Деулин Е.А. МУ к лаб. работам по ОВТ №1-5 (1074258)
Текст из файла
Гоеупаретаеннмй комитет СССР по нареакому обрааоааиню МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИИ к лабораторным работам по курсу аОСНОВЫ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ» Издательство МГТУ $9$9 ББК 31.77:32.861 239 л39 Леулпп Б.л. метсдпческзе Указаыпя к ллборатсрпвм работам по курсу "Основы векуумкой техпзкк",? Под ред. Л.И,Золчкевпча — М.: Мзд-ао )КТУ, 1989. - 36 с., пл. УМЛ? 5-7038-0231-8 Содеряатся материалы для кзучепзя ооповных тлпов насосов, манометров, масс-спектрометров, кспозьзуемых в закуумыом технологическом оборудовакик.
Лены два метода пм4ереыия быстроты откачки и масс-спектрометрпческкй метод обвар?кения течей для определения параметров оборудования. Методзческпе указеызя предпазкачекы для выполыепвя лабораторных работ студеытамп четвертого курса. рецензент Н,Е.Лемыюв ББК 31.771: 32.861 Езгевпй Ллексеевпч Леулвп методвческпе указеявя к лабораторпым работам по курФ Ооювы векуумюй тахвикп" йаведуппап редакпзей П.Р.Еевалевская Реда ир Г.Л.Нплова Корректор Л.И.Иелпчина ЛЕЛ? 6-7038-0231-8 © М(7у вм Е,В.Бермепв, 1988 Подемсею а печать 11,01,98, йоРют 6ОКПОУ16. Бумага ткасгреФ Р 2* уел.печ.л 2,26. ум взд.л.
2,16. ъимм 600 заз. Еед. 'р 126. 107006, Исскеа„В 6, 2-а Бе»мммская, 6.. Работа Е 1, ИБУЧБ(П(Е ЗМО?УИ%Х ПЛО(МОВ ПИЛЕ щйййтд пзУчекпе ооповпых типов'кесссовь кспользуемых дзп отквчю вакуумного телпологпчесютб обоПУДоваывп. Оопремезкые кепууыпые насосы позволяют пощчель вакуум ж 1ОГ1~ Па. Твк кв дево ммп плащ спер зысоквй плк в й вакуум с покопав олпсго типа иасооов, то прзменявт ссчетенпе 2...3 тпюв послаповательяо действумкзх насосов, ссстарлзхцкх едпыый агрегат. Пля пслучейзя'срелыето пвкуума (до 10"~ Па) пспользумт мехакпческке касоом, ивового вакуума (до 10"4 Па), а в псоледпее время и сверхвысокого вакуума (до 10" Па), - пароотруйпые дар (узпсппые.
пасосы Осюппые ха те от»ми гс. Насоса Лзасазсн рабочих даэлаппйь ?»„„- качальпоа дазлекзе - кезбольвее вщя?лясе дактекпе„прп котераы насос качкпает работатщ Р'- прапазьяое дазлапке - мпкзьмльнсе впускясе давлекке, достпгаемсе пассосы щ?ы длптазьпсй рвйсте "па себя" (п)п? звщд?том впускпом ЗВЩфбке ) ° Па» ьпкспматым?е емсускнсе'давление:Р „„' - давлекпе па выпускном патрубю. врв щ?евывеквп юторого паосе дрекрещмт работу (для насосов, кмвитят выду<по(ой патрубок), Па, *' Быстрота действия пасоса: Ю объем газа, удаияеьий пасооом в единицу щ?еьмки прз лепном впускюм дазлепкп, м3.
с"; Провзводвте?снесть пасоса: Ц - ксткчества газа, удаляемого каоосом в едзнлпу времепз, Вт. 1, М то е асо ы Мехзнкчеокие наоосы С маспяпнм уклсткепеам относятся к несо- оем объемкого дейстппя и реботавт за очет перподвческого измене- пия объема рабочей кеьары, в' которуп поступает сткачиасеьмй газ, отсекаеьсб( ст впускпого отверсткя~ затем:сяймется в кемере к пыбраоызается в атюсферу. В ва»уумной техкпю прпзепют мехаппческкс иластиычатс-ро- тсрн»м, пластипчато-статсряые к зслойпкксзые насосы (рис.1) . Пслучекее о пс1»лзльм телах насосов предельного валууьм Р = ° (1,„.4) 10 Па нозмсапо лкпь прп ззпслкеппп маслом небо,ьипс зазоров ывлду труппмпся деталппз, ппх используют паола ЕЬЬе (Ф» 6 10 3 Па), БМ (,"„„ ~1 10 са).
