CBRR1902 (729258), страница 3
Текст из файла (страница 3)
Ïðåäâàðèòåëüíàÿ ïîäãîòîâêà ñëèòêà çàêëþ÷àåòñÿ â êàëèáðîâêå åãî íàðóæíîãî äèàìåòðà äî çàäàííîãî ðàçìåðà, ñòðàâëèâàíèè íàðóøåííîãî ñëîÿ, èçãîòîâëåíèè áàçîâûõ è äîïîëíèòåëüíûõ ñðåçîâ, ïîäãîòîâêå òîðöîâûõ ïîâåðõíîñòåé ñ çàäàííîé êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèåé. Çàòåì ðàçäåëÿþò ñëèòîê íà ïëàñòèíû îïðåäåëííîé òîëùèíû. Öåëüþ ïîñëåäóþùåãî øëèôîâàíèÿ ÿâëÿ åòñÿ âûðàâíèâàíèå ïîâåðõíîñòè îòðåçàííûõ ïëàñòèí, óìåíüøåíèå ðàçáðîñà èõ òîëùèí, ôîðìèðîâàíèå îäíîðîäíîé ïîâåðõíîñòè. Ôàñêè ñ îñòðûõ êðîìîê ïëàñòèí ñíèìàþò äëÿ òîãî, ÷òîáû óäàëèòü ñêîëû, îáðàçóþùèåñÿ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Êðîìå òîãî, îñòðûå êðîìêè ïëàñòèí ÿâëÿþòñÿ êîíöåíòðàòîðàìè íàïðÿæåíèé è ïîòåíöèàëüíûìè èñòî÷íèêàìè ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ, êîòîðûå ìîãóò âîçíèêíóòü ïðè ïåðåêëàäûâàíèè ïëàñòèí è ïðåæäå âñåãî ïðè òåðìè÷åñêèõ îáðàáîòêàõ (îêèñëåíèè, äèôôóçèè, ýïèòàêñèè).
Õèìè÷åñêèì òðàâëåíèåì óäàëÿþò íàðóøåííûå ïðèïîâåðõíîñòíûå ñëîè, ïîñëå ÷åãî ïîëèðóþò îáå ñòîðîíû ïëàñòèí èëè òó ñòîðîíó, êîòîðàÿ ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð ïðèáîðîâ. Ïîñëå ïîëèðîâàíèÿ ïëàñòèíû î÷èùàþò îò çàãðÿçíåíèé, êîíòðîëèðóþò è óïàêîâûâàþò.
Ïðè èçãîòîâëåíèè ïðèáîðîâ ñïîñîáàìè íàèáîëåå ðàñïðîñòðàíåííîé ïëàíàðíîé òåõíîëîãèè è åå ðàçíîâèäíîñòåé èñïîëüçóþò òîëüêî îäíó, òàê íàçûâàåìóþ ðàáî÷óþ ñòîðîíó ïëàñòèíû. Ó÷èòûâàÿ çíà÷èòåëüíóþ òðóäîåìêîñòü è âûñîêóþ ñòîèìîñòü îïåðàöèé ïî ïîäãîòîâêå âûñîêîêà÷åñòâåííûõ ïëàñòèí ñ áåçäåôåêòíîé ïîâåðõíîñòüþ, íåêîòîðûå âàðèàíòû èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí ïðåäóñìàòðèâàþò íåñèììåòðè÷íóþ, ò. å. íåîäèíàêîâóþ, îáðàáîòêó èõ ñòîðîí. Íà íåðàáî÷åé ñòîðîíå ïëàñòèíû îñòàâëÿþò ñòðóêòóðíîäåôîðìèðîâàííûé ñëîé òîëùèíîé 5-10 ìêì, êîòîðûé îáëàäàåò ñâîéñòâàìè ãåòòåðà, ò. å. ñïîñîáíîñòüþ ïîãëîùàòü ïàðû è ãàçû èç êîðïóñà ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ïðèáîðà ïîñëå åãî ãåðìåòèçàöèè çà ñ÷åò î÷åíü ðàçâèòîé ïîâåðõíîñòè.
