0752-2-opreview (1143957), страница 2
Текст из файла (страница 2)
от 01.10.2018 Х 1168). Уровень задач, решенных соискателем, представляется соответствующим требованиям, предъявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата технических наук. Содержание диссертации соответствует специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». Автореферат и опубликованные работы достаточно полно характеризуют результаты проведенных исследований и отражают основное содержание диссертационного исследования. Диссертант, Энне Яков Борисович, заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
.