Диссертация (1097499), страница 7
Текст из файла (страница 7)
1.12 ïðåäñòàâëÿåò çàâèñèìîñòè ïëîòíîñòè òîêà òðàâëåíèÿ GaP j âñïèðòîâîì ðàñòâîðå HF îò âðåìåíè t äëÿ ðàçëè÷íûõ âåëè÷èí ïðèëîæåííîãî íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ. Íà âðåçêå ê ðèñ. 1.12 ïîêàçàíà âîëüò-àìïåðíàÿõàðàêòåðèñòèêà äëÿ ãðàíèöû ðàçäåëà GaP/ýëåêòðîëèò. Îíà íàïîìèíàåòàíàëîãè÷íóþ çàâèñèìîñòü äëÿ ÏÊ (ðèñ. 1.3). Êàê âèäíî, ðîñò òîêà íà÷èíàåòñÿ ïðè êðèòè÷åñêîì íàïðÿæåíèè Uc =5 Â, äëÿ êîòîðîãî ñòàíîâèòñÿâîçìîæíûì òóííåëèðîâàíèå ýëåêòðîíîâ, è ïðîäîëæàåòñÿ äî íàïðÿæåíèÿïàññèâàöèè Upass =23 Â; â ýòîì èíòåðâàëå íàïðÿæåíèé âîçìîæíî ôîðìèðîâàíèå ïîðèñòîãî ñëîÿ.
Äàëüíåéøåå óâåëè÷åíèå íàïðÿæåíèÿ ïðèâîäèò ê ñïàäó òîêà, ñâÿçàííîìó ñ îáðàçîâàíèåì íà ïîâåðõíîñòè îêñèäíîãî ñëîÿ [27,28].39908017V,20V,23V,100p~12%p~22%p~55%3025/6015j,270105050510152025j,/220U,403020104060t,80.200Ðèñ. 1.12. Çàâèñèìîñòè ïëîòíîñòè òîêà îò âðåìåíè ïðè ýëåêòðîõèìè÷åñêîì òðàâëåíèèìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî (111) GaP â 2M ñïèðòîâîì ðàñòâîðå HF â ðåæèìå ñòàáèëèçàöèèíàïðÿæåíèÿ. Íà âðåçêå ïðåäñòàâëåíà âîëüò-àìïåðíàÿ õàðàêòåðèñòèêà äëÿ óêàçàííûõóñëîâèé.Çàâèñèìîñòü j(t) ÿâëÿåòñÿ íåìîíîòîííîé, è â íåé ìîæåò áûòü âûäåëåíîíåñêîëüêî ýòàïîâ:ïåðâûé ýòàï (0 - 1 ñ) íà÷àëî ðîñòà ïëîòíîñòè òîêà ñîîòâåòñòâóåò íà÷àëó ðîñòà ïîð â îïðåäåëåííûõ òî÷êàõ ïîâåðõíîñòè;âòîðîé ýòàï (1 - 4 ñ) ðîñò ïëîòíîñòè òîêà è äîñòèæåíèå ìàêñèìóìà ñîîòâåòñòâóåò ðîñòó îòäåëüíûõ äîìåíîâ ÏÔÃ; ìàêñèìóì â çàâèñèìîñòèj(t) äîñòèãàåòñÿ, êîãäà äîìåíû âñòðå÷àþòñÿ äðóã ñ äðóãîì, ïîñëå ÷åãî íà÷èíàåòñÿòðåòèé ýòàï (ñ 4 ñ) ìåäëåííûé ñïàä ïëîòíîñòè òîêà è å¼ âûõîä íà ïîñòîÿííûé óðîâåíü ñîîòâåòñòâóåò ðåæèìó ðîñòà, ïðè êîòîðîì ðàçìåð äîìåíîâïîñòîÿíåí è ôîðìèðóåòñÿ ïëîñêàÿ ãðàíèöà ìåæäó ïîðèñòûì ñëîåì è êðèñòàëëîì GaP.Ñòðóêòóðà ïîð â GaP, ôîðìèðóþùèõñÿ âî ôòîðèäíûõ ýëåêòðîëèòàõ, â40çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè çàâèñèò îò íàïðÿæåíèÿ, ïîäàâàåìîãî íà ÿ÷åéêó.