Äèñëîêàöèîííàÿ ñòðóêòóðà ñëîÿ, îáðàùåííàÿ ê ðàáî÷åé ïî âåðõíîñòè ïëàñòèíû, îáëàäàåò ñïîñîáíîñòüþ ïðèòÿãèâàòü è óäåðæèâàòü ñòðóêòóðíûå äåôåêòû èç îáúåìà ïîëóïðîâîäíèêîâîãî êðèñòàëëà, ÷òî çíà÷èòåëüíî ïîâûøàåò íàäåæíîñòü è óëó÷øàåò ýëåêòðî-ôèçè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïðèáîðîâ. Îäíàêî íåñèììåòðè÷íàÿ îáðàáîòêà ñòîðîí ïëàñòèí ñîçäàåò îïàñíîñòü èõ èçãèáà. Ïîýòîìó ãëóáèíó íàðóøåíèé íà íåðàáî÷åé ñòîðîíå ñëåäóåò ñòðîãî êîíòðîëèðîâàòü.
Èñïîëüçîâàíèå â ïîëóïðîâîäíèêîâîì ïðîèçâîäñòâå ïëàñòèí ñòàíäàðòèçîâàííûõ ðàçìåðîâ ïîçâîëÿåò óíèôèöèðîâàòü îáîðóäîâàíèå è îñíàñòêó íà âñåõ îïåðàöèÿõ, íà÷èíàÿ îò èõ ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè è çàêàí÷èâàÿ êîíòðîëåì ïàðàìåòðîâ ãîòîâûõ ñòðóêòóð.  îòå÷åñòâåííîé è çàðóáåæíîé ïðîìûøëåííîñòè íàøëè ïðèìåíåíèå ïëàñòèíû äèàìåòðîì 40, 60, 76, 100, 125, 150 è 200 ìì. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëàñòèíû çàäàííîãî äèàìåòðà îñóùåñòâëÿþò êàëèáðîâêó âûðàùåííîãî ïðîâîäíèêîâîãî ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî ñëèòêà.
Ðèñ. 5 Êàëèáðîâêà ñëèòêà êðóãëûì øëèôîâàíèåì: à,á - ïåðåôåðèåé è òîðöîì êðóãà,1 - ñèòîê, 2 -øëèôîâàëüíûé êðóã
§ 4. Êàëèáðîâêà ñëèòêîâ
Êàê ïðàâèëî, êàëèáðîâêó ïðîèçâîäÿò ñïîñîáîì íàðóæíîãî êðóãëîãî øëèôîâàíèÿ àëìàçíûìè êðóãàìè íà ìåòàëëè÷åñêîé ñâÿçêå (ðèñ. 5). Ïðè ýòîì èñïîëüçóþò êàê óíèâåðñàëüíûå êðóãëîøëèôîâàëüíûå ñòàíêè (ðèñ. 5, à), òàê è ñïåöèàëèçèðîâàííûå ñòàíêè (ðèñ. 5, á), ïîçâîëÿþùèå ïðîèçâîäèòü êàëèáðîâêó ñ ìàëûìè ðàäèàëüíûìè ñèëàìè ðåçàíèÿ. Åñëè ïðè êàëèáðîâêå êðåìíèåâîãî ñëèòêà íà óíèâåðñàëüíîì êðóãëîøëèôîâàëüíîì ñòàíêå ãëóáèíà íàðóøåííîãî ñëîÿ äîñòèãàåò 150-250 ìêì, òî ïðèìåíåíèå ñïåöèàëèçèðîâàííûõ ñòàíêîâ îáåñïå÷èâàåò ñíèæåíèå ãëóáèíû íàðóøåííîãî ñëîÿ äî 50-80 ìêì. Êàëèáðîâêó ÷àùå âñåãî ïðîâîäÿò â íåñêîëüêî ïðîõîäîâ. Ñíà÷àëà çà ïåðâûå ÷åðíîâûå ïðîõîäû ñíèìàþò îñíîâíîé ïðèïóñê àëìàçíûìè êðóãàìè çåðíèñòîñòüþ 160-250 ìêì, çàòåì îñóùåñòâëÿþò ÷èñòîâóþ îáðàáîòêó àëìàçíûìè êðóãàìè çåðíèñòîñòüþ 40-63 ìêì.