Лля откачки паров воды ыасосы скабззмт газсбелласпыи уст- .3 рсйстземы, ыацусклтммтв баккастпый гвв (ащосйерщзй воздух) в область скатзы Пзв Сбласйь перекоса» ( Руд Рзс.1, Пхемм ыящцп$чпсыпк, ввлуумпых ваоосоп$ е)- плвстпычвтб-фотцр(т$й». 1 - петрубск$ й -' ~татор$ ц . Вумр 4, щ$пп$ пуокыябк $1 сблвоть йец сываывя» я перевеса» й скВ твц » б)' плвст$щчмте Фтцтсрызй» 1 3щускыой па $ В сптаид»» п - ротс а-- йплазтвпе$. В пластпычато-роторвом насосе (рзо.1в) дзе пластвны, находящееся в павах врещв$щегсся ротора, ось зрещеввя которого смещена отыссптельпс сектора, цссче)е)пю захзатывавт газ пз области всасываемы» В пзвствячато-статорпсм пассов (рыс,1б) захват газа осуществляется зксцеытрычлс цосеяезкым ротором» ось Зрещепзя ксторогс совяавзет с осью статс)ю.
Разделекзе областей зоасывзкзя в скатах осущеотвляеток плеотцясй» пахблпце(кыт в пазу отцтора. В золптпзковсм ывсссе (рпб.1в) рюдезение областей зсзсываыык п сватая оаущвотвмются взрыврво зекреплепкым золотником, мецетьз$ ыв эксцентризме посзвемныц ротор,В облезть всесываыыя газ подаетоя по церяокпческц перев)нвеезюму запалу золотквка. Реометрычвекля быстйота отквчкы насосов 5, равна прсвззедвывв сбьема рябо мй камеры пасоса ва число оборотов ротора: с ~(, я т(;р -<Х')м~.„ Э Ф » .4 яо У яб гцв К - кощЩцпаеят, показывехзюй, кяктм долм газа яз рабочей камеры отказывает засос ва с$зпт оборот ротора» Ю - дпезютр расточав отатора$ ~( - пц$узпый лвеметр ротцрв ылв золстпвка$ 'и - вврпзв рвбочей камеры. Пхес$зппюто-роторыый вессс зв одыы оборот ротора соверзает дза пекла откачкп (»т 1»ц)» плествычвто Фтатс)щый П зсхотквяозый-посля у (К.1).' ' Реельвая скорость откачка засосов 5„окезцзаетел меньше 5 яз-за обратного потока газов в паров'ы ооыротявзеывя входксго яатрубка васоев.
Прозззодвтельюсть кеоооа Ф рцвяа разности прямого з обратного потоков: Д»О -~7 влз 5 .Р"- 5 Ф' - ~О.Ф -.ф, (з) где Р - давкеыпе откачивааысто газа у мтусзкого патрубка косова, Па» 5,- мако ея б1ыстрота вткачкв у впускного патрубка пасоса, и"- с Так как по окределеывп предцльаю дазлеыке - минимзльыс даствгземое давленые, прв котором кассо перестает откачвзьть, т.е, црв $»»Р, О=О, то мозно зззпсать .Р'-О =д; О =5 „Р', (4) откуда на ссновэняв (э) з ~~„~(т р ), (й) Согласно ооновыому ррнанеыпв вакуумной техкюп~» быстроту откатны у конца впускного патрубна мокко вырезать жрев,хтыяютюйчюаца бы~гроту откачэм разора н праэодямость впускного»натррбка й $,.И (Ф) 'э»»э о ~ф где О - дроэсдэмюсть внусккогО патрубка, н"» с Пря вяэкоотном ражие ~еченвн газа и=~ма~~~», -: .;: " .
(р) где а" - дяаютр вдускноь»э'патвпбыа, м) (' - лдына впускного матруФВз" м( Р ' ' средйее дактенвэ во 'ййуэвмй ЙВтЖ6Ф) Ойкнуть'~~ ' )» ф» Таким образом,' вы Свноаепвп (П),(6)»(»У) -: 8 —,: ('й- —,,) -'- (Э) .~.Р ' ф~ »» . б +'ц ' "фз Оледсвэтельно, быстрота двйотвпя мехннвчесзэзго кассоа )мако убн веет щм првблякеявв аэускыото деаяаэИК К Прадаяьнсну. Пекоторые данные йорведрмвых насосов.врявэдепп В табл.1 ' !йблвпа 1 Эавеснмость быстроты откаЧкв от впускного давленвя для насосов трех тынов покевена на рис.2. <е ея а~ М сф пт ~о ю ~о ~о ят ю па Рвс.й.