Âñëó÷àå êðèñòàëëîâ ñ âûñîêèì óðîâíåì ëåãèðîâàíèÿ (∼ 1018 ñì−3 ) àêòèâíîå2ïîðîîáðàçîâàíèå (j ' 0, 5 A/ñì ) ïðîèñõîäèò ïðè íàïðÿæåíèÿõ 12 - 14 Â.Ïðè ýòîì íàáëþäàåòñÿ ñïîíòàííîå îáðàçîâàíèå ïîð â íàïðàâëåíèè <111>íà ñòûêàõ ãðàíåé 100 è 110. Ñíèæåíèå íàïðÿæåíèé äî çíà÷åíèé áëèçêèõê Uc íå îáåñïå÷èâàåò ïåðåõîäà ê âûðàæåííîé àíèçîòðîïèè â ðàñïðîñòðàíåíèè ïîð ïî îïðåäåëåííîìó íàïðàâëåíèþ. Òåì íå ìåíåå, ïîðû ïðèîáðåòàþòòðåóãîëüíîå ñå÷åíèå, è íà÷èíàåò ïðîÿâëÿòüñÿ òåíäåíöèÿ ê äâèæåíèþ èõ ïîíàïðàâëåíèÿì <211>. Ìîæíî òàêæå îòìåòèòü, ÷òî â ñèëüíî ëåãèðîâàííîìGaP, íåñìîòðÿ íà îòñóòñòâèå ÿâíîé ïðèâÿçêè íàïðàâëåíèé ïîð ê êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèì îñÿì, òðàåêòîðèè èõ äâèæåíèÿ ëåæàò ïðåèìóùåñòâåííî âïëîñêîñòÿõ 110.
Äëÿ íèçêîëåãèðîâàííîãî GaP (1016 − 1017 ñì−3 ), ôîðìèðîâàíèå ñïëîøíûõ ïîðèñòûõ ñëîåâ ñòàíîâèòñÿ âîçìîæíûì ïðè íàïðÿæåíèÿõíà ÿ÷åéêå áîëåå 20 Â.  ýòèõ óñëîâèÿõ ïðàêòè÷åñêè óòðà÷èâàåòñÿ ñâÿçüêîíôèãóðàöèè ñèñòåìû ïîëîñòåé è ñîåäèíÿþùèõ èõ êàíàëîâ â ïîðèñòûõñëîÿõ ñî ñòðóêòóðîé ðåøåòêè êðèñòàëëà. Ïðè èñïîëüçîâàíèè â êà÷åñòâåýëåêòðîëèòà âîäíîãî ðàñòâîðà H2 SO4 ñòðóêòóðà ïîð ïîëó÷àåòñÿ íåñêîëüêîáîëåå óïîðÿäî÷åííîé (ðèñ. 1.11á).1.1.4. Ïîðèñòûé îêñèä àëþìèíèÿØèðîêîå ïðîìûøëåííîå èñïîëüçîâàíèå ïðîöåññîâ àíîäíîãî îêèñëåíèÿàëþìèíèÿ îáóñëîâèëî èíòåíñèâíîå èññëåäîâàíèå ñòðóêòóðû è ñâîéñòâàíîäíûõ ïîêðûòèé àëþìèíèÿ.
 ðåçóëüòàòå ìíîãî÷èñëåííûõ èññëåäîâàíèé îäíîçíà÷íî óñòàíîâëåíî, ÷òî àíîäíûå îêñèäíûå ïëåíêè íà àëþìèíèèñîñòîÿò èç äâóõ ñëîåâ: òàê íàçûâàåìîãî áàðüåðíîãî îêñèäà, èìåþùåãî ïëîòíîå ñòðîåíèå è íåïîñðåäñòâåííî ïðèìûêàþùåãî ê îêèñëåííîìó ìåòàëëó, èïîðèñòîãî ñëîÿ.Ñëîè ïîðèñòîãî îêñèäà àëþìèíèÿ (ÏÎÀ) ôîðìèðóþòñÿ ìåòîäîì ýëåêòðîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ ïîäëîæåê èç ôîëüãè àëþìèíèÿ â ðàçëè÷íûõêèñëîòàõ [34]. Ïîëó÷àþùèéñÿ ïîðèñòûé ñëîé ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé íàáîð ãåê41Ðèñ. 1.13.