Ðèñ. 6. Ïðèìåðû âçàèìíîãî ðàñïîëîæåíèÿ áàçîâûõ è âñïîìîãàòåëüíûõ ñðåçîâ
íà ïëàñòèíàõ êðåìíèÿ:
à-ÊÄÁ 10 (Ill), á-ÊÝÔ 4,5 (100); â-ÊÝÔ 4.5 (Ill). à-ÊÄÁ 10 (100). Ä-ÊÝÔ 7,5 (111). å-ÊÝÔ (ÍÈ, àñ-ÊÝÔ 0,5 (Ill), ç-ÊÝÔ 0.2 (111). í-ÊÝÔ 2 (Ill), ê-ÊÝÑ 0,01 (111)
Ïîñëå êàëèáðîâêè Öèëèíäðè÷åñêîé ïîâåðõíîñòè íà ñëèòêå âûïîëíÿþò áàçîâûé è äîïîëíèòåëüíûå (ìàðêèðîâî÷íûå) ñðåçû. Áàçîâûé ñðåç äåëàþò äëÿ îðèåíòàöèè è áàçèðîâàíèÿ ïëàñòèí íà îïåðàöèÿõ ôîòîëèòîãðàôèè. Äîïîëíèòåëüíûå ñðåçû ïðåäíàçíà÷åíû äëÿ îáîçíà÷åíèÿ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèè ïëàñòèí è òèïà ïðîâîäèìîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ. Ïðèìåðû ðàñïîëîæåíèÿ áàçîâûõ è äîïîëíèòåëüíûõ ñðåçîâ ïîêàçàíû íà ðèñ. 6, à - ê. Øèðèíû áàçîâîãî è äîïîëíèòåëüíûõ ñðåçîâ ðåãëàìåíòèðîâàíû è çàâèñÿò îò äèàìåòðà ñëèòêà. Áàçîâûé è äîïîëíèòåëüíûå ñðåçû èçãîòîâëÿþò øëèôîâàíèåì íà ïëîñêîøëèôîâàëüíûõ ñòàíêàõ ÷àøå÷íûìè àëìàçíûìè êðóãàìè ïî ÃÎÑÒ 16172-80 èëè êðóãàìè ïðÿìîãî ïðîôèëÿ ïî ÃÎÑÒ 16167-80. Çåðíèñòîñòü àëìàçíîãî ïîðîøêà â êðóãàõ âûáèðàþò â ïðåäåëàõ 40/28-63/50 ìêì. Îäèí èëè íåñêîëüêî ñëèòêîâ çàêðåïëÿþò â ñïåöèàëüíîì ïðèñïîñîáëåíèè,îðèåíòèðóÿ íåîáõîäèìóþ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêóþ ïëîñêîñòü ïàðàëëåëüíî ïîâåðõíîñòè ñòîëà ñòàíêà.  çîíó îáðàáîòêè ïîäàþò ñìàçî÷íî-îõëàæäàþùóþ æèäêîñòü (íàïðèìåð, âîäó).
Ñðåçû ìîæíî òàêæå èçãîòîâëÿòü íà ïëîñêîäîâîäî÷íûõ ñòàíêàõ ñ ïðèìåíåíèåì àáðàçèâíûõ ñóñïåíçèé íà îñíîâå .ïîðîøêîâ êàðáèäà êðåìíèÿ èëè êàðáèäà áîðà ñ ðàçìåðîì çåðåí 20-40 ìêì. Øëèôîâàíèå ñâîáîäíûì àáðàçèâîì ïîçâîëÿåò óìåíüøèòü ãëóáèíó íàðóøåííîãî ñëîÿ, íî ïðè ýòîì ñíèæàåòñÿ ñêîðîñòü îáðàáîòêè. Ïîýòîìó íàèáîëåå øèðîêî â ïðîìûøëåííîñòè ðàñïðîñòðàíåíî øëèôîâàíèå öèëèíäðè÷åñêîé ïîâåðõíîñòè è ñðåçîâ àëìàçíûìè êðóãàìè.
