Том 2 (1109662), страница 32
Текст из файла (страница 32)
7.18. Сенсор на основе ионселективного полевого транзистора (ИСПТ).Для создания ионселективного электрода на основе полевого транзистора достаточно заменить слой ЭЮг, отделяющий затвор от подложки, на соответствующую ионселективную мембрану (рис. 7.18).Контакт в этом случае осуществляется посредством обычного электрода сравнения. В присутствии иона, к которому чувствительнамембрана, ее потенциал изменяется. Напряжение UG, подаваемоена затвор, складывается с напряжением, возникающим на мембране. Это приводит к параллельному сдвигу вольтамперной характеристики транзистора на величину, равную изменению потенциаламембраны. В идеальном случае для однозарядного иона величинаЧ!ОВШ<>Ч«7.2.
Химическиесенсорыэтого сдвига в соответствии с уравнением Нернста составляет 59 мВпри изменении концентрации иона в 10 раз (рис. 7.19).На практике при потенциометрических измерениях с использованиемИ С П Т обычно силу т о к ав присутствиив цепи и с т о к - с т о к поддерионаживают постоянной, измев отсутствиеняя для этого соответствуионающим образом напряжение на затворе. Э т о из_ менение напряжения линапряжение H e g H O с в я з а н о С логарифРис. 7.19. Вольтамперные характеристики м о м активности потенциаИСПТ. Сила тока IDS определяется суммой лопределяющего иона в COвнешнего напряжения Ue и потенциала мем- ответствии с уравнениембраны.Нернста.Таблица 7.7.Примеры химически селективных полевых транзисторов.ТипЗатворОпределяемые веществаГазочувствительныеПТPdH 2 , NH 3 , СОИонселективныеTa 2 O 5 , Al 2 O 3 , BNH+Газопроницаемыебраны + Al 2 ОзФерментныеИммунныемем-NH 3 , CO 2валиномицинK+гель, полимер с иммобилизованным ферме H T O Mантигены или антителапенициллин,линацетилхо-альбуминВпервые И С П Т были применены для измерения рН.
Для этого вкачестве чувствительного слоя в принципе возможно использоватьдаже слой Si3N4, уже имеющийся в с т а н д а р т н ы х полевых транзисторах, однако в этом случае чувствительность невелика. Теоретическая нернстовская величина наклона градуировочнои зависимостидостигается при использовании слоя Та20б- Другие примеры применения полевых транзисторов для определения различных веществ —ионов, газов, ферментов и антител — приведены в табл. 7.7.
Принципиально возможно использование в полевых транзисторах ионселективных мембран всех типов, применяющихся в обычных И С Э .176 Глава 7. Автоматизация анализа и производственный анализЭто открывает возможности к созданию разнообразных микроэлектронных сенсоров.Принцип действия ферментных сенсоров такой же, как и у рассмотренных ранее аналогичных сенсоров на основе обычных ИСЭ.Одним из примеров иммунных методов анализа может служить радиоиммунный анализ (раздел 3.6).В ходе разработки особо миниатюрных сенсоров на базе полевыхтранзисторов порой возникает ряд неожиданных проблем. В элементах микроэлектронной техники некоторые позиции очень чувствительны к воздействию окружающей среды, и при изготовлениисерийных изделий их герметично изолируют слоем пластмассы иликерамики.
Для создания сенсоров это покрытие бывает необходимоудалить. Однако в этом случае показания сенсора часто оказываются очень нестабильными, сильно зависящими от атмосферной влажности, колебаний температуры или воздействия различных видовизлучения. Причина состоит в том, что при таких малых размерах начинают сказываться факторы, которые при работе с изделиями большего размера пренебрежимо малы. В частности, это могутбыть эффекты, связанные с поверхностным натяжением, явлениямидиффузии, ван-дер-ваальсовыми взаимодействиями, квантовомеханическими туннельными эффектами.Амперометрические сенсорыПрименение вольтамперометрических измерений для создания химических сенсоров нам уже знакомо на примере амперометрического датчика Кларка для определения кислорода (раздел 4.4). В немиспользуется рабочий электрод — катод — из платины в паре ссеребряным анодом.
Можно использовать и электроды из другихматериалов — например, рабочий серебряный электрод в паре сосвинцовым анодом. Электролитом в этом случае служит растворгидроксида калия. На серебряном катоде происходит восстановление кислорода, а на свинцовом аноде — окисление свинца:Pb + 6OH" ^ [Pb(OH) 6 ] 2 " + 4е".(7.6)Преимущество такого сенсора перед датчиком Кларка в том,что продукт анодной реакции — гидроксокомплекс свинца — растворим в воде и не отравляет электрод.
В случае же датчика Кларкапродуктом анодной реакции является нерастворимый хлорид серебра, осаждающийся на электроде.«наш*» .fei«iM«*9*tr>w»c«f04AT7.2. Химические сенсорыИзвестны амперометрические сенсоры и для определения другихгазов. В частности, на предприятиях по хлорированию питьевой воды используют безмембранные сенсоры для определения свободногохлора, а в состав средств защиты шахтеров входит датчик на оксидуглерода.
