отзыв ведущей организации (1090571), страница 2
Текст из файла (страница 2)
Почему разница составляет один порядок? В связи с 2 этим также не понятно, какая доля энергии поглощается, т.к. нет спектров поглощения. 4. В Главе 4 приведены исследования топографии, локальных сегнетоэлектрических свойств и микроструктуры, которые выполнены на образцах, отожженных при поверхностной плотности потока излучения 1,5 и 2 2,2 МВт/см .
Согласно данным диссертации эти образцы подвергнуты деструктивной кристаллизации. Почему исследования выполнены именно на этих образцах? 5. В работе сообщается о том, что осуществлялась «визуализация доменной структуры при приложении к кантилеверу (ХЯО10-А и МБ011/%2С) переменного напряжения амплитудой 5 В и частотой 150 кГц».
Однако никаких данных по визуализации доменной структуры нет. 6. В работе также имеются опечатки и стилистические неточности. Однако, несмотря на приведенные замечания, в целом диссертационная работа Фирсовой Н.Ю. представляет законченное научное исследование, содержащее ряд, безусловно, новых результатов, позволяющих расширить существующие в настоящее время представления о механизмах локальной кристаллизации сегнетоэлектрических пленок при лазерном отжиге. По теме диссертации с участием автора опубликовано 6 работ, в том числе 3 статьи в изданиях, входящих в перечень ВАК, часть результатов в достаточной мере апробирована на Всероссийских и Международных конференциях и семинарах. Практическая значимость работы заключается в разработке методик локального отжига пленок цирко ната титан ата свинца излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и диагностики качества отожженных пленок РХТ на основе микроскопии генерации второй гармоники.
На основе этих методик показана возможность формирования субмикронных сегнетоэлектрических структур на платинированной подложке путем их отжига фемтосекундным лазерным излучением, что представляет интерес для формирования многослойных интегральных схем, для которых нежелателен общий нагрев до температуры отжига сегнетоэлектрика, составляющей величину 600 — 700'С.
Рекомендации по использованию результатов диссертации. Результаты диссертации могут быть использованы в следующих организациях, работающих в направлениях, близких к тематике диссертационной работы: Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе (г. Санкт-Петербург), Институт кристаллографии РАН (г. Москва), Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) (г. Санкт-Петербург), Южный федеральный университет (г. Ростов-на-Дону), Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (г.Москва, Зеленоград), Воронежский государственный университет (г. Воронеж), Тверской государственный университет (г. Тверь), а также на предприятиях электронной промышленности, занимающихся разработкой и производством устройств на основе сегнетоэлектрических пленок. В целом диссертационная работа отвечает всем требованиям ВАК, изложенным в Положении о присуждении ученых степеней от 24 сентября 2013 г.
Х 842, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор, Фирсова Н.Ю., заслуживает присуждения ей искомой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Диссертационная работа Фирсовой Н.Ю. была заслушана и обсуждена на заседании кафедры физики сегнето- и пьезоэлектриков Тверского государственного университета, протокол № 3 от 25 ноября 2014 г.
Заведующий кафедрой физики сегнето- и пьезоэлектриков Тверского государственного университета, доктор физико-математических наук, доцент Солнышкин Александр Валентинович Секретарь кафедры Черешнева Надежда Никифоровна Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Тверской государственный университет» 170100, г. Тверь, ул.Желябова, 33. Тел.: (4822) 58-14-9~.=.~Зоб:"Щ8); е-та11: а.зо1пузЬЫпфта11.гп У' ',;: ' ':" .'.-. .