Отзыв на автореферат Прудник (1090565)
Текст из файла
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ Б1ОДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ МЕЖВЕДОМСТВЕННЫЙ ЦЕНТР АНАЛИТИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ В ОБЛАСТИ ФИЗИКИ, ХИМИИ И БИОЛОГИИ ПРИ ПРЕЗИДИУМЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК МЦАИ РАН тел./факс. 8-499- ! 35-20-58, 8-499- ! 35-88-25 пса)гав®1р1гаи.ги !19333, г, Москва, В-ЗЗЗ, ул. Вавилова, д.44, кори.2 '~ . /'.2014 г. № 10222/~~' отзыв на автореферат диссертационной работы Фирсовой Н.Ю. «ЛОКАЛЬНЫЙ ОТЖИГ ИЗЛУЧЕНИЕМ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРА БЛИЖНЕГО ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА И НЕЛИНЕЙНО- ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА МИКРОСТРУКТУР ЦИРКОНАТАТИТАНАТА СВИНЦА НА ПЛАТИНИЗИРОВАННОЙ ПОДЛОЖКЕ», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27,06 (Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники) В настоящее время одним из активно развивающихся направлений является исследование свойств гетороструктур, содержащих сегнетоэлектрнческие слои.
Пленки цирконата-титаната свинца в силу сочетания уникальных диэлектрических, электромеханическ их, пироэлектрических и других характеристик занимают особое место. Одним нз важнейших технологических параметров при приготовлении пленок РЕТ является температура кристаллизации в фазу перовскита, которая достигает б00 — 700'С. Высокие температуры недопустимы для компонент микроэлектронных структур, изготовленных на кремниевой подложке. Кристаллизации пленок Р2'.Т под воздействием лазерного излучения уменьшают тепловое воздействие на подложку. Следовательно, проведенные в диссертационной работе исследования основных закономерностей процесса формирования локальных областей сегнетоэлектрической перо вскитной фазы в пленках РЕТ на платинированной кремниевой подложке являются В диссертационной работе подробно описаны различные варианты отжига сегнетозлектрического слоя после его нанесения на подложку, а также рассмотрены особенности взаимодействия фемтосекундного излучения с веществом с целью его использования для локального отжига и одновременной диагностики сегнетозлектрического состояния, Н.Ю.
Фирсовой предложена не только методика отжига пленок РХТ под воздействием лазерного излучения, но и методики диагностики процесса кристаллизации 11п-яа и ех-з1Ш) на основе генерации второй оптической гармоники. Как можно понять из автореферата, неясен выбор длин волн излучения фемтосекундного лазера 1800 нм и 1040 нм). Тем не менее, указанное замечание не снижает положительного впечатления от представленной работы. Хотелось бы отметить, что результаты работы в достаточной степени апробированы на множестве российских и международных конференциях и симпозиумах. Считаю, что представленная диссертационная работа Н,Ю.
Фирсовой удовлетворяет требованиям ВАК РФ к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06. В.Ф. Стенин Доктор технических наук, профессор, Главный научный сотрудник МЦАИ РАН 1119333, Москва, ул. Вавилова, д,44, корп 2.. Тел:. 89067705028, е-пза11: пыа1гапф1р1гап.га " "'орудии :=Ъ Подпись Н.В. Прудникова за1ЙЬ$~~:' Зам. директора МЦАЙРАН.::;;,".,::: "'. "';..:-' т ков Николай Владимирович .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.