-20 îá/ìèí, àëìàçíîãî êðóãà 4000-10000 îá/ìèí. Àëìàçíûé êðóã ïðèæèìàåòñÿ ê ïëàñòèíå ñ óñèëèåì 0,4-0,7 Í. Îñü âðàùåíèÿ êðóãà ïåðåìåùàåòñÿ îòíîñèòåëüíî îñè âðàùåíèÿ âàêóóìíîãî ñòîëèêà òàê, ÷òîáû îáðàáîòêå

Рис. 10. Схема Рис. 11

формирования фаски про- Варианты исполнения фаски:

фильным алмазным кругом: а - с закругленнными кромками;

1-полупроводниковая пластина á - çàêðóãëåííîé ïåðåôåðèåé

2 - алмазный круг. в - со скошенными кромками.

íèêîâûå ñîåäèíåíèÿ øëèôóþò ïðè äàâëåíèè â 1,5-2,5 ðàçà ìåíüøåì, ÷åì êðåìíèé.  ïðîöåññå øëèôîâàíèÿ ïëàñòèíû ïåðèîäè÷åñêèïîäâåðãàþò âèçóàëüíîìó îñìîòðó è êîíòðîëþ ïî òîëùèíå.

Íàðÿäó ñ äâóñòîðîííèì øëèôîâàíèåì øèðîêîå ðàñïðåñòðàíåíèå ïîëó÷èëî îäíîñòîðîííåå øëèôîâàíèå ïëàñòèí, ñõåìà êîòîðîãî ïðèâåäåíà íà ðèñ. 12. Ïëàñòèíû 2 ïîìåùàþò , â ñåïàðàòîð 3 è ïðèæèìàþò ãðóçîì 4 ê øëèôîâàëüíèêó 1.

Ðèñ. 12 Ñõåìà îäíîñòîðîííåãî

øëèôîâàíèÿ ñâÿçàííûì àáðàçèâîì:

1 - øëèôîâàëüùèê, 2- пластина, 3 -ñåïàòàòîð,

4 - груз

Íà øëíôîâàëüíèê ïîäàþò àáðàçèâíóþ ñóñïåíçèþ. Îáðàáîòêà, ïðîèñõîäèò òàê æå, êàê è ïðè äâóñòîðîííåì øëèôîâàíèè. Òàêèì ñïîñîáîì âîçìîæíî øëèôîâàòü ïëàñòèíû ðàçíîé òîëùèíû. Îäíàêî ìåæäó ïëàñòèíîé è ãðóçîì ìîæåò ïîïàäàòü èíîðîäíîå âêëþ÷åíèå (àáðàçèâ, ÷àñòèöû ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà, ìåòàëëè÷åñêàÿ ñòðóæêà è ò. ï.), óõóäøàþùåå òî÷íîñòü îáðàáîòêè. Ïîýòîìó - ÷àùå ïëàñòèíû ïðè îäíîñòîðîííåì øëèôîâàíèè êðåïÿò ê øëèôîâàëüíîé ãîëîâêå.

Пðè øëèôîâàíèè èñïîëüçóþò òðè ñïîñîáà êðåïëåíèÿ ïëàñòèí: ïðèêëåèâàíèåì, îïòè÷åñêèì êîíòàêòîì è âàêóóìíîé ôèêñàöèåé. Îñíîâíûìè òðåáîâàíèÿìè êðåïëåíèÿ ïëàñòèí ÿâëÿþòñÿ ñòðîãàÿ ïàðàëëåëüíîñòü áàçîâîé ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí ïîâåðõíîñòè øëèôîâàëüíîé ãîëîâêè, à òàêæå íàäåæíîñòü êðåïëåíèÿ.

§ 7. Øëèôîâàíèå ïëàñòèí ñâîáîäíûì è ñâÿçàííûì àáðàçèâîì

Îñíîâíûì íàçíà÷åíèåì øëèôîâàíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ÿâëÿåòñÿ èñïðàâëåíèå ïîãðåøíîñòåé èõ ãåîìåòðè÷åñêîé ôîðìû ïîñëå ðåçêè Íåñìîòðÿ íàòå ÷òî ãëóáèíà íàðóøåííîãî ñëîÿ ïîñëå øëèôîâàíèÿ ïðèìåðíî òàêàÿ æå, êàê è ïîñëå ðåçêè,ñëåäóåò óêàçàòü íà áîëüøóþ ðàâíîìåðíîñòü ãëóáèíû íàðóøåíèé, âíîñèìûõ øëèôîâàíèåì.

Ðèñ. 13. Ñõåìà äâóñòîðîííåãî øëèôîâàíèÿ

ñâîáîäíûì àáðàçèâîì:

1 - система охлождения, 2,7 - шлифовальники,

3,6 - внутренняя и наружная шестерни,

4 - сепараторы , 5 - пластины

Ïî õàðàêòåðó âîçäåéñòâèÿ àáðàçèâà íà ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèíû ðàçëè÷àþò øëèôîâàíèå ñâîáîäíûì è ñâÿçàííûì àáðàçèâîì.  çàâèñèìîñòè îò çåðíèñòîñòè èñïîëüçóåìîãî àáðàçèâà, ðåæèìîâ îáðàáîòêè è êà÷åñòâà ïîëó÷åííîé ïîâåðõíîñòè ðàçëè÷àþò ïðåäâàðèòåëüíîå (÷åðíîâîå) è îêîí÷àòåëüíîå (÷èñòîâîå) øëèôîâàíèå.

