Отзыв Васильев (1089179)
Текст из файла
Отзыв
На дипломную работу студента гр. ЭМ-1-02 МИРЭА
Ефименкова Ю.Р.
На тему «Мощный СВЧ транзистор с барьером Шоттки на GaN с затвором, сформированным с помощью электронной литографии»
Целью настоящей дипломной работы являлась отработка технологического процесса создания транзистора на GaN с затвором, сформированным методом электронной литографии, с шириной затвора 500 мкм. Актуальность выбранной темы очевидна, так как приборы на таких широкозонных структурах являются п/п приборами нового поколения, которые превосходят приборы на кремнии и арсениде галлия не только по удельной плотности мощности Рвых/мм, но и по возможности работы в экстремальных условиях.
В процессе выполнения работы дипломант проявил себя грамотным инженером, способным к самостоятельному решению поставленных перед ним задач.
В ходе работы был проведён анализ литературных источников по изготовлению транзисторов на основе GaN, анализ литературы по оптимальному проведению процесса формирования затвора методом ЭЛ. Дипломант ознакомился с особенностями работы установки электронно-лучевого экспонирования типа «ZBA-20». Был выбран совмещенный метод изготовления приборов, когда электронно-лучевая литография изготавливает только затвор, имеющий субмикронные размеры. Остальные элементы структуры изготавливались контактной литографией. В фотошаблоне были заложены маркерные знаки совмещения затвора. С участием дипломанта изготовлены и исследованы несколько образцов транзисторов. Анализ полученных дипломантом результатов позволил сделать вывод, что в данных условиях оптимальной является система металлизации Ti-Al-Pt, Ti-Au, Ni-Au, и данная система используется в изготовлении приборов.
К некоторым недостаткам можно отнести нечеткое определение области использования дорогостоящего оборудования электронно-лучевой литографии.
Несмотря на отмеченные недостатки выполненная работа заслуживает отличной оценки, а дипломант Ефименков Ю.Р. присвоения ему квалификации инженер электронной техники.
Кроме того, затрагиваемая в работе проблема заслуживает продолжения работы в этой области и дипломант может быть рекомендован для поступления в аспирантуру.
Руководитель дипломного проекта | |
профессор | /А.Г.Васильев |
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.