Отзыв на автореферат Лебо (1090564)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертационной работы Фирсовой Н.Ю. «Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного дпапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники В настоящее время тонкие сегнетоэлекгрнческие пленки со структурой перовскита находят широкое применение в устройствах микроэлектроники.

Среди большого класса перовскитовых материалов наибольшее распространение получили тонкие пленки РХТ, обладающие уникальным сочетанием диэлектрических, электромеханических, пироэлектрических и других характеристик. Для большинства практических применений необходимо формировать тонкие пленки РУТ на кремниевой подложке, По сравнению с традиционными методами термической кристаллизации таких пленок лазерный отжиг обладает рядом преимуществ.

Применение фемтосекундного лазера имеет особенности по сравнению с действием наносекундного лазера. Дело в том, что за время действия фемтосекундного лазерного импульса не успевает сформироваться протяженная плазменная корона, экранирующая конденсированное вещество. В работе предложены оптические схемы, позволяющие не только проводить отжиг пленок РЕТ, но и одновременно диагностировать его кинетику по временной зависимости интенсивности оптической второй гармоники. Более того, показана достаточность совокупности методов нелинейно-оптической 1п-з1ги и ех-з1ш диагностики для определения качества сегнетоэлектрических микроструктур. Важным результатом является определение наиболее вероятных механнзов кристаллизации пленок РЕТ при отжиге микроструктур фемтосекундным лазерным ИК излучением.

Показано, что по мере увеличения плотности мощности лазерного излучения и температуры подложки вначале происходит двухстадийная кристаллизация, затем одностадийная взрывная кристаллизация и, наконец, происходит «переотжнг», заключающийся в переходе от кристаллизации взрывного типа на краях к абляции в центре лазерного пяпи. Результаты работы представляют практический интерес для формирования многослойных интегральных схем, для которых нежелателен общий нагрев до температуры отжига сегнетоэлектрика 1порядка 600-700 "С).

Хотелось бы высказать ряд замечаний по содержанию диссертации, А. В автореферате недостаточно отражена история вопроса, Так, ранее в МГТУ МИРЭА совместно с Физическим институтом им. П.Н, Лебедева (ФИАН) пыли проведены исследования лазерного отжига сегнетоэлектрнческих пленок с помощью эксимерного Кгр лазера с длительностью импульса 10-!ОО нс 11-51: 1. К.А. Воротилов. В.Д.

Зворыкин, И.Г. Лебо, А.С. Сигов. Лазерный отжиг тонкопленочных сегентоэлектрических гетероструктур. // Материалы Международной научно-технической конференции Полиматериалы-2003, 47-50. МИРЭА, Москва-2003. 2. К.А. Уого111оч, У.13. Ечмук1п, 1.0.

1.еЬо, А,Я. Яйоч. 1.азег ашзеа11пй о1' й1п-В1т Гепое1еспзс Ьегегозггисшгез. //1опгпа1 о1'Кцзз1ап 1.азег КезеагсЬ. У.25, ХЗ, 234-238, 12004) 3. И.Г. Лебо. Лазерный отжиг электрокерамических материалов, // Материалы Международной научно-технической конференции П'1ТЕКМАТ1С-2005, часть 1, 158-162. МИРЭА, Москва-2006. 4. О.М.

Жигалина, Д.Н, Хмеленин, К.А. Воротилов, А,С. Сигов, В,А. Васильев, И.Г, Лебо, В.Д. Зворыкин, А,О. Левченко, Н.Н. Устиновский, Влияние лазерного отжига на структуру композиций ТБС-Р1-Т1-81О2-%.// Материалы Международной научнотехнической конференции 1МТЕКМАТ1С-2006, часть 3, 282-287. МИРЭА, Москва-2006. 5. И.Г. Лебо, Численное моделирование лазерного отжита электрокерамических пленок. // Приборостроение.

Тематический выпуск: лазерные микротехнологии в материаловедении и приборостроении. №9, 30-33, 12006) Б. В рамках проекта РФФИ № 05-02-16354 «Лазерный отжиг тонкопленочных сегнетоэлектрических гетероструктур» бьши развиты модели и проведены эксперименты, которые продемонстрировали кристаллизацию первоначально аморфных пленок под воздействием лазера, причем характер роста кристаллических структур в этом случае качественно отличался от того, что наблюдалось при традиционном отжиге.

В исследованиях был использован ультрафиолетовый лазер и наносекундный режим облучения пленок. В диссертации следовало бы провести хотя бы качественный сравнительный анализ результатов облучения и кристаллизации пленок в различных режимах. Несмотря на указанные замечания у меня сложилось общее положительное впечатление от автореферата диссертации Н.Ю.

Фирсовой. Представленная диссертационная работа Н.Ю, Фирсовой удовлетворяет требованиям ВАК РФ к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06. Доктор физико-математических наук, профессор кафедры «Высшая математика» Московского государственного технического университета радиотехники, электроники и автоматики, 119454 Москва, проспект Вернадского 78. ~~;ьь~ м~ Лебо И.Г.

Подпись Лебо И.Г за1йрялв5:;' ,-4г мм~гжгг.г ~~~~~/"гж:,- '/ гг '~'' юг". /~,4' г-~' '~а' '~"» гФ' ~4:мяу/;::~, 4йм~Р~ъ-~',,„я, яалвтпвв .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации