Диссертация (1097947), страница 43
Текст из файла (страница 43)
Эмиссионный спектр записан спомощью спектрометра AvaSpec–2048–4RM.С увеличением Q He интенсивность полосы (22–17) N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ в ПС ТРПТзаметно возрастает, как это иллюстрирует рис. 100а для полосы (0–0) N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ . При222Q He 28 л/ч ( P He 93% и P N2 7%), она уже заметно возмущает интенсивность полосы (1–N2 C3Πu B3Πg3)экспериментеи, таким образом, обуславливает увеличение наблюдаемого враспределенияинтенсивностивокрестностидлиныволны375нм.Результирующее распределение интенсивности становится доминирующим по отношению кинтенсивностям полос (0–2), (2–4) и (3–5) N2 C3Πu B3Πg .Поведение интенсивностей полос переходов N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ и N2 B3Πg A3Σ u+ взависимости от Q He в ПС ТРПТ и приэлектродной области СВЧ разряда различается(рис.100а и 100б, соответственно).
В СВЧ разряде оно имеет более сложный характер, чем в ПСТРПТ. Объяснение поведения интенсивностей полос N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ , и N2 B3Πg A3Σu+ вспектре излучения в ПС ТРПТ и приэлектродной области СВЧ разряда состоит в следующем.Образование и гибель молекулярного иона в состоянии B 2u , vBi в НТП происходит врезультате: процесса пеннинговской ионизации (2.3.0); реакций перезарядки с участиематомарного He (2.3.1) и молекулярного He2 (2.3.2) ионов гелия; прямого электронного удара(110.0, 110.1, 111.0, табл. 3, параграф 1.3, глава 1); реакций конверсии (146.0–146.4) иHe N2 B2u , vBi N2 X 1g , v N 4 He ; (2.3.4)диссоциативной рекомбинации (136.1-136.4); процессов столкновительной дезактивацииэлектронно - колебательных состояний B 2u , vBi (143.0–143.2); процесса радиационногораспада состояний B 2u , vBi (147.0). В ПС ТРПТ конкуренция данных процессов обуславливаетувеличение интенсивностей полос N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ , наблюдаемых в эксперименте.
При этомследует ожидать, что роль процессов (2.3.0 – 2.3.2 и 2.3.4) с участием метастабильных атомовHe 23 S и ионов He гелия, а также молекулярного иона гелия He2 в кинетике состоянияB 2u , vBi молекулы иона азота будет возрастать по мере увеличения Qsum . В приэлектроднойобласти СВЧ разряда, по - видимому, существенную роль в образовании N 2 B 2u , vBi играютпроцессы ионизации N 2 X 1g , v и возбуждения N2 X 2g , vXi электронным ударом. Как и вслучае состояния C 3 u молекулы азота, с ростом Qsum при постоянных значениях давления ипарциального расхода молекулярного азота приводит к спаду интенсивности полосы (0–0)N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ .
Образование и гибель молекул азота в возбужденном состоянии B3Πg ,vBмолекулы азота может происходить в результате процессов (43.0, 46.0 и 46.1, табл. 3, параграф1.3, глава 1), а также процессов223N 2 D, 4 S N 4 S He N 2 B3 g , vB He , (2.3.5)N2 B3 g , vB He products .
(2.3.6)и процессов (9.0, 18.0, 42.0, 44.0, 45.0, 73.0, 74.0, 76.0, 77.0, 78.0, 79.0, 89.0 и 91.0, табл. 3,параграф 1.3, глава 1) [133, 141, 657, 734, 947, 1166, 1247]. Зависимость интенсивностиизлучения полосы (6–3) N2 B3Πg A3Σu+ от компонентного состава смеси в обоих разрядахсходна с той, что получена для полосы (0–0) N+2 B2 Σ+u X2 Σ+g . В отличие от состоянийC3Πu ,vC , образование молекул азота в состоянииB3Πg ,vBв разрядах обусловлено,преимущественно, вторичными процессами (43.0, 46.0, 46.1, 42.0, 44.0, 45.0, 73.0, 74.0, 76.0,77.0, 78.0, 79.0, 89.0 и 91.0, табл. 3, параграф 1.3, глава 1).