Øëèôîâàíèå ñâîáîäíûì àáðàçèâîì îáëàäàåò ðÿäîì ïðåèìóùåñòâ, êîòîðûå îáóñëîâèëè øèðîêîå ïðîìûøëåííîå èñïîëüçîâàíèå ïðè èçãîòîâëåíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí Îáðàáîòàíèêå ïëàñòèíû íå èìåþò íà ïîâåðõíîñòè çàìåòíûõ ñëåäîâ íàïðàâëåííîãî äâèæåíèÿ àáðàçèâà, èõ ñòîðîíû îòëè÷àþòñÿ ìàòîâûì îäíîðîäíûì áëåñêîì. Âîçìîæíîñòü ñàìîóñòàíàâëèâàíèÿ øëèôîâàëüíèêà è îáðàáàòûâàåìûõ ïëàñòèí îáåñïå÷èâàåò óëó÷øåíèå ãåîìåòðèè êàê ñàìèõ ïëàñòèí, òàê è øëèôîâàëüíèêà. Ïðè ñâîáîäíîé óêëàäêå ïëàñòèí (áåç æåñòêîãî êðåïëåíèÿ) îòñóòñòâóþò íàïðÿæåíèÿ â ïëàñòèíàõ, ñíèæàåòñÿ âëèÿíèå ïîãðåøíîñòåé èçãîòîâëåíèÿ è âèáðàöèé ñòàíêà íà òî÷íîñòü îáðàáîòêè.

Ñõåìà äâóñòîðîííåãî øëèôîâàíèÿ ïëàñòèí ñâîáîäíûì àáðàçè­âîì ïîêàçàíà íà ðèñ. 13.Ïëàñòèíû 5 ïîìåùàþò â ñåïàðàòîðû 4, âûïîëíåííûå â âèäå ïëàñòèí ñ íàðóæíûì çóá÷àòûì âåíöîì. Çóáüÿ ñåïàðàòîðîâ âõîäÿò â çàöåïëåíèå ñ çóá÷àòûìè øåñòåðíÿìè 3 è 6. Âíóòðåííÿÿ øåñòåðíÿ 3 èìååò íàðóæíûé çóá÷àòûé âåíåö, à âíåøíÿÿ øåñòåðíÿ 6-âíóòðåííèé. Øåñòåðíè 3 è 6 ïðèâîäÿòñÿ âî âðàùåíèå è ÷åðåç çóá÷àòûå çàöåïëåíèÿ âðàùàþò ñåïàðàòîðû. Îäíîâðåìåííî ñåïàðàòîðû ïåðåìåùàþòñÿ âîêðóã îñè øëèôîâàëüíèêîâ 2, 7. Öåíòðû îòâåðñòèé â ñåïàðàòîðàõ íå ñîâïàäàþò ñ öåíòðàìè ñàìèõ ñåïàðàòîðîâ, ïîýòîìó ïðè èõ âðàùåíèè ïëàñòèíû ñîâåðøàþò äîïîëíèòåëüíîå äâèæåíèå âîêðóã öåíòðîâ ñåïàðàòîðîâ, ñïîñîáñòâóþùåå áîëåå ðàâíîìåðíîé îáðàáîòêå ïëàñòèí è ðàâíîìåðíîìó èçíîñó øëèôîâàëüíèêîâ. Íèæíèé øëèôîâàëüíèê 7 íåïîäâèæíî çàêðåïëåí íà ñòàíèíå ñòàíêà, à âåðõíèé øëèôîâàëüíèê 2 ñâîáîäíî óñòàíàâëèâàåòñÿ íà îáðàáàòûâàåìûõ ïëàñòèíàõ.

Ðàáî÷åå äàâëåíèå íà ïëàñòèíû ñîçäàåòñÿ ãèäðàâëè÷åñêèìè óñòðîéñòâàìè è ïåðåäàåòñÿ âåðõíèì øëèôîâàëüíèêîì. Ðàáî÷åå äàâëåíèå ïëàâíî ðåãóëèðóåòñÿ, ÷òî ïîçâîëÿåò îñóùåñòâëÿòü

Ðèñ. 14. Ôîðìà èçíîñà øëèôîâàëüíèêà â âèäå âîãíóòîñòè (à) èëè âûïóêëñ- ñòè (á) è åå âëèÿíèå íà ôîðìîîáðàçîâàíèå ïëàñòèí

íåïðåðûâíûé ïåðåõîä îò ÷åðíîâîãî øëèôîâàíèÿ ê ÷èñòîâîìó. ×àñòîòà âðàùåíèÿ øåñòåðåí òàêæå ïëàâíî ðåãóëèðóåòñÿ, èñêëþ÷àÿ òîë÷êè è óäàðû â ìîìåíòû çàïóñêà è îñòàíîâêè ñòàíêà, ÷òî âàæíî ïðè îáðàáîòêå ïîëóïðîâîäíèêîâ. Øëèôîâàëüíèêè ñíàáæåíû ñèñòåìàìè îõëàæäåíèÿ è êîíòðîëÿ òåìïåðàòóðû, ïîääåðæèâàþùèìè ñòàáèëüíûå óñëîâèÿ îáðàáîòêè. Ïîñòîÿíñòâî òåìïåðàòóðû â çîíå øëèôîâàíèÿ èñêëþ÷àåò íåæåëàòåëüíûå òåðìè÷åñêèå äåôîðìàöèè øëèôîâàëüíèêîâ, êîòîðûå ìîãóò ñíèçèòü òî÷íîñòü îáðàáîòêè, è ïîääåðæèâàåò îäèíàêîâóþ âÿçêîñòü àáðàçèâíîé ñóñïåíçèè âî âðåìåíè, ÷òî âàæíî äëÿ ïîääåðæàíèÿ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòè îáðàáîòêè.

§ 8. Ñïîñîáû äîâîäêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïîëèðîâàíèåì

Ïîëèðîâàíèå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò äëÿ óäàëåíèÿ ïðèïîâåðõíîñòíûõ ñòðóêòóðíî-äåôåêòíûõ ñëîåâ, îáðàçîâàâøèõñÿ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Åñëè ïîëèðîâàíèå îâîäà? à ïîñëå õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ, òî îíî èñïðàâëÿåò äåôåêòû ãåîìåòðè÷åñêîé ôîðìû ïëàñòèí, âîçíèêàþùèå èç-çà íåðàâíîìåðíîñòè òðàâëåíèÿ. Ïî õàðàêòåðó ñúåìà ìàòåðèàëà ðàçëè÷àþò ìåõàíè÷åñêîå, õèìè÷åñêîå è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå. ;

Ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå îñóùåñòâëÿþò ñðåçàíèåì ìèêðîñêîïè÷åñêèõ ÷àñòèö â ðåçóëüòàòå âîçäåéñòâèÿ àáðàçèâíûõ, çåðåí íà îáðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü.  êà÷åñòâå àáðàçèâà èñïîëüçóþò ïîðîøêè ñèíòåòè÷åñêèõ è ïðèðîäíûõ àëìàçîâ, îêñèäîâ õðîìà, öåðèÿ è äð.

Õ è ì è ÷ å ñ ê î å ï î ë è ð î â à í è å îñóùåñòâëÿþò ïîãðóæåíèåì ïëàñòèí â ïîëèðóþùèé òðàâèòåëü. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ áîëüøåé ðàâíîìåðíîñòè ñúåìà ìàòåðèàëà ñî âñåé ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí êàññåòû ñ ïëàñòèíàìè ïðèâîäÿòñÿ âî âðàùåíèå, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ê íèì ïîñòîÿííî ïîäâîäèòñÿ ñâåæèé òðàâèòåëü (ðèñ. 15). Òðàâèòåëè, èñïîëüçóåìûå äëÿ ïîëèðîâàíèÿ ïëàñòèí, ìíîãîîáðàçíû ïî ñîñòàâó. Êðåìíèåâûå ïëàñòèíû òðàâÿò ïðåèìóùåñòâåííî â ñìåñÿõ àçîòíîé, ïëàâèêîâîé è óêñóñíîé êèñëîò, ïðèìåíÿÿ ðàçëè÷íûå ïðîïîðöèè êîìïîíåíòîâ.  ýòè ñìåñè ìîãóò äîáàâëÿòüñÿ âåùåñòâà, ñòàáèëèçèðóþùèå ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ èëè æå êàòàëèçèðóþùèå åãî ðåàêöèè. Ñîåäèíåíèÿ À³Â⁵ òðàâÿò ÷àùå âñåãî â âîäíûõ ðàñòâîðàõ ïåðåêèñè âîäîðîäà è îäíîé èç êèñëîò, íàïðèìåð ñåðíîé, ïëàâèêîâîé, áðîìèñòîâîäîðîäíîé è äð. Êðîìå òîãî, õèìè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå ìîæíî îñóùåñòâëÿòü â ãàçîâîé ñðåäå.

Рис. 15 Химическое полирование пластин:

1. держатель, 2 - кассета, 3 - полупроводниковые

ïëàñòèíû , 4 -ванна с травителем

õ è ì è ê î - ì å õ à í è ÷ å ñ ê î å ï î ë è ð î â à í è å îñóùåñòâëÿþò â ðåçóëüòàòå ñîâìåñòíîãî âîçäåéñòâèÿ õèìè÷åñêèõ è ìåõàíè÷êñêèõ ôàêòîðîâ.

Характеристики

Список файлов реферата