0752-orgreview (1143965), страница 2
Текст из файла (страница 2)
При этом вакуумирование микроэлектромеханической системы приводит к увеличению эффективности данного метода; — разработан комплекс методик определения упругих свойств плйночных механических структур и методик измерения нелинейных механических характеристик МЭМС; — разработаны конструкции и технологии изготовления поверхностных и объемных нелинейных микромеханических структур для применения в таких МЭМС. Практическая значимость исследования подтверждается широким спектром НИР и ОКР, например, разработкой и изготовлением оптоэлектрических переключателей для широкополосных систем связи, контактных электромеханических реле и вибрационных микромеханических гироскопов для малогабаритных бесплатформенных навигационных систем. Рекомендации по использованию результатов и выводов, приведенных в диссертации Результаты диссертационной работы Энне Якова Борисовича могут быть рекомендованы для практической реализации: на предприятиях микроэлектронной промышленности, выпускающих различные микроэлектронные приборы, в том числе АО «ГИРООПТИКА» (Санкт-Петербург), ОАО с<Авангард» (г.
Санкт-Петербург), АО <сСКТБ РТ» (г. Великий Новгород), АО <сАнгстрем» (г. Москва, Зеленоград), АО <сНПП «Радар ММС»» (г. Санкт-Петербург), ПАО «Светлана» (г. Санкт-Петербург), ПАО «Микрон» (г. Москва, Зеленоград), ФГУП РФЯЦ-ВНИИЭФ "НИИИС им. <О.Е. Седакова" (г.
Нижний Новгород) и т.д.. Кроме того, полученные результаты представляют интерес для использования в НИИ и университетах, занимающихся исследованиями в области микросистемной техники, микро и нано электроники, в частности в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова, Санкт-Петербургском государственном университете, Санкт-Петербургском технологическом институте (техническом университете), Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете, Московском физико-техническом институте и т.д.
Оформление диссертации, публикации и апробации Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, и библиографического списка, включающего 90 наименований. Диссертация содержит 155 страницы машинописного текста, включая 80 рисунков и 4 таблицы. Работа написана ясным, доступным для понимания языком.
Диссертация оформлена в соответствии с требованиями ВАК РФ. Материалы диссертации опубликованы в 18-и научных работах, 3 из которых опубликованы в изданиях, рекомендованных ВАК РФ, 2 патента на полезную модель, 8 статей в научных журналах, индексируемых «БСОР138». Основные результаты диссертации докладывались автором на международных и всероссийских конференциях и семинарах. Вопросы и замечании По диссертационной работе имеются следующие вопросы и замечания: -В исследовании автором используются не прямые методы формообразования микромеханических элементов, что может приводить к высокой неоднородности их механических характеристик.
Однако в работе в явном виде не представлена данная оценка, что имеет высокое значения для применения описанных технологических методов; - Для сравнительной оценки примененных технологических методов уместно сопоставления с другими методами изготовления арочных структур, в том числе с изменением других параметров магнетронного напыления; -Во второй главе диссертации детально описан метод управления внутренними напряжениями по средствам изменения давления рабочего газа в ходе магнетронного напыления и приведено описание технологии изготовления изделия в целом, при этом отсутствует ее детальное описание; - Автор рассматривает проблему устойчивости для бистабильной системы на основе оценки «линеаризации» функции потенциальной энергии, при этом непосредственно к стойкости компонентов к ударным и вибрационным нагрузкам уделено мало внимания, что безусловно важно для исследуемых элементов; - В тексте присутствует ряд погрешностей редакционного характера, в том числе в некоторых случаях используется англоязычные подписи осей; Перечисленные замечания не снижают общей высокой оценки работы„ выполненной на высоком научном и методическом уровне.
Заключение Диссертационная работа Эннса Якова Борисовича «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры» является самостоятельной завершенной научно-квалификационной работой, в которой изложены научно обоснованные и экспериментально подтвержденные результаты и выводы.
Полученные результаты обладают научной новизной н практической ценностью, их достоверность не вызывает сомнений. Автореферат и опубликованные работы автора отражают ее основное содержание. Содержание диссертации соответствует п. 1 и 6 формулы специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»; п.1. Разработка и исследование физико-технологических и физико-химических принципов создания новых и совершенствования традиционных материалов и приборов электронной техники, включая полупроводники, диэлектрики, металлы, технологические среды и приборы микроэлектроники и функциональной электроники.
п.б. Исследование и моделирование функциональных и эксплуатационных характеристик оборудования, материалов и изделий по п. 1, включая вопросы качества„ долговечности, надежности и стойкости к внешним воздействующим факторам, а также вопросы эффективного применения. Отрасль наук: технические науки. По научному уровню, полученным результатам, содержанию и оформлению диссертационная работа соответствует требованиям, предъявляемым в п.п. 9-14 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г.
№ 842 1ред. от 01.10.2018 И 1168) к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук. Автор диссертации, Эннс Яков Борисович, заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». авторефератом, и доклада Эннс Я.Б. на НТС АО «ГИРООПТИКА», протокол № 1/19. Заместитель генерального директора по микросистемной технике кандидат технических наук Федоров Максим Вячеславович Начальник отдела микросистемной техники Иванов Владимир Александрович 194044, г.
Санкт-Петербург, ул. Чугунная, 14 АО с<ГИРООПТИКА», телефон: «812) 542-46-02, факс: (812) 702-42-74, е-пза11: ойсеДайуго.гн Отзыв, составленный на основании знакомства с 'текстом диссертации и .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