Вторичные процессы и уменьшениепроцентного содержания молекулярного азота P N2 с ростом Q He при постоянных значенияхp и Q N 2 , по - видимому, дают в результате наблюдаемое в экспериментах изменениеинтенсивности полосы (6–3) N2 B3Πg ,vB A3Σu+ ,vA .2.3.2. Функции распределения по электронно - колебательно - вращательным уровняммолекулы азота в возбужденных состоянияхРассчитанныеN+2 B2 Σ+u X2 Σ+gспектрыизлученияN 2 C 3 u B 3 g ,N2 B3 g A3u ив предположении больцмановского распределения молекулы азота и ионамолекулы азота по ЭКВ уровням энергии в излучающих состояниях C 3 u , B3 g и B2 Σ u+ ,соответственно, удовлетворительно описывают измеренные спектры испускания разрядов (рис.101 – 103).
Данный результат находится в хорошем согласии с результатами работ [394, 1166,1194, 1127, 1243, 1247, 1326–1328, 1330, 1331]. В СВЧ разряде в азоте значения Trot C 3u иTrot B3 g составляют 900 190 К и 1080 200 К, соответственно, при p 4.8 Тор и Pin 108Вт (таблица 7). Эти величины находятся в удовлетворительном согласии с результатами,полученными ранее в [1116, 1118, 1119]. В [1122–1124] установлено, что вращательныетемпературы Trot B 2u и Trot C 3 u совпадают в пределах погрешности. Значения Trot B 2u ,Trot B3 g и Trot C 3 u в приэлектродной области СВЧ разряда не зависят от компонентногосостава смеси He N 2 , но оказываются намного меньше, чем Trot B 2u , Trot B3 g и224Trot C 3u в СВЧ разряде в азоте. Так, например, значения Trot B 2u , Trot C 3u и Trot B3 g в диапазоне Q He =0.3–3.6 л/ч ( P He 83 98 % и P N2 17 2 %) равняются 500 100 К и480 100 К, соответственно (рис.
101 и 102а, таблица 7). Равенство значений Trot B 2u иTrot C 3u было получено ранее в работах [657, 665, 666, 1122–1124] для условийприэлектродной области СВЧ разряда, а также в СВЧ разрядах, возбуждаемых впрямоугольном волноводе и резонаторе в азоте.Вращательные температуры Trot C 3u и Trot B3 g в ПС ТРПТ, определенные пополосам излучения N2 B3 g A3u и N2 C 3u B3 g (рис. 102б и 103, соответственно),в рассматриваемых разрядах в смесях He N 2 не зависят от компонентного состава исовпадают в пределах погрешности. Их значения в смеси ( Trot C 3u =700 80 К иTrot B3 g =720 80К)несколькониже,чемсоответствующиезначения( Trot B3 g = Trot C 3u =800 80 К) в азоте. В ПС ТРПТ при расходе гелия Q He 4 л/ч( P He 65% и P N2 35%) вращательная температура Trot B 2u , определенная по полосе (0–0)N+2 B2 Σ+u X2 Σg+ , совпадает со значением Trot C 3u .
Так, например, значения вращательныхтемператур, определенных методом неразрешенной вращательной структуры из обработкираспределений интенсивностей переходов (0–2), (2–5), (1–4) N2 C 3u B3 g и (0–0) при p 7.6 Тор и силе тока 90 мА составляют T C 700 80 К и B 660 70 К (рис. 103), соответственно. С ростом расхода гелия Q He 33 л/чN+2 B2 Σ+u X2 Σg+Trot23rotuu( P He 94% и P N2 6%) при постоянных значениях p и силы тока наблюдается различие междузначениями Trot C 3u и Trot B 2u .