Эавясвмссть и от »» лля механических насосов 2, Пры давлениях, равных 10" ...10 Э Па в нике, удаление газов мехаывчесяпмн насосеьзз с масмзэым уплотненнем осуществить невозмсянс. Поэтому вопользувт пароструйнне насосы, удвднищне газы 'за счет направленного действня струн пара. Однако пароструйные насосы, как в ряд других энсоксваяууэных кэсоссз» не могут работать самостоятельно, а всегда состевлзвт акэвнй агрегат с насосом предварительного разрякенэя., Рабочая вязкость, заливаемая в КорПУс насоса, нагревэетсл в кнпнтвльнкяе злектрвческвм нагревателем» ресисло36эныз пол ко~3 пуссы насоса.
Образумзвйся пар по пароароводем поступеет к соплам насоса в выхвлвт ыз пвх в ввдв струй со сверхзвуковой сксрсстьв. Откачпвеззяее дейотвке ст)рк пера состоит в захватыззниз ,взммкул отиачпваемаго газа в сблеотв ныэкнх лявленвй (у вэускного патрубна) в перекосе его в областп более высоких дэвлеынй (к напускному патрубщ») ° Пркнцеп работы струп пара заэвсвт От йормы сопла я ка»эры, а такзв от облесты рабочях девлевнй. Попка в современных насосах бывают двух тпповз эвекторыне ы дмрруэнокяне (рзс.за,б). стенке корвуса, Отязяпземсй протОЧной водОй. Прв попадзлнв пара ва холодц)в стенку прсвсходзт его ксндзнсрцзя, в копдзнсат сте- кает в хвпятвхытпз Ряс„Э бхемз дейотпзп ПЗРоструйпвж сспмк Пхема дейстзжя зюкторнсге сопла (рзс.эа) состсвт в том, «то внхолдщап вз ОСПЗВ струп Пара, перемММмсв о бахмиой Охсроотвв «4 е увлекает за собой частвпм таза во гравввв Осврвкоевсвепвя за счет впзаоотв.
(Ввутреннего тренвп лава) врв вдуокнмх даазенвях 1 ~~1ПВ» Прв ОННВЗНПВ даавепзя Отмевпмммпх ГВВОВ мадаввем Дзйстввп ООПДа ВВМЕПЯЕВЗЯЗ 'ЩК Вав С Упаввеаййаы Дййпм СВО(ЙВРЗЗГС, ПРОбвта молекул газа может Продсйадввв деФфайв чеетвц геев в етяю пара (струя пара дслвпа бнвь мепва пдстмсй). ЛН4$уавп вава дрсвсхсппт под действием развссвв. Вге парпйащ нж дпавенвй в лрсотренотве вад отруей и в самой стйуе НРВ давенввж жвва 10 .
Па. и совремекзих васоеах чапе п(ввюннвт зсвтпчвве (образ(авние) конструкцзв дзФРузпопнпх ООПВД (рпс'.4). ПтПУЯ пара после Отразе-' . ввя От зонта дзфпузвонного сопла устремляется к ввлвндрвческсй в Ряс.4. Схема пароструйногс насоса П-100: 1 - высоксвиуумноз сопло; 2 - среднее сопло; 3 - звекторное сопло; 4 - паропровод тяжелой фидв б - паропровод средней Фракции; 6 - нагреватель„') - кзьара смеазваиля; 8 - выпускной патрубск(  — водоохязадазиий корпус; 10 - взускпсй патрубок ЭКектпзность действия двФй~звонксго сопла определяется скоростьв давления струп пара, ее напразлзнностьв отзосвтельно охлажденной степки, плсщздьв минимального сечения кольцевого зазора мевду стенкой'насоса и соплом, а тапке полнотой конденсацзв пара на охлвлденпой стенке. ПНФЙГзв~ДЗНЗ сопла могут Обеспечеть получение высокого зазчма до 10 1а в Выве прв больвой быстроте действзя (до 10 мв.с в выпе), ко прв етом Пулдаются в тщательком прсдвзрятельноы резряаенвв.
Поэтому современные выссхоаавуУюи~е пароструйные насосы делавт многоступепчатымв. П зависвмсств от назяаченвя взроструйшх ВВООООВ В нпх могут быть прзьмнены двфф'зв- с оняые лли зиекторные, а и некоторых случаяц щниоврез ение н те и другие сопла нервов сонно диФФуаионных насосов со сторона высокого заиуумв определяет быстроту действня насоса. Идеальная' быстрота действия насоса - площадь ксхцпщзого зазора между парням осипом и корпу- сом насоса. Это сонно сбеопечыввет расчетную произнайнталвиость, но с малым керепщдом давления газа.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