Ñòðóêòóðà ïîðèñòîãî îêñèäà àëþìèíèÿ: à,á) èçîáðàæåíèÿ ðàñòðîâîé ýëåêòðîííîé ìèêðîñêîïèè [44] ïîâåðõíîñòè (à) è ñêîëà (á); â) ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå(1 - áàðüåðíûé ñëîé; 2 - ïîðèñòûé ñëîé).ñàãîíàëüíûõ îêñèäíûõ ÿ÷ååê (ðèñ. 1.13), â öåíòðå êîòîðûõ ïðîõîäèò ïîëûéêàíàë [3538, 43, 44, 119]. Ïîñëåäíèé è îáåñïå÷èâàåò òðàíñïîðò ýëåêòðîëèòà â ïîðèñòîì ñëîå.
Ðàññòîÿíèå ìåæäó ïîðàìè ëèíåéíî óâåëè÷èâàåòñÿ ñïîâûøåíèåì íàïðÿæåíèÿ. Äèàìåòð ïîð îïðåäåëÿåòñÿ ñêîðîñòüþ õèìè÷åñêîãî ðàñòâîðåíèÿ îêñèäà àëþìèíèÿ, êîòîðàÿ çàâèñèò îò èñïîëüçóåìîãîýëåêòðîëèòà.  çàâèñèìîñòè îò âõîäÿùåé â ñîñòàâ ýëåêòðîëèòà êèñëîòû èåå êîíöåíòðàöèè äèàìåòð ïîð âàðüèðóåòñÿ â øèðîêèõ ïðåäåëàõ: îêîëî 0,01- 0,03 ìêì äëÿ ñåðíîé êèñëîòû, 0,02 - 0,07 ìêì äëÿ ùàâåëåâîé êèñëîòû, 0,05- 0,2 ìêì äëÿ îðòîôîñôîðíîé êèñëîòû, 0,1 - 0,5 ìêì äëÿ âèííîé êèñëîòû.Ïîñëå ïîëó÷åíèÿ ñëîé ÏÎÀ îáû÷íî îòäåëÿåòñÿ îò ïîäëîæêè ðàñòâîðåíèåìïîñëåäíåé â ðàñòâîðå 0.05Ì CuCl2 :HCl (50%).Èññëåäîâàíèå õèìè÷åñêîãî ñîñòàâà ïîëó÷åííûõ îáðàçöîâ ÏÎÀ êàê íàïîâåðõíîñòè, òàê è â îáú¼ìå ñëîåâ íà ãëóáèíå ñâûøå 60 íì ìåòîäîì ðåíòãåíîâñêîé ýìèññèîííîé ñïåêòðîñêîïèè ïîçâîëèëî îïðåäåëèòü ñîîòíîøåíèåêîíöåíòðàöèé àòîìîâ êèñëîðîäà è àëþìèíèÿ, êîòîðîå îêàçàëîñü ðàâíûìNO /NAl = 1, 5 ± 0, 01, ÷òî ñâèäåòåëüñòâóåò î ñòåõèîìåòðè÷åñêîì ñîñòàâå(Al2 O3 ) [119].
