Отзыв на автореферат 5 (1090563)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертационной работы Фирсовой Н.Ю. «Локальный отжпг излучением фемтоеекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цнрконата-тктаната свинца на платнннзнрованной подложке», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27.06 (Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники) Тонкопленочные сегнетоэлектрические структуры составляют основу нового поколения устройств микро- н наноэлектроники и микросистемной техники.

Для перехода аморфной илн пирохлорной пленки в перовскитную (сегнегоэлектрическую) фазу еб подвергают отжигу. Классической технологией кристаллизации таких пленок является термический отжиг в печи. Лазерный отжиг применяется для локальной кристаллизации аморфных пленок в сегнетоэлектрическую фазу с целью минимизировать нагрев элементов, окружающих функциональную область. Диссертационная работа Фирсовой Натальи Юрьевны посвящена совершенно новой проблеме использования фемтосекундного лазера для кристаллизации сегнетоэлектрика, в ее задачи входило исследование основных закономерностей процесса формирования локальных областей сегнетоэлектрической перовскитной фазы в пленках цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке при многоимпульсном фемтосекундном лазерном отжиге.

В работе предложена оптическая схема для отжига пленок РХТ и методика диагностики кристаплизацин в процессе отжига, основанная на генерации второй гармоники. Комплекс исследований отожженных пленок (сканирование ГВГ, сканирующая и просвечивающая электронная микроскопия, атомно-силовая микроскопия пьезоотклика) показал, что отжиг под воздействием фемтосекундн ого лазерного излучения позволяет кристаллизовать пленки РХТ, и автором приводятся параметры лазерного излучения н длительность воздействия, приводящие к недеструктивной кристаллизации образцов. Использование в представленной работе современных методов и оборудования для получения и анализа экспериментальных материалов обуславливают достоверность представленных результатов.

В качестве замечания можно отметить то, что рекомендуемые автором параметры лазерного излучения и длительность воздействия, необходимые для кристаллизации, справедливы только для пленок той толщины, которая была исследована в работе. Следовательно, проведенные исследования были бы более полными, если бы результаты содержали и зависимость от толщины образцов.

В изложении работы автором использованы неудачные, на мой взгляд, термины — «одномодовый фемтосекундный лазер» и «более мягкая фокусировка», В описании экспериментальной установки нет информации о регистраторе второй гармоники. Тем не менее, указанные замечания не снижают положительного впечатления от представленной работы. По материалам исследований Н.Ю. Фирсовой опубликовано достаточное количество научных работ: 1 статья в журнале, входящем в Перечень ВАК РФ, 1 статья в зарубежном журнале, индексируемом в ФеЬ оТ Зс1епсе, 1 статья в сборнике трудов Международной конференции, индексируемом в Бсорпв, 1 статья в журнале, индексируемом в РИНЦ, 2 статьи в сборниках трудов международных конференций.

Представленная диссертационная работа удовлетворяет требованиям ВАК РФ к кандидатским диссертациям, а ее автор Н.Ю. Фирсова заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б (Технология и оборудование лля производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники).

Доктор технических наук, ведущий научный сотрудник лаборатории «Лазерных методов исследования вещества» Института автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН б90041, г. Владивосток, улица Радио, дом 5 Тел:. 89502955575, е-гпа11: пзауог®1аср.бчо.ги Майор Александр Юрьевич .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации