ИУРЭ_КП_621_ПЗ_20080618 (1086436), страница 5
Текст из файла (страница 5)
для диэлектрика:
пасту «ПК–12 » с характеристиками:
-
толщина пленки: 40÷60 мкм;
-
минимальный размер: 1х1 мм;
-
диапазон номинальных значений: 100÷2500 пФ;
-
отклонения емкости от номинала: ±15%;
-
удельная емкость: 100 пФ/мм2;
-
tgδ (при f=1,5МГц): 3,5·102;
-
пробивное напряжение: 500 В.
для верхней и нижней обкладок:
пасту «ПП–1 » с характеристиками:
-
толщина пленки: 10÷20 мкм;
-
удельное поверхностное сопротивление: 0,05 Ом/□;
-
прочность сцепления с керамикой: 5·106 ПА;
-
растекаемость паст (не более): 50 мкм;
-
шероховатость поверхности пленки: 5 мкм.
-
Определение площади верхней обкладки конденсаторов
Площадь верхней обкладки конденсатора определяем по формуле:
-
Расчет размеров верхних обкладок конденсаторов
Геометрические размеры верхней обкладки конденсатора (для обкладок квадратной формы) рассчитываются по формуле:
-
Расчет размеров нижних обкладок конденсаторов
Геометрические размеры нижней обкладки конденсатора рассчитываются по формуле:
p – перекрытие между нижней и верхней обкладками (0,3мм).
-
Определение размеров диэлектрика
Геометрические размеры диэлектрика определяются по формуле:
f – перекрытие между нижней обкладкой и диэлектриком (0,2мм).
-
Вычисление площади конденсатора
Площадь, занимаемая конденсатором на плате, вычисляем:
-
Навесные компоненты ГИМС
-
Выбор конденсатора
В соответствии с исходными данными из табл.3.3. [1, стр.23] выберем конденсатор К10–17 с габаритными размерами:
Для установки конденсатора на плату необходимы две контактные площадки площадью каждая.
-
Транзисторы
В данной ГИМС используются 6 транзисторов типа КТ307 с характеристиками (табл.3.9.) [1, с.35]:
|
С пособ установки на плату, габаритные и присоединительные размеры транзистора (рис.3.5.а) [1, с.37]:
-
m, мкм – 400;
-
n, мкм – 300.
Рассчитаем площадь контактных площадок под один транзистор:
-
Выбор подложки и корпуса
Площадь подложки размещения элементов и компонентов микросхемы берется с некоторым запасом, определяемым конструктивно-технологическими соображениями. Полная площадь подложки определяется следующим выражением:
Кs – коэффициент заполнения или коэффициент плотности топологической структуры платы микросхемы;
SRi – площадь i-ого резистивного элемента;
SCi – площадь i-ого емкостного элемента;
SHi – площадь i-ого навесного элемента;
Sk – площадь контактной площадки;
N – число контактных площадок.
Для подложки, из табл.2.1. [1, с.6], выберем материал:
«Стекло С41-1 » с характеристиками:
-
ТКЛР: α = 41·107град-1;
-
температура размягчения: Т = 700 ºС;
-
теплопроводность: λ = 1,3 Вт/м К;
-
диэлектрическая проницаемость (при f = 1МГц, Т = 20ºС): ε = 7,5;
-
tgδ (при f = 1МГц, Т = 20ºС): 20·104;
-
электрическая прочность: Е = 40 кВ/мм;
-
удельное объемное сопротивление (Т = 25ºС): 1017 Ом/см.
Размеры подложки:
-
номинальный размер, 10х16 мм;
-
предельные отклонения, – 0,1 мм;
-
толщина, 0,6 мм.