Äîëÿ ìîëåêóë âîäû ñîñòàâëÿëà 6% îò ìàññû ÏÎÀ. Äðóãèõïðèìåñåé â èññëåäóåìûõ îáðàçöàõ îáíàðóæåíî íå áûëî. Íàáëþäåíèå äèôðàêöèè ðåíòãåíîâñêèõ ëó÷åé ïîêàçàëî, ÷òî ïîëó÷åííûé ÏÎÀ ÿâëÿåòñÿàìîðôíûì.42Ñòðóêòóðà ÏÎÀ è âîçìîæíîñòü óïðàâëÿòü ðàçìåðàìè ïîð è ðàññòîÿíèåììåæäó íèìè, âûáèðàÿ ïîäõîäÿùèé ðåæèì òðàâëåíèÿ, äåëàþò ýòî ìàòåðèàë óíèêàëüíîé ñðåäîé, êîòîðàÿ ìîæåò ñëóæèòü â êà÷åñòâå òâåðäîòåëüíîéìàòðèöû, ïðèãîäíîé ê èñïîëüçîâàíèþ â êà÷åñòâå àêòèâíîãî èëè íåëèíåéíîîïòè÷åñêîãî ýëåìåíòà, ñåíñîðà è ò.ä. Òàê, â ðàáîòå [46] ñ ïîìîùüþ ýëåêòðîõèìè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ óäàëîñü çàïîëíèòü ïîðû ÏÎÀ CdS è ñåðåáðîì,ñîçäàâ òåì ñàìûì íàíîêîìïîçèòíóþ ñðåäó.Êàê ïðàâèëî, ïîðû îáëàäàþò ãåêñàãîíàëüíîé óïàêîâêîé â ïðåäåëàõñëó÷àéíûì îáðàçîì îðèåíòèðîâàííûõ êëàñòåðîâ ñóáìèêðîííûõ ðàçìåðîâ.Àíîäèðîâàíèå ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ ïîçâîëÿåò ñóùåñòâåííî óëó÷øèòüñòåïåíü óïîðÿäî÷åííîñòè ïîð (ðàçìåðû êëàñòåðîâ) è â íåêîòîðûõ ñëó÷àÿõ ïîëó÷èòü ñëîè ñ ïðàêòè÷åñêè ïîëíîñòüþ óïîðÿäî÷åííûìè ïîðàìè (ñì.ðèñ.
1.13,à,á). Äîïîëíèòåëüíîå óëó÷øåíèå êà÷åñòâà ôîðìèðóåìîãî ÏÎÀ äîñòèãàåòñÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì òàê íàçûâàåìîé òåõíîëîãèè íàíîèìïðèíòèíãà,ïðè êîòîðîé ïåðåä íà÷àëîì òðàâëåíèÿ íà ïîâåðõíîñòè ñ ïîìîùüþ ñïåöèàëüíîãî ìèêðîñêîïè÷åñêîãî ïðåññà ñîçäàþòñÿ ÿìêè, ñëóæàùèå çàòðàâêàìèäëÿ ïðîöåññà òðàâëåíèÿ [38].
Îòìåòèì, ÷òî â íàñòîÿùåé ðàáîòå îïòè÷åñêè êà÷åñòâåííûå ñëîè ÏÎÀ áûëè ïîëó÷åíû ìåòîäîì ýëåêòðîõèìè÷åñêîãîàíîäèðîâàíèÿ ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå áåç ïðåäâàðèòåëüíîãî òåêñòóðèðîâàíèÿ àëþìèíèåâîé ïîäëîæêè.1.2. Ôîòîííî-êðèñòàëëè÷åñêèå ñòðóêòóðû íà îñíîâåïîðèñòûõ ïîëóïðîâîäíèêîâÊ ôîòîííûì êðèñòàëëàì îòíîñÿòñÿ òàêèå êîìïîçèòíûå ñðåäû, ó êîòîðûõ íåîäíîðîäíîñòè ïåðèîäè÷åñêè óïîðÿäî÷åíû, ïðè÷åì ïåðèîä ñðàâíèìñ äëèíîé âîëíû [3942].
