Деулин Е.А. МУ к лаб. работам по ОВТ №1-5 (1074258), страница 4
Текст из файла (страница 4)
Течеисха- Х";:- ",; тель состоит яз двух осзсиямх частей; иазуумыой, и злектрзчесяой. Рзс.11. Вазуутмая схема гелиевого течеисяятезя» 1,2,2— клепаяы Яу-.йу 4 - вано»этр те(яз»парный ХТ-2; 3- хлзпзя Ду-2З; 6 - усияытехь( Т - масс-спеятроыатпея ф-22( 1З - испытумяи( обьеят( 14 - "гелисвея течь"( 15 -' дрсссеяируиы»й кхапак Вздуумыет схе а геяиеисго иичезспажяа П5(-10 изобрзяеяа ыа рыс.11.
Прсссехирухмвй клапак 12 сдущ»т дхя соединения испытуемого Сбьзыа О течевскатзхем, а Твкяв Ясззохяет пхззяо регУлироиать хвяаеым» в масс-спектрсме»трпческсй юморе Т. 2»зх»разиве»м(ая езатяея яодтиза 11 (сосуд )(вара. захииаезмй яыдяям азотом) преяятстяует прспвкысзениа паров масла из дзКузиоынсго засоса з 22 м-с ильм(м, масс-спептрометрическая камера газоапазпзщтсра 7 представляет собой металлвческув пвлинпричесиуш корвбму со съемной крынкой для быстрой смены катола, нмехщуш патйубок длк Првсоединення к вакууьщсй системе. )(иФФузиовный пароыасляный насос 10 с воздунянм Скнанденввм тина Н-0,025-2 предназначвп длп паепчензя высокого вакуума в м-с кемере, обеспечивахщий дредедьиый зелуум 10 па.
механический насос 9 типа ж-02-2 предназначен лля пощ~ченвя предварительного взкууыа. Насос откачивает оповещу до давлвнил 1 Ла за 6.„10 мвн. Клапан б предпазйачек для стсоедднения м-с камеры от вакууьщой сиотемы при сьщне катщщте Ремом тв камеры, а тежзм при рвзмормлмзанви лсаупзн (с пельш' предотвра.- щения загрязнения ы;с хмары), Клапаны 1',2,3 слупят для комиутапии предварительпсго вакууме-.квепеы 1''-'джз йодкясчення дыф(пзнонного насоса к фс)мекуумиозп нвсооу поолв дсстпкения им двзлепзя х йц клапан 2 - длп пзлуска атмссйеры ко впускному патрУбзу мвханвчеокого насоса после его выключения, чтобы избежать вамхгипадия масла из механического насоса в йорнацу)слбш снстещу; клепан 3 - для бзйпесной откачки ы-с камры 7 после аварийной смеыы ка.- тода, М-с камера разгерметззирустся прн вскрытых клапанах 3 и 1, чтобы избежать окисления разогретого масла з диййувиеином квсосе, и после смены катода откачивается через клапан 3 до давйенип 1 Па.
Терчспаряый манометр 4 - 'для намерения давления и системе предварительного разрывания.'Мегвпторазркдный манометр ММ 10, распвлокенный в м-о иаере, предназначен для измерения в ней давления в диапазоне 1,.10 ' Па. Каьмра масс-спектрометра (рис.12) состоит из корпуса 4, выполненного из нерзавешщей стели ХЛ8НХСТ, внутри которого помещены: катод 1, ионвзатор 2, двейрагмы 7 и коллектор ионов 9, высокоомное сопротивление н магнитный злектрозарядппй манометр 6, Йаера поыещается мазду:поливаем магнитов в зазоХсс магнитной цепи, создвыявй магпптпое-Пслв 1,0 10+4...1,1'104 А м, Магнитная цепь состоит нз дмух мвгййтоп', отлитых вз стплвва магнзко-.827, и арматуры вз ввлезМ'йрмкс» В камере у коробим йоппзатора.й укреплен катод 1, некащваемый зеремеянны током и.