Величина Trot B 2u равняется 960 100 и заметно выше,чем значения Trot C 3u и Trot B3 g . Различие в значениях вращательных температурTrot B 2u и Trot C 3 u наблюдалось в ПС ТРПТ [1194] и в коронном разряде [1127] в смесяхHe N2 , а также в катодном слое ТРПТ в азоте [1133,1134]. Согласно данным из [302],измеренные времена жизни est молекулы азота в состояниях est = C 3 u , B3 g и иона молекулыазота в состоянии B 2u лежат в диапазонах 34 49 нс, 3300 10000 нс и 40 80 нс,соответственно. При аппроксимации заселенностей N est v в выражении (2.1.36, параграф 2.1)распределениемБольцманавинтервалеколебательныхтемпературвозбуждения225Tv est 300 7000 К ( est = C 3 u , B3 g и B 2u , v vC , vB и vBi ) не сильно влияет нарезультаты расчетов est . Оценка значения времени пребывания молекулы азота и ионамолекулы азота t p в активной зоне обоих разрядов с помощью соотношения (2.3.3) показывает,что она заметно превышает времена жизни rad est данных состояний и составляет t p 0.3 с.Время релаксации R , рассчитанное в приближении модели твердых сфер (с использованиемразличных аппроксимаций выражения зависимости сечения столкновений между He и N 2 отпоступательной температуры) и с использованием потенциала взаимодействия между He и N 2по Леннард-Джонсу равняются 12 19 нс и 19 нс, соответственно.
Они меньше, чем временажизни rad est данных состояний. Это является основанием для заключения, что в рамкахданных моделей поступательно - вращательная релаксация молекул азота на атомах гелия вусловиях НТП разрядов завершилась. Для иерархии времен t p , rad est и R справедливосоотношение:t p rad est R . (2.3.7)Рис.104. ФРКУ в состоянии C 3 u (а) - в приэлектродной области СВЧ разряда и (б) - ПСТРПТ. (а)p 4.8 Тор, падающая СВЧ мощность 108 Вт, парциальный расход гелияQ He 0.3–3.6 л/ч ( P He 83–98% и P N2 17–2%). Точки - эксперимент: 1 - в смеси He N 2 ; 2 в азоте.
Линии - расчет по формуле Больцмана при температуре возбуждения: 3 Tv C 3u =3900 К; 4 - Tv C 3u =5700 К. (б) p 7.6 Тор, сила тока 70 мА: 1 - Tv C 3u =4800К, Q He 13 л/ч ( P He 86% и P N2 14%); 2 - Tv C 3u =4900 К, Q He 15 л/ч ( P He 88% иP N2 12%); 3 - Tv C 3u =5300 К, Q He 18 л/ч ( P He 90% и P N2 10%).При добавлении к азоту атомарного гелия возрастает теплоотвод из активной зоныразрядов.
Поступательная температура в смеси He N 2 должна уменьшаться. В эксперименте226наблюдается уменьшение вращательных температур Trot C 3u и Trot B3 g в ПС ТРПТ иприэлектродной области СВЧ разряда при добавлении гелия к молекулярному азоту. Данныйрезультат, а также выполнение соотношения (2.3.7) и описание распределений заселенностеймолекул азота по ЭКВ уровням в состояниях C 3 uB 3 gиформулой Больцманасвидетельствует в пользу того, что Trot C 3u и Trot B3 g совпадают с поступательнымитемпературами в обоих разрядах в смеси He N 2 . Этот вывод справедлив и для Trot B 2u ,измеренной в условиях приэлектродной области СВЧ разряда. В ПС ТРПТ в пределах высокихзначений Qsum наблюдаемое различие в значениях Trot C 3u , Trot B3 g и Trot B 2u , по видимому, связано с изменением механизма образования иона молекулы азота в состоянииB 2u .
Измеренные значения Trot C 3u и Trot B3 g в ПС ТРПТ использовались дляопределения приведенной напряженности электрического поля E / N .Рис.105. ФРКУ в состоянии B3 g(а) - в ПС ТРПТ и (б) - приэлектроднойобласти СВЧ разряда. (а) p 7.6 Тор,силатока90мА,Q He 13л/ч( P He 86% и P N2 14%): 1 - v 4 и 2v 3N2 B3 g A3u .(б)p 4.8Тор, подводимая СВЧ мощность 108Вт, Q He 3.6л/ч( P He 98%иP N2 2%): 1 - v 4 и 2 - v 3N2 B3 g A3u .2.3.3. Функции распределения по электронно - колебательным уровням молекулы азота ввозбужденных состоянияхНа рис. 104 приведены результаты определения ФРКУ молекулы азота в состоянииC 3 u в приэлектродной области СВЧ разряда и ПС ТРПТ в азоте и смесях He N 2 .В обоих разрядах распределения слабо изменяются с ростом процентного содержанияатомарного гелия P He смеси He N 2 .