Ïîñëå øëèôîâàíèÿ ñëèòîê òðàâÿò â ïîëèðóþùåé ñìåñè àçîòíîé, ïëàâèêîâîé è óêñóñíîé êèñëîò, óäàëÿÿ íàðóøåííûé ñëîé. Îáû÷íî ñòðàâëèâàþò ñëîé òîëùèíîé 0,2-1,0 ìì. Ïîñëå êàëèáðîâêè è òðàâëåíèÿ äîïóñê íà äèàìåòð ñëèòêà ñîñòàâëÿåò 0,5 ìì. Íàïðèìåð, ñëèòîê ñ íîìèíàëüíûì (çàäàííûì) äèàìåòðîì 60 ìì ìîæåò èìåòü ôàêòè÷åñêèé äèàìåòð 59,5-60,5 ìì.
§ 5. Ðàçäåëåíèå ïîëóïðîâîäнèêîâûõ ñëèòêîâ íà ïëàñòèíû
Ïðîìûøëåííîå ïîëó÷åíèå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìîíîêðèñòàëëîâ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé âûðàùèâàíèå áëèçêèõ ê öèëèíäðè÷åñêîé ôîðìå ñëèòêîâ, êîòîðûå íåîáõîäèìî ðàçäåëèòü íà çàãîòîâêè-ïëàñòèíû. Èç ìíîãî÷èñëåííûõ ñïîñîáîâ ðàçäåëåíèÿ ñëèòêîâ íà ïëàñòèíû (ðåçêà àëìàçíûìè êðóãàìè ñ âíóòðåííåé èëè íàðóæíîé ðåæóùåé êðîìêîé, ýëåêòðîõèìè÷åñêàÿ, ëàçåðíûì ëó÷îì, õèìè÷åñêèì òðàâëåíèåì, íàáîðîì ïîëîòåí èëè ïðîâîëîêîé, áåñêîíå÷íîé ëåíòîé è äð.) â íàñòîÿùåå âðåìÿ íàèáîëüøåå ïðèìåíåíèå íàøëè ðåçêà àëìàçíûìè êðóãàìè ñ âíóòðåííåé ðåæóùåé êðîìêîé, íàáîðîì ïîëîòåí è áåñêîíå÷íîé ëåíòîé.
À ë ì à ç í û é ê ð ó ã ñ â í ó ò ð å í í å é ð å æ ó ù å é ê ð î ì ê î é.
(AÊÂP) îáåñïå÷èâàåò ðàçäåëåíèå ñëèòêîâ äîñòàòî÷íî áîëüøîãî äèàìåòðà (äî 200 ìì) ñ âûñîêîé ïðîèçâîäèòåëüíîñòüþ, òî÷íîñòüþ è ìàëûìè ïîòåðÿìè äîðîãîñòîÿùèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ. Êðóã ÀÊÂÐ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ìåòàëëè÷åñêèé êîëüöåîáðàçíûé êîðïóñ òîëùèíîé 0,05-0,2 ìì, íà âíóòðåííåé êðîìêå êîòîðîãî çàêðåïëåíû àëìàçíûå çåðíà, îñóùåñòâëÿþùèå ðåçàíèå. Êîðïóñ èçãîòîâëÿþò èç âûñîêîêà÷åñòâåííûõ êîððîçèîííî-ñòîéêèõ õðîìîíèêåëåâûõ ñòàëåé ñ óïðî÷íÿþùèìè ëåãèðóþùèìè äîáàâêàìè.  îòå÷åñòâåííîé ïðîìûøëåííîñòè äëÿ êîðïóñîâ èñïîëüçóþò ñòàëü ìàðêè 12Õ18Í10Ò.