зыичпрй)м(ий поток злектроыов. Для того чтобы направить поток злектрспсз и лврсбке нонизвтора 2, на него подсечен более положительный пойенпнал (па'*200 В) относительно катода, Коробка иснизатора 'Фаст Двз прямОУгожыШх стверствя В виде щелей. Через отверстое 'со стороны катсща в коробку попадкет электроны, згл~ируегмс кичщал,'а через д(зтое отверстие выхвжт 24 воны, образовавшиеся прп стслкновеннн злектрокси р мслекулщзв газа.
Ионы уокорпмтся электрическим полем, обрезсвзиньм неллу иопизаторсм и входной диеФрегмой. разгспзхеме нвщрякенне состав- ляет Ж)0...400 В. ЛиаФрагим приварена к корпусу навары, а ускоряв щее напряпенне приложено так, что "миыус" нсдап па исрпуо камеры, айдид" на корсбщу ионизатора. Уокоренные иопм. попадамтде в ка- меру через щель входной два(рагин, отклощщпчвх магнитным полем за счет действии снл Лоранда н летят по кругсинм траекториям ~У = ~6 У'УТ /и, где ~р радиус, м) И - нвпряиенность 'магнитного пож, А/и; Ы разгсывющее Папрниение ~ В( "ф- ьмссовое число иона (отношение ыассн иона ь( к зарялу 3 ), к>"К Рвс.12.
Схема месс-спектраметркческой.кмрры: 1 - катод; и - ионкзатор; 3 - траектории ионов; 4 - козсус; тельный патрубск) 7 - йиайрвгмв; 8 - супресссрнач сетка) 9 - кодлзктор' зовЕ; 10"- источник резгсяяюпего йепрякениях 11 - стабйлйзатор вывесив( 12- выносной ПРпбсрх 13 - усилитель Следовательно, чиненые ноны имешт больший радиус траектории, чем легкие. В масс-соектрсметре течеискателя аапряаеннссть постоянного магнитного полн и ящзгййхщее пзпряиенве подбирается тек, чтобы только воны гелия (водорода) попвхзлн нз коллектор' ионов.
Рахнгс треекторнн рабочих (йвксируеыых коглектороы 9) ио- Всв гелэя (эодорслд) в донном масс-спэктрсэютре ракен 4 см, Бэрэд коллектором нсюн устенсачены трн сетки, слупэцне для пс- лээлэнэя йснэ От' псстсронннх БЛОКОВ (нэпрэюр, Вторичной исзиза нэя), которые югут попасть нэ юллэктср.
Нэ среднна сетку, ю- ЭШИЕМУВ СУПРЕССОРНОЙ, ПОДЭЕтсн Псстсяжсэ язнрнаекие ~ЗО „.60 В, ДЬЕ ДРУГИЕ сетки ссэхзяепн с ксрцуссм Кзьеры. В цептйе камеры по- мэнэи ювоьатр магнзтно раэрядньб( ь, рабстааай в магнитном пола, Обраэсээпном нарУЯФМЛЬ матзитэьи. Манометр ВОВОЛЬЭуетоп,дзя 'азу катэческого Внхличэюя нэцрочэнзн Накала катода м.с прп псзачм- НВВ ДЭВЛЕЯЭЯ В КЭМЕРЭ СВЕРХ ДОЭУОткмого ВРОДела. Он состспт из МЕ*ЭЛЛНЧЭСКСГС КОРЬУСЭ С К)э(ахай Н КОЧЬЦВ-ЗНОЛНЧ Устанозхеэнотс на Вэсэнтсре. Манометр измеряет даэлэщи в лнэнаэоке от 1 до 10 ~ На.
Чупстззтэхьясотэ тэтэзсхатээя, Т.е. МнивмЭЛВНО Обнарузннаенан течь, лля тэчэискатэьч 01М-10 составляет 10 Вт арэ рабств 0 -11 звдккы аэстсн. Беэ кздкого азота чузстэятэльнссть анячээтсн лс 10 10 Вт, Прн проверке Внчууэнсй аюэрэтурн нэ гэрмэтн вость Испытуемая объект с псмояьн рсзинсэсго Лгпгэ првооэлаиют Э ЛРООСЭЛВРУптэмУ клэээну 12 тэчