Расчётно-пояснительная записка к курсовому проекту

по курсу: "Системы автоматического управления оборудования электронных технологий ".

на тему:

“Установка пневмо-абразивной резки полупроводниковых пластин на кристаллы”

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Тема проекта: Установка пневмоабразивной резки полупроводниковых пластин на кристаллы.

Содержание.

1. Введение.

Установка пневмо-абразивной резки предназначена для разделения кремниевых пластин на цилиндрические кристаллы. Кристаллы используются в производстве выпрямительных низкочастотных диодов.

Исходной заготовкой является кремниевая пластина, наклеенная на стеклянную пластину с нанесённым на неё маскирующим покрытием.

Механические свойства кремния ( высокая твёрдость и хрупкость), а также чрезвычайно высокая стоимость пластин из монокристаллического кремния накладывают ряд ограничений на технологию резки.

Исходными заготовками являются пластмассовые кассеты с закреплёнными в них пластинами по ( 5 шт в кассете ). Технический рисунок готового изделия приведён на рис 1.

1. Описание состояний машины

Штатные состояния.

1. Подготовка.

В этом состоянии машина находится после включения электропитания и открытия вентиля, соединяющего установку с пневмосетью. В процессе подготовки производится нагрев абразива и пневмовибрация днища. Оператор устанавливает кассеты с пластинами на транспортёр. По световому сигналу на пульте управления оператор проверяет работоспособность нагревательных элементов. При запуске установки после длительного простоя оператор осуществляет продув пневмовибратора циклона. Все механизмы при этом выключены.

1. Продув пневмовибратора.

После длительного простоя установки абразив из-за своей гигроскопичности слипается в крупные комки и способен забить элементы перекачки абразива. Для предотвращения этого перед работой необходимо произвести продув пневмовибратора циклона. Этот процесс выполняется оператором путём подачи в пневмовибратор повышенного давления на несколько секунд. При этом на слух контролируется работа пневмовибратора. Эта процедура производится только вначале работы и повторяь её во время рабочих циклов нет необходимости.

1. Холостой ход.