Ôîðìîîáðàçîâàíèå ëåíòû ïðîèçâîäÿò ñïîñîáîì õîëîäíîé ïðîêàòêè, â ðåçóëüòàòå ÷åãî äîñòèãàåòñÿ ïðî÷íîñòü íà ðàçðûâ äî 1760-1960 ÌÏà. Íåäîñòàòêîì õîëîäíîé ïðîêàòêè ÿâëÿåòñÿ âîçíèêíîâåíèå ó ëåíòû àíèçîòðîïèè ìåõàíè÷åñêèõ ñâîéñòâ, ÷òî îáúÿñíÿåòñÿ äåôîðìàöèåé è íàïðàâëåííîé îðèåíòàöèåé çåðåí, îáðàçóþùèõ ñòðóêòóðó ñòàëè. Àíèçîòðîïèÿ òåêó÷åñòè ëåíòû â íàïðàâëåíèè ïðîêàòêè è â íàïðàâëåíèè, ïåðïåíäèêóëÿðíîì åé, ïðåïÿòñòâóåò ðàâíîìåðíîìó íàòÿæåíèþ êîðïóñà êðóãà. Óìåíüøèòü àíèçîòðîïèþ ìîæíî ñîâåðøåíñòâîâàíèåì èñõîäíîé ñòðóêòóðû ñòàëè äî ïðîêàòêè è ïðèìåíåíèåì òåðìîîáðàáîòêè.
Àëìàçîñîäåðæàùèé ðåæóùèé ñëîé íà âíóòðåííåé êðîìêå êîðïóñà ôîðìèðóþò ãàëüâàíîñòåãèåé.  ýëåêòðîëîòè÷åñêóþ âàííó ïîñåùàþò êîðïóñà, çàùèùåííûå èçîëÿòîðàìè ïî âñåé ïîâåðõíîñòè, èñêëþ÷àÿ âíóòðåííþþ êðîìêó. Âàííó çàïîëíÿþò ýëåêòðîëèòîì è çàñûïàþò â íåå àëìàçíûé ïîðîøîê òðåáóåìîé çåðíèñòîñòè. Ïðè ïðîïóñêàíèè ïîñòîÿííîãî ýëåêòðè÷åñêîãî òîêà ìåæäó àíîäîì è êîðïóñàìè íà âíóòðåííåé êðîìêå îñàæäàåòñÿ ìåòàëëè÷åñêèé ñëîé, çàõâàòûâàþùèé è ïðèêðåïëÿþùèé ê êîðïóñó àëìàçíûå çåðíà. îñàæäàåìûé ìåòàëëè÷åñêèé ñëîé íàçûâàåòñÿ ñâÿçêîé. ×àùå âñåãî ýòî íèêåëü èëè êîáàëüò. Òîëùèíà ðåæóùåé êðîìêè â äâà-òðè ðàçà áîëüøå òîëùèíû êîðïóñà.
Ðàçìåð àëìàçíûõ çåðåí, çàêðåïëåííûõ íà âíóòðåííåé êðîìêå, âûáèðàþò â çàâèñèìîñòè îò ôèçèêî-ìåõàíè÷åñêèõ ñâîéñòâ ðàçðåçàåìîãî ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà (òàåðäîñòè, õðóïêîñòè, ñïîñîáíîñòè ê àäãåçèè, ò. å. ïðèëèïàíèþ ê ðåæóùåé êðîìêå). Êàê ïðàâèëî, äëÿ ðåçêè êðåìíèÿ öåëåñîîáðàçíî èñïîëüçîâàòü àëìàçíûå çåðíà ñ ðàçìåðîì îñíîâíîé ôðàêöèè 40-60 ìêì. Çåðíà äîëæíû áûòü äîñòàòî÷íî ïðî÷íûìè è èìåòü ôîðìó, áëèçêóþ ôîðìå ïðàâèëüíûõ êðèñòàëëîâ. Ãåðìàíèé è ñðàâíèòåëüíî ìÿãêèå ïîëóïðîâîäíèêîâûå ñîåäèíåíèÿ òèïà À3Â5 (àðñåíèä ãàëëèÿ, àðñåíèä èíäèÿ,àíòèìîíèä èíäèÿ, ôîñôèä ãàëëèÿ è äð.) öåëåñîîáðàçíî ðåçàòü àëìàçàìè, ðàçìåð çåðåí îñíîâíîé ôðàêöèè êîòîðûõ 28-40 ìêì. Òðåáîâàíèÿ ê ïðî÷íîñòè ýòèõ çåðåí íå ñòîëü âûñîêè, êàê ïðè ðåçêå êðåìíèÿ. Ìîíîêðèñòàëëû ñàïôèðà, êîðóíäà, êâàðöà, áîëüøèíñòâà ãðàíàòîâ ðàçäåëÿþò âûñîêîïðî÷íûìè êðèñòàëëè÷åñêèìè àëìàçàìè ðàçìåð çåðåí îñíîâíîé ôðàêöèè êîòîðûõ 80-125 ìêì.
 ñâÿçè ñ òåì ÷òî äèàìåòðû ñëèòêîâ è ìåõàíè÷åñêèå ñâîéñòâà ðàçðåçàåìûõ ìàòåðèàëîâ ðàçíîîáðàçíû, èñïîëüçóþò êðóãè ÀÊÂÐ ðàçëè÷íûõ òèïîðàçìåðîâ. Õàðàêòåðèñòèêè íàèáîëåå ðàñïðîñòðàíåííûõ èç íèõ ïðèâåäåíû â òàáë-Ç.
Ñõåìó ðåçêè ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ñëèòêà êðóãîì ÀÊ.ÂÐ ïîêàçàíà íà ðèñ. 22. Êðóã 1 ðàñòÿãèâàþò è çàêðåïëÿþò íà áàðàáàíå 2, êîòîðûé ïðèâîäÿò âî âðàùåíèå âîêðóã ñâîåé îñè. Ñëèòîê 3 ââîäÿò âî âíóòðåííåå îòâåðñòèå êðóãà ÀÊÂÐ íà ðàññòîÿíèå, ðàâíîå ñóììå çàäàííîé òîëùèíû ïëàñòèíû è øèðèíû ïðîïèëà. Ïîñëå ýòîãî ïðîèçâîäÿò ïðÿìîëèíåéíîå ïåðåìåùåíèå ñëèòêà îòíîñèòåëüíî âðàùàþùåãîñÿ êðóãà â ðåçóëüòàòå ÷åãî îòðåçàåòñÿ ïëàñòèíà.
Îòðåçàííàÿ ïëàñòèíà ìîæåò ïàäàòü â ñáîðíûé ëîòîê èëè æå óäåðæèâàòüñÿ ïîñëå ïîëíîãî ïðîðåçàíèÿ ñëèòêà íà îïðàâêå 4 êëåÿùåé ìàñòèêîé 5. Ïîñëå ñêâîçíîãî ïðîðåçàíèÿ ñëèòêà åãî îòâîäÿò â èñõîäíîå ïîëîæåíèå è êðóã âûõîäèò èç îáðàçîâàííîé ïðîðåçè. Çàòåì ñëèòîê ñíîâà ïåðåìåùàþò íà çàäàííûé øàã âî âíóòðåííåå îòâåðñòèå êðóãà è ïîâòîðÿþò öèêë îòðåçàíèÿ ïëàñòèíû.
