Для студентов по предмету ТехнологияПолупроводниковые пластины. Методы их полученияПолупроводниковые пластины. Методы их получения
2016-08-012016-08-01СтудИзба
Реферат: Полупроводниковые пластины. Методы их получения
Описание
Полупроводниковые пластины. Методы их получения
Содержание
- Ââåäåíèå
- Îáùàÿ ñõåìà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà
- Ð èñ. 1 Îáùàÿ ñõåìà ïðîöåññîâ ïðîèçâîäñòâà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ
- Äèôôóçèÿ ïðèìåñè.
- Ýïèòàêñèÿ.
- SiCI4+2H2 4HCI+Si
- Äëÿ êà÷åñòâåííîãî ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà îñàæäåíèÿ òåìïåðàòóðà ïîäëîæåê äîëæíà áûòü 1100-1300°Ñ. Ïðè ïîëó÷åíèè ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ñ çàäàííûìè ñâîéñòâàìè â ñîñòàâ ïàðîãàçîâîÿ ñìåñè ââîäÿò ëåãèðóþùóþ äîáàâêó.
- Ìåòàëëèçàöèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð.
- § 5. Ðàçäåëåíèå ïîëóïðîâîäнèêîâûõ ñëèòêîâ íà ïëàñòèíû
- Ò à á ë è ö. à 1. Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå äàííûå àëìàçíûõ îòðåàíûõ êðóãîâ ñ âíóòðåííåé ðåæóùåé êðîìêîé
- § 6. Ôîðìèðîâàíèå ôàñîê íà êðîìêàõ ïëàñòèí
Характеристики реферата
Тип
Предмет
Просмотров
73
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
364,6 Kb