Корпус предназначен для защиты микросхемы от механических и других воздействий дестабилизирующих факторов. Конструкция корпуса должна удовлетворять следующим требованиям: надежно защищать элементы и соединения микросхемы от воздействий окружающей среды; обеспечивать чистоту и стабильность характеристик материалов, находящихся в непосредственном соприкосновении с кристаллом полупроводниковой микросхемы или платой гибридной микросхемы; обеспечивать удобство и надёжность монтажа и сборки микросхемы в корпус; отводить от неё тепло; обеспечивать электрическую изоляцию между токопроводящими элементами микросхемы и корпусом; обладать коррозийной и радиационной стойкостью; обеспечивать надежное крепление, удобство монтажа и сборки корпусов в составе конструкции ячеек и блоков микроэлектронной аппаратуры; быть простой и дешёвой в изготовлении; обладать высокой надёжностью.
Выбор типоразмера корпуса произведен с таким расчетом, чтобы подложка стандартных размеров с размещенными на ней элементами помещалась в выбранный корпус. Корпус 1206.14-5 ГОСТ 17467-88 [Л._ стр.6]. Корпус металлостеклянный прямоугольной формы с продольным расположением выводов. Он обладает следующими достоинствами:
-
хорошо экранирует плату от внешних наводок;
-
изоляция коваровых выводов стеклом обеспечивает наилучшую герметизацию и устойчивость к термоциклированию;
-
крепление крышки контактной сваркой обеспечивает хорошую герметизацию и прочность;
-
хорошо согласовывается с координатной сеткой.
-
Выбор технологического процесса изготовления ГИМС
Основными методами нанесения тонких пленок в технологии ГИМС являются: термическое вакуумное напыление, ионно-плазменное распыление и электрохимическое осаждение. Учитывая, что резистивные материалы являются сплавами, для их нанесения будем использовать ионно-плазменное распыление. Для того, чтобы не увеличивать номенклатуру используемого оборудования, остальные пленки будем наносить этим же методом.
Метод ионно-плазменного распыления
При ионно-плазменном распылении бомбардируется мишень. Между катодом и анодом создаётся дуговой разряд. Электроны при соударении вызывают ионизацию газа. На мишень подаётся отрицательный потенциал, сама мишень сделана из материала будущей плёнки. Положительные ионы, бомбардирующие мишень выбивают электроны, и они устремляются к подложке. На подложке формируется плёнка материала.
Достоинства:
-
так как распыление производится при низком давлении, то длина свободного пробега достаточно велика и позволяет распыляемому веществу запасти большую энергию, что улучшает адгезию с подложкой;
-
мало число столкновений с остаточным газом, что существенно снижает степень загрязнения пленки;
-
из-за того, что разряд автономный, имеется возможность сократить расстояние между мишенью и подложкой;
-
состав пленки мало отличается от исходного вещества;
-
есть возможность напылять тугоплавкие материалы;
-
малая инерционность;
-
большая равномерность напыляемой пленки.
Недостатки:
-
катод имеет малый срок службы.
Схема последовательности нанесения слоев на подложку:
Заключение
В ходе курсового проектирования были выбраны: технология получения тонких пленок, тонкопленочных элементов, материал подложки, тонкопленочных резисторов, конденсаторов, проводников и контактных площадок, защиты, метод получения конфигурации, навесные компоненты, корпус.
Была разработана схема соединений, проведен расчет пленочных резисторов, конденсаторов, площади подложки, разработана и вычерчена топология.
Список литературы
-
Дронов Ю.В., Звягин В.Б., Мушинский А.А., Семенов Ю.Г. — Интегральные устройства радиоэлектроники: Учеб. пособие; ГОУВПО МИРЭА (ТУ). — М., 2006. — 92 с.
-
Х.-И. Ханке, Х. Фабиан. Технология производства радиоэлектронной аппаратуры. – М.: Энергия, 1980.
-
Э.Т. Романычева, А.К. Иванова, А.С. Куликов, Н.Г. Миронова, А.В. Антипов. Разработка и оформление конструкторской документации РЭА: Справочник. – М.: Радио и связь, 1989.
-
ГОСТ 17467-88. Микросхемы интегральные. Основные размеры. – М.: Издательство стандартов, 1989.
-
Маломощные транзисторы и их зарубежные аналоги. Справочник. т.1 — М.: «КУбК-а», 1997. — 688 с.: ил.
МИРЭА.ВРТ.05.001ПЗ
N документа
Изм.
Лист
Подпись
Дата
Лист
42