Отзыв на автореферат 3 (1149420)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Отзыв на автореферат диссертационной работы КОНАШУКА Алексея Сергеевича на тему «Изучение электронного и й атомного строения нанослоев А1203 при контакте с Т1Х и диэлектриков на основе %02» представленной к защите на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности: 01.04,07 - Физика конденсированного состояния. Главным направлением развития современной кремниевой технологии является уменьшение топологических размеров полупроводниковых элементов с целью достижения максимальной плотности упаковки, максимального быстродействия и минимальной потребляемой мощности.

Долгое время ключевым подзатворным диэлектриком в МДП-транзисторах (металл-диэлектрик-полупроводник), составляющих основу интегральных микросхем, был термический оксид кремния %02. Принципиальным ограничением на пути его дальнейшего использования стала низкая диэлектрическая проницаемость %02 (е = 3.9). Одним из перспективных претендентов на роль подзатворного диэлектрика в МДП-структурах оказался оксид алюминия А120з, что обусловлено: 1) его относительно высокой диэлектрической проницаемостью (е = 10) и в то же время большой шириной запрещенной зоны Е„2) термической стабильностью на границе с кремниевой подложкой; 3) схожестью межфазовых границ А1 Оз/% и %0 /%; 4) существованием высоких потенциальных барьеров для электронов и дырок на, границе диэлектрик/металл, которые определяют паразитные электронные и дырочные инжекционные токи.

Диссертационная работа Конашука А.С. посвящена изучение факторов, влияющих на формирование состояний валентной зоны и зоны проводимости разно модифицированного %0 и разных кристаллических фаз А1~0з, также факторов, влияющих на формирование межфазовой границы А120з/Т1Х. Тема вапаетол иду~аной, поекольку вызвана неойхопнмоотьзо покнманнв формирования энергетических барьеров для носителей тока на границе диэлектрика с различными полупроводниковыми или металлическими, материалами для эффективной изоляции как металлических соединительных линий внутри микрочипа, так и различных функциональных слоев внутри новых наноустройств.

Не вызывает сомнения практическая значимость работы, которая состоит в том, что в ходе исследования в одних экспериментальных условиях были достоверно определены факторы, определяющие положения потолка валентной зоны и дна зоны проводимости %02 на разных этапах модификации Главный научный сотрудник лаборатории электрических явлений, доктор физико-математических наук, профессор Ю.А. Бабанов ФГБУН Институт физики металлов имени М. Н.

Михеева Уральского Отделения Российской Академии Наук Адрес: 620108, г. Екатеринбург, ул. С. Ковалевс Телефон: +7 343 3783837 Егпа11: ЬаЬапоъ ®1гпр.пгап.гы Подпись Бабанова Ю.А. заверяю: его структуры, а также практически важных кристаллических модификаций оксида алюминия и-А1..0з, у-А120з и ам-А120з. Полученные результаты должны способствовать оптимальному выбору кристаллической фазы А120з для его использования в качестве подзатворного диэлектрика в МДП- транзисторах в качестве блокирующего диэлектрика в энергонезависимых элементах памяти. Основные результаты работы достаточно полно отражены в печати, в том числе 7 статьях в рецензируемых научных журналах, индексируемых в международных библиографических базах данных %еЬ о1':.Бс1епсе и 8сориз, и обсуждались на 7 конференциях международного и всероссийского уровня.

' Диссертационная работа носит законченный характер, обладает научной новизной и имеет большую практическую значимость. Считаю, что она полностью удовлетворяет требованиям БАК, предъявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук, а ее автор Конашук Алексей Сергеевич заслуживает присуждения ученой степени кандидата .физикоматематических наук по специальности: 01.04.07 - Физика конденсированного состояния .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации