Современные способы получения тонких пленок (физико-химические особенности, преимущества и недостатки) (1268270)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Аспирантский семинар кафедры неорганической химииСовременные способы получения тонких пленок(физико-химические особенности, преимущества и недостатки)Докладчик: Харченко А.В.Рецензент: Селезнев Б.В.Материалы в виде тонких пленок (от единиц нанометров до микрона) сегодняиспользуются повсеместно. Для их получения разработано большое количество методов,которые принято относить к двум категориям: физические или химические методы.

Вфизических методах энергия частиц попадающего на поверхность подложки веществапринципиально более велика, чем в химических, поскольку напыление производят изплазмы (магнетронное напыление), молекулярных пучков (MBI) или лазерного факела(laser plume). Большая кинетическая энергия частиц способствует образованию пленок сболее совершенной кристаллической структурой за счет высокой поверхностнойдиффузионной подвижности частиц. В докладе, наряду с названными тремя основнымиметодами, будет также рассмотрен интенсивно развиваемый метод IBAD, которыйпозволяет получать ориентированные пленки на аморфных или поликристаллическихповерхностях.Среди химических методов, в которых энергия диффундирующих частицсопоставима с энергией теплового движения (~kT), выделяют газофазные (CVD),расплавные (LPE) и растворные (CSD).

Их специфика заключается в химическомпревращении соединений, которое может происходить у поверхности и на поверхностинагретой подложки. Наряду с широким разнообразием вариантов активации вещества вгазофазных химических методах (LIMOCVD, PEMOCVD и др.), существует многовариантов нанесения для растворных химических методов (Spin Coating, Dip Coating,Drain Coating, Slot Die, принтерная печать). Большое разнообразие исходных веществ,способов их возбуждения, активации и нанесения позволяет подбирать наиболееподходящий вариант метода для конкретного объекта, в зависимости от егокомпозиционной сложности, температуры плавления и специфических требований кпленочному материалу (например, монокристаллическая пленка на небольшой подложкеили поликристаллическая пленка на техническом субстрате большой площади).

Средихимических методов в докладе будут рассмотрены MOCVD, ALD, а также группа методовполучения пленок из растворов..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов семинаров