Îáÿçàòåëüíûì óñëîâèåì êà÷åñòâåííîãî ðàçäåëåíèÿ ñëèòêà íà ïëàñòèíû ÿâëÿåòñÿ ïðàâèëüíàÿ óñòàíîâêà è çàêðåïëåíèå êðóãà
Ò à á ë è ö. à 1. Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå äàííûå àëìàçíûõ îòðåàíûõ êðóãîâ ñ âíóòðåííåé ðåæóùåé êðîìêîé
AÊBP. Âûñîêàÿ ïðî÷íîñòü ìàòåðèàëà êîðïóñà êðóãà è åãî ñïîñîáíîñòü ê çíà÷èòåëüíîìó âûòÿãèâàíèþ äàþò âîçìîæíîñòü íàòÿíóòü êðóã íà áàðàáàí ñ äîñòàòî÷íîé æåñòêîñòüþ. Æåñòêîñòü êðóãà íåïîñðåäñòâåííî âëèÿåò íà òî÷íîñòü è êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí, íà ñòîéêîñòü êðóãà, ò. å. ñðîê åãî ñëóæáû, è øèðèíó ïðîïèëà. Íåäîñòàòî÷íàÿ æåñòêîñòü ïðèâîäèò ê âîçíèêíîâåíèþ äåôåêòîâ ãåîìåòðèè ïëàñòèí (íåïëîñêîñòíîñòè, ïðîãèáà, ðàçáðîñà ïî òîëùèíå) è óâåëè÷åíèþ øèðèíû ïðîïèëà, à ÷ðåçìåðíàÿ æåñòêîñòü - ê áûñòðîìó âûõîäó êðóãà èç ñòðîÿ èç-çà ðàçðûâà êîðïóñà.
Óñòàíîâëåíî, ÷òî äëÿ êàæäîãî òèïîðàçìåðà êðóãà AÊBP ñóùåñòâóåò îïòèìàëüíàÿ æåñòêîñòü êîðïóñà, ïðè êîòîðîé îáåñïå÷èâàþòñÿ âûñîêèå ñòîéêîñòü êðóãà è êà÷åñòâî ïëàñòèí, à òàêæå ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ïðîïèëà.
Ðàçðàáîòàíî íåñêîëüêî ñïîñîáîâ îöåíêè è êîíòðîëÿ æåñòêîñòè êðóãà. Íàèáîëåå ïðîñòîé èç íèõ îñíîâàí íà èçìåðåíèè äèàìåòðà âíóòðåííåãî îòâåðñòèÿ êðóãà. Çà ñ÷åò ðàñòÿæåíèÿ ìàòåðèàëà êîðïóñà êðóãà ïðè åãî óñòàíîâêå äèàìåòð âíóòðåííåãî îòâåðñòèÿ óâåëè÷èâàåòñÿ íà 0,5-1,0% åãî èñõîäíîãî çíà÷åíèÿ. Èçìåðÿÿ óâåëè÷åíèå äèàìåòðà âíóòðåííåãî îòâåðñòèÿ ñïåöèàëüíûì èíäèêàòîðîì è äîâîäÿ åãî äî çàäàííîãî çíà÷åíèÿ, äîáèâàþòñÿ òðåáóåìîé æåñòêîñòè êðóãà. Ìîæíî îöåíèòü æåñòêîñòü êðóãà ïî åãî ïðîãèáó ïîä äåéñòâèåì ñîñðåäîòî÷åííîé íàãðóçêè.
Íàèáîëåå îáúåêòèâíóþ îöåíêó æåñòêîñòè ïîçâîëÿåò ïðîèçâåñòè ñïîñîá, îñíîâàííûé íà èçìåðåíèè ñîáñòâåííîé ÷àñòîòû êîëåáàíèé íàòÿíóòîãî êîðïóñà. Èçìåíåíèå æåñòêîñòè êðóãà âûçûâàåò èçìåíåíèå åãî ñîáñòâåííîé ÷àñòîòû êîëåáàíèé, ÷òî ïðîÿâëÿåòñÿ, íàïðèìåð, ïðè èçìåíåíèè âûñîòû çâóêà, âîçíèêàþùåãî ïðè ëåãêîì ïîñòóêèâàíèè ïî êðóãó.
Ðèñ. 7. Ñõåìà ðåçêè ñëèòêà êðóãîì
ÀÊÂÐ:
1 - круг АКВР, 2 - барабан,
3 - слиток, 4 - оправка, 5 - клеящая мастика
Èçìåðåíèå ñîáñòâåííîé ÷àñòîòû êîëåáàíèé íàòÿíóòîãî êðóãà îñóùåñòâëÿþò ñ ïîìîùüþ ñïåöèàëüíîãî ïðèáîðà, ñîñòîÿùåãî èç áåñêîíòàêòíîãî âîçáóäèòåëÿ êîëåáàíèé (ýëåêòðîäèíàìè÷åñêîãî ãðîìêîãîâîðèòåëÿ), áåñêîíòàêòíîãî äàò÷èêà è èçìåðèòåëüíîãî áëîêà. ×àñòîòà âîçáóæäàþùèõ êîëåáàíèé çàäàåòñÿ ãåíåðàòîðîì íèçêîé ÷àñòîòû. Ïî ìàêñèìàëüíîìó ïîêàçàíèþ èíäèêàòîðà óñòàíàâëèâàåòñÿ ìîìåíò ñîâïàäåíèÿ ÷àñòîòû ãåíåðèðóåìûõ êîëåáàíèé ðåçîíàíñíîé ÷àñòîòîé êðóãà. Îïòèìàëüíûå ÷àñòîòû ñîáñòâåííûõ êîëåáàíèé êðóãîâ ñ êîðïóñàìè òîëùèíîé 0,1 ìì, èçãîòîâëåííûõ èç ñòàëè ìàðêè 12Õ18Í10Ò, ñëåäóþùèå: êðóã ÀÊÂÐ 206X83- 1100-1200 Ãö; ÀÊÂÐ 305XIOO-800-850 Ãö, AKBP 422Õ X 152 - 550-600 Ãö.
Ðàçðåçàåìûé ñëèòîê çàêðåïëÿþò íà ñïåöèàëüíîé îïðàâêå, ïðè÷åì ñïîñîá êðåïëåíèÿ çàâèñèò îò òîãî, êàê èçâëåêàþò èç çîíû îáðàáîòêè îòðåçàííûå ïëàñòèíû. Åñëè ïëàñòèíà ïîñëå îòðåçàíèÿ îò ñëèòêà ïàäàåò â çàïîëíåííûé âîäîé ñáîðíûé ëîòîê, òî ñëèòîê êðåïÿò òîëüêî îäíèì òîðöîì ê îïðàâêå. Îäíàêî òàêîé ñïîñîá ïðèâîäèò ê áîþ áîëüøîãî êîëè÷åñòâà ïëàñòèí, òàê êàê äîâîëüíî ëåãêàÿ ïëàñòèíà ìîæåò ïðèëèïíóòü ê ñìî÷åííîìó êîðïóñó êðóãà è ðàçáèòüñÿ ïðè åãî áûñòðîì âðàùåíèè. Äëÿ òîãî ÷òîáû èñêëþ÷èòü ïðèëèïàíèå îòðåçàåìîé ïëàñòèíû, åå ïîääåðæèâàþò âàêóóìíîé ïðèñîñêîé, êîòîðàÿ ôèêñèðóåò åå â ïðîöåññå îòðåçàíèÿ è ïåðåíîñèò â ñáîðíûé ëîòîê èëè íà ëåíòó òðàíñïîðòåðà. Âêëþ÷åíèå è ïåðåìåùåíèå âàêóóìíîé ïðèñîñêè îñóùåñòâëÿþòñÿ àâòîìàòè÷åñêè.
Îòðåçàííûå ïëàñòèíû ìîãóò óäåðæèâàòüñÿ íà îïðàâêå êëåÿùåé ìàñòèêîé, íàíåñåííîé íà îáðàçóþùóþ ñëèòêà. Äîñòàòî÷íî òîëñòûé è øèðîêèé ñëîé ìàñòèêè óäåðæèâàåò îòðåçàííûå ïëàñòèíû áåç îïðàâêè (ðèñ. 8).
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
