Lektsii_Fv-11 (1074303), страница 2

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 2)

Преимущество метода в его простоте.Недостатки – низкая чувствительность и необходимость иметьбольшие ванны с жидкостью.Ванна с жидкостью может быть заменена мыльной пеной,наносимой на подозреваемые места кисточкой. При этомтеряется и без того невысокая чувствительность метода.Метод опрессовки1-Источник газа под давлением (1-2 атм.) 2-Сосуд с жидкостью3-Исследуемый объект 4-Место утечки2. Высокочастотный метод – используется для проверкигерметичности только стеклянных сосудов.

Специальныйвысокочастотный искровой разрядник, подносимый кисследуемому сосуду (колбе лампы, кинескопу и т.д.) позволяетопределить степень вакуума в сосуде и течь. Этот метод можетприменяться и для металлических систем, в которыхвмонтирована стеклянная разрядная трубка. Если места, гдевозможно натекание, смочить или обдуть пробным веществом ацетоном, бензином, углекислым газом и приблизить электродтрансформатора «Тесла», то в случае наличия течи в сосудевозникает направленный электрический разряд, указывающийна место течи. При этом в случае наличия течи цвет разрядаизменяется с красного на серый.Метод высокочастотного разряда1- Исследуемая лампа 2 - Генератор высокочастотного тока(разрядник Тесла)3.

Масс-спектрометрический метод – является самымчувствительным методом течеискания. Принцип заключаетсяв обдувании всех потенциально опасных мест исследуемогообъекта пробным газом, который почти не содержится в воздухе.Это гелий или, реже, водород.Течеискатель представляет собой статический массспектрометр (с собственной вакуумной системой) герметичносоединенный с исследуемым объектом и настроенный напробный газ. В тот момент, когда пробный газ попадает наместо течи исследуемой вакуумной системы, течеискательвыдает звуковой и световой сигналы.Течеискатель типа ПТИ–10 – специальный массспектрометрический тип течеискателя предназначен длянахождения микроскопических течей в герметичных объектах.Течеискатель позволяет находить место течи независимо отдавления в испытуемой вакуумной аппаратуре, а такжеопределять общую величину натекания в вакуумных системах,где газоотделение стенок в тысячи раз превосходит натекание извнешней атмосферы.

Масс-спектрометрический течеискательПТИ-10 настроен на измерение парциального давления гелияили водорода, он включает масс-спектрометр (м-с) статическоготипа с фокусировкой ионных пучков в однородном магнитномполе. Течеискатель состоит из двух основных частей: вакуумнойи электрической.Вакуумная схема гелиевого течеискателя ПТИ-10Дроссельный клапан 12 служит для соединенияиспытуемого объема с течеискателем, а также позволяет плавнорегулировать давление в масс-спектрометрической камере 7.Вымораживающая азотная ловушка 11 (сосуд Дьюара,заливаемый жидким азотом) препятствует проникновениюпаров масла из диффузионного насоса м-с камеру. Массспектрометрическая камера газоанализатора 7 представляетсобой металлическую цилиндрическую коробку со съемнойкрышкой для быстрой смены катода, имеющую патрубок дляприсоединения к вакуумной системе.Диффузионный паромасляный насос 10 с воздушнымохлаждением типа Н-0,025-2, обеспечивающий предельныйвакуум 10-4 Па, предназначен для получения высокого вакуумав м-с камере.

Механический насос 9 типа ВН-02-2предназначен для получения предварительного вакуума. Насосоткачивает систему до давления 1 Па за 5…10 мин. Клапан 5предназначен для отсоединения м-с камеры от вакуумнойсистемы при смене катода, ремонте камеры, а также приразмораживании ловушки (с целью предотвращениязагрязнения м-с камеры).Клапаны 1, 2, 3 служат для коммутации предварительноговакуума: клапан 1 –для подключения диффузионного насоса кфорвакуумному насосу после достижения им давления 1 Па;клапан 2 – для напуска атмосферы ко впускному патрубкумеханического насоса после его выключения, чтобы избежатьзатягивания масла из механического насоса в форвакуумнуюсистему; клапан 3 – для байпасной откачки м-с камеры 7после аварийной смены катода.М-с камера разгерметизируется при закрытых клапанах5 и 1, чтобы избежать окисления разогретого масла вдиффузионном насосе, и после смены катода откачивается черезклапан 3 до давления 1 Па.

Термопарный манометр 4 служитдля измерения давления в системе предварительногоразряжения. Магниторазрядный манометр ММ-10,расположенный в м-с камере, предназначен для измерения в нейдавления в диапазоне 1…10-4 Па.Чувствительность течеискателя, т.е. минимальнообнаруживаемая течь, для течеискателя ПТИ-10 составляет10-11 м3*Па*с-1 при работе с жидким азотом. Без жидкогоазота чувствительность снижается до 10-10 м3*Па*с-1 .При проверке вакуумной аппаратуры на герметичностьиспытуемый объект 13 с помощью резинового шлангаприсоединяют к дроссельному клапану 12 течеискателя.Подозреваемые на течь места (паяные, сварные швы, местауплотнений) последовательно, начиная с верхних (т.к.

гелийулетучивается вверх), обдувается из специального пистолетатонкой струей гелия.В случае попадания струи на течь, часть гелия проникаетвместе с натекающим воздухом в объект и попадает затем вмасс-спектрометрическую камеру течеискателя. При этомменяется тон звукового сигнала и показания выносного приборатечеискателя.Испытываемые на герметичность вакуумные системыделят: на системы с собственной насосной группой, которыепри проверке герметичности откачиваются насосом (вакуумныесистемы технологического оборудования), и без собственнойнасосной группы, откачиваемые через дроссельный клапантечеискателя (электровакуумные приборы и их детали)..

Характеристики

Список файлов лекций