При превышении предельно допустимой концентрации онавтоматически подает сигнал тревоги. Однако по основным своимхарактеристикам все эти сенсоры уступают датчику Кларка.Датчик Кларка в сочетании с ферментными мембранами можетиспользоваться для определения различных субстратов. Мы уже упоминали (раздел 4.4) о возможности определения глюкозы при помощи глюкозооксидазы. Аналогичным образом можно определятьгалактозу с помощью галактозооксидазы или мочевину с помощьюуриказы.Кондуктометрические сенсорыВ основе работы целого ряда газовых сенсоров лежит принцип измерения электропроводности.
Наиболее известны сенсоры на основе оксидных материалов с электроннойзолотопроводимостью (п-типа) — SnO 2 ,/ZnO, TiO 2 , Fe 2 O 3 . На рис. 7.20 покаЛИИЙГ SnOзано устройство сенсора с чувствительным слоем из SnO 2 . В основедействия подобных сенсоров лежитто обстоятельство, что на поверхности чувствительного слоя всегда адсорбируется кислород.
При контакте с газами, обладающими восстаРис. 7.20. Устройство газового новительными свойствами, адсорсенсора на основе SnCb.бированный кислород взаимодействует с ними. При этом электропроводность оксидного слоя изменяется.Таким образом, подобные сенсоры являются неселективными датчиками для определения газов-восстановителей — H 2 , РНз, NH 3 ,SO2, СО, СЩ и других. Они могут использоваться и как датчикина кислород.
Такие сенсоры отличаются исключительной простотойустройства.Явление электронной проводимости используется и в так называемых хемирезисторах. Сенсоры этого типа конструктивно вы-178 Глава 7. Автоматизация анализа и производственный анализполнены в виде двух рядов параллельных стержней. Каждый стержень покрыт тонким слоем органического полупроводника — обычно фталоцианина или его комплекса с каким-либо ионом металла(к числу таких комплексов относятся, в частности, гемин и хлорофилл). Варьируя природу центрального атома, можно создаватьсенсоры для определения различных газов — NH3, NO2 и других.Оптические сенсорыРазвитие оптических сенсоров началось с появлением световодовдля передачи излучения видимого диапазона.
В настоящее времяуже существуют оптоволоконные световоды и, соответственно, оптические сенсоры также для УФ-, ближней и средней ИК-областейспектра. Наряду с оптоволоконными разрабатываются и сенсорына основе планарной оптики.В основе действия оптических сенсоров лежит зависимость тойили иной оптической характеристики от концентрации вещества.С технологической точки зрения различают три поколения оптических сенсоров. Оптические сенсоры первого поколения служат, посуществу, лишь устройствами для передачи сигнала и измерениявеличин, характеризующих традиционные, широко используемые вхимическом анализе оптические явления — поглощение, испускание, ослабление, преломление света, флуоресценция. Сенсоры второго поколения используют те же явления в сочетании с химическимиреакциями.
Их уже можно считать системами распознавания химических веществ (хеморецепторами). В основе оптических сенсоровтретьего поколения лежат новые принципы действия и оптическиеявления, не имеющие аналогий в традиционных методах анализа —образование поверхностных волн, интерференция, поляризация света.Оптические сенсоры первого поколенияПростейший оптический сенсор представляет собой оптическую измерительную ячейку, соединенную с фотометром посредством световода — волоконно-оптического кабеля. Таким способом можнонепосредственно измерять интенсивность окраски растворов или ихфлуоресценцию, например, для оценки загрязненности природныхвод органическими веществами.Рассмотрим сначала некоторые общие принципы, на которыхосновано использование волоконных кабелей в качестве световодов.Волоконно-оптический кабель изготовлен из стекла, кварца или пластмассы и имеет диаметр от 0,05 мкм до 0,6 см.
Свет может пере-W*'л*'-, • „ц> '•-1 4I ,7.2. Химические сенсорыдаваться как посредством одного-единственного волокна, так и поцелому пучку волокон. Эти волокна могут быть расположены какслучайно, так и в определенном порядке, например, при передачецельного изображения. Передача изображений по световодам широко используется в медицине при исследовании внутренних органов.луч светаоболочка (показатель преломления H2)сердцевина (показатель преломления и,)Р и с . 7.21. Отражение света от стенок световода.Ход лучей в волоконном кабеле изображен на рис. 7.21.
В зависимости от угла падения луча часть света отражается от границыраздела сердцевины и оболочки, а часть проходит. Для обеспечения полного отражения света вдоль всего световода угол паденияв должен составлять определенную величину, называемую предельным углом и зависящую от соотношения показателей преломлениясердцевины п\ и оболочки гьч- При этом показатель преломлениясердцевины должен быть больше, чем оболочки. Часто в качествематериала сердцевины и оболочки используют стекла с показателями преломления 1,6 и 1,5, соответственно. Для работы в средней ИК-области используют другие материалы, например, халькогенидные стекла (As-Se-Te) или поликристаллические галогенидысеребра, прозрачные в диапазоне 2-20 мкм.
Показатель преломления сердцевины оптического волокна, состоящего из 75% AgBr и25% AgCl, составляет 2,21. Материалом оболочки служит полимерс показателем преломления 1,5.С величиной предельного угла и показателями преломления п-\и П2 связана важная характеристика оптического волокна, называемая численной апертурой NA:NA = sm9 = y/ni - п\.(7.7)Чем больше численная апертура, тем шире может быть входнойконус светового потока.180Глава7.