Ðàñïðîñòðàíåíèå ñâåòà â òàêèõ ñðåäàõ àíàëîãè÷íîäâèæåíèþ ýëåêòðîíà â ïåðèîäè÷åñêîì ïîòåíöèàëå êðèñòàëëà.  ÷àñòíîñòè,äëÿ íåêîòîðîãî ñïåêòðàëüíîãî äèàïàçîíà èíòåðôåðåíöèÿ âîëí ïðèâîäèò êâîçíèêíîâåíèþ çàïðåòà íà ðàñïðîñòðàíåíèå ñâåòà â íåêîòîðûõ íàïðàâëåíè43ÿõ. Ïî àíàëîãèè ñ òâåðäûì òåëîì, ìû ìîæåì ãîâîðèòü î ôîòîííîé çàïðåùåííîé çîíå (ÔÇÇ) [40]. Îãðîìíûé èíòåðåñ ê ôîòîííûì êðèñòàëëàì îáúÿñíÿåòñÿ ïåðñïåêòèâíîñòüþ èõ èñïîëüçîâàíèÿ äëÿ ðåøåíèÿ ðàçíîîáðàçíûõçàäà÷ îïòèêè è ëàçåðíîé ôèçèêè: óïðàâëåíèÿ ïàðàìåòðàìè ëàçåðíîãî èçëó÷åíèÿ, ôàçîâîãî ñîãëàñîâàíèÿ ïðîöåññà ãåíåðàöèè îïòè÷åñêèõ ãàðìîíèê,óïðàâëåíèÿ ñïîíòàííûì èçëó÷åíèåì è äð.Ôîòîííûå êðèñòàëëû ñ óñïåõîì ìîæíî èçãîòîâèòü íà îñíîâå ïîðèñòûõïîëóïðîâîäíèêîâ.
Ïîñêîëüêó ïîðèñòîñòü è ïîêàçàòåëè ïðåëîìëåíèÿ, îïðåäåëÿþòñÿ ïëîòíîñòüþ òîêà ýëåêòðîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ, òî ïåðèîäè÷åñêè âàðüèðóÿ ýòó âåëè÷èíó, ìû ìîæåì ñîçäàâàòü èç ïîðèñòûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ ñòðóêòóðû ñ ÷åðåäóþùèìèñÿ ñëîÿìè ðàçëè÷íîé ïîðèñòîñòè è, ñëåäîâàòåëüíî, ðàçëè÷íûõ ïîêàçàòåëåé ïðåëîìëåíèÿ.
Òàêèì îáðàçîì ôîðìèðóåòñÿ îäíîìåðíûé ôîòîííûé êðèñòàëë íà îñíîâå ÏÊ [13,14,47] èëè ÏÔà [27](ðèñ. 1.14). Âîçìîæíî òàêæå ñîçäàíèå ñòðóêòóð ñ äåôåêòîì â ÔÇÇ è ìèêðîðåçîíàòîðîâ [4850]. Ïîäîáíûå ñòðóêòóðû ìîãóò íàéòè ñâî¼ ïðèìåíåíèåäëÿ óïðàâëåíèÿ ôîòîëþìèíåñöåíöèåé [48, 49], ñîçäàíèÿ öâåòî÷óâñòâèòåëüíûõ ôîòîäèîäîâ [51], ñåíñîðîâ ïàðîâ [52], áèîñåíñîðîâ [53,54], óñèëåíèÿ ýôôåêòèâíîñòè ÈÊ êîëåáàíèé [55] è êîìáèíàöèîííîãî ðàññåÿíèÿ ñâåòà [56],âîëíîâîäíûõ ñòðóêòóð [57,58] è ò.ä. Íà îñíîâå ÏÊ òàêæå âîçìîæíî ñîçäàòüëàòåðàëüíûå ïåðèîäè÷åñêèå ñòðóêòóðû, èñïîëüçóÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüïðîöåññà òðàâëåíèÿ è èíòåðôåðåíöèîííóþ êàðòèíó, ñîçäàâàåìóþ äâóìÿ ëàçåðíûìè ïó÷êàìè [59].
Íàëè÷èå ïîð è âîçìîæíîñòü èõ çàïîëíåíèÿ æèäêîñòÿìè èëè ãàçàìè, à òàêæå âíåäðåíèÿ â ýòè ïîðû ðàçëè÷íûõ âåùåñòâ, ÿâëÿåòñÿ âåñüìà âàæíûì ïðåèìóùåñòâîì ôîòîííî-êðèñòàëëè÷åñêèõ ñðåä íàîñíîâå ÏÊ, ïîçâîëÿþùèì ðàññ÷èòûâàòü íà èõ øèðîêîå ïðèìåíåíèå. êðåìíèè n -òèïà óäàåòñÿ ñîçäàòü ìàêðîïîðèñòûå ñòðóêòóðû, ïðåäñòàâëÿþùèå ñîáîé äâó- è òðåõìåðíûå ôîòîííûå êðèñòàëëû ñ ÔÇÇ â èíôðàêðàñíîì äèàïàçîíå. Âíà÷àëå ñ ïîìîùüþ ôîòîëèòîãðàôèè ðàçìå÷àþòñÿ ìåñòà,â êîòîðûõ ïîÿâÿòñÿ ïîðû, çàòåì ñ ïîìîùüþ òðàâëåíèÿ â ùåëî÷è â íèõ ñîçäàþòñÿ ÿìêè, êîòîðûå ïîñëóæàò çàðîäûøàìè äëÿ ïîð.
Ìàêðîïîðû ôîð44)2( A/c120804000100200300400( )Ðèñ. 1.14. Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå ìíîãîñëîéíîé ñòðóêòóðû. Èçìåíåíèå âî âðåìåíèïëîòíîñòè òîêà òðàâëåíèÿ ïðè èçãîòîâëåíèè ìíîãîñëîéíîé ñòðóêòóðû íà îñíîâå ÏÊ.ìèðóþòñÿ â ïðîöåññå ôîòîýëåêòðîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ. Òàêèì îáðàçîìñîçäàþòñÿ äâóìåðíûå ôîòîííûå êðèñòàëëû, ÔÇÇ êîòîðûõ ëåæèò îò 8 äî 1,3ìêì [6065]. Ïåðèîäè÷åñêèå èçìåíåíèÿ èíòåíñèâíîñòè ïîäñâåòêè, ïðèâîäÿùèå ê èçìåíåíèþ äèàìåòðà ïîðû, ïîçâîëÿþò ñôîðìèðîâàòü òðåõìåðíûéôîòîííûé êðèñòàëë [61, 62]. Âîçìîæíî òàêæå ñôîðìèðîâàòü ñòðóêòóðû ñíàðóøåíèåì ïåðèîäè÷íîñòè äåôåêòàìè [64].Ãåêñàãîíàëüíî óïîðÿäî÷åííûå ïîðû â ÏÎÀ òàêæå ïîçâîëÿþò ðàññìàòðèâàòü òàêóþ ñòðóêòóðó êàê ôîòîííûé êðèñòàëë [38].1.3. Ùåëåâûå êðåìíèåâûå ñòðóêòóðûÌåòîäîì ôîòîëèòîãðàôèè ñ ïîñëåäóþùèì àíèçîòðîïíûì òðàâëåíèåììîãóò áûòü ñôîðìèðîâàíû òàê íàçûâàåìûå ùåëåâûå êðåìíèåâûå ñòðóêòóðû (ÙÊÑ), ïðåäñòàâëÿþùèå ñîáîé ÷åðåäóþùèåñÿ ñëîè ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ è ùåëåé ñ õàðàêòåðíûìè òîëùèíàìè ïîðÿäêà íåñêîëüêèõìèêðîìåòðîâ [6670].
Ïðè íîðìàëüíîì ïàäåíèè ñâåòà íà ÙÊÑ îíà äîëæíà45äåìîíñòðèðîâàòü ñèëüíóþ îïòè÷åñêóþ àíèçîòðîïèþ, òîãäà êàê ïðè îñâåùåíèè ñ òîðöà ïåðïåíäèêóëÿðíî ùåëÿì òàêîé ìàòåðèàë âåäåò ñåáÿ êàê îäíîìåðíûé ôîòîííûé êðèñòàëë. Ñîîáùàëîñü î âîçìîæíîñòè çàïîëíåíèÿ ùåëåéòàêîé ñòðóêòóðû æèäêèì êðèñòàëëîì, ÷òî ïîçâîëÿåò îñóùåñòâëÿòü óïðàâëåíèå å¼ îïòè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè ïðè ïîìîùè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ [70].Ôîðìèðîâàíèå òàêèõ ñòðóêòóð îñíîâàíî íà àíèçîòðîïíîì ùåëî÷íîìòðàâëåíèè ïîäëîæêè c-Si â âîäíîì ðàñòâîðå ãèäðîêñèäà êàëèÿ (KOH). Èñïîëüçîâàëèñü ïîäëîæêè c-Si:F äâóõñòîðîííåé ïîëèðîâêè ñ îðèåíòàöèåé ïîâåðõíîñòè (110) è óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì 20-100 Îì·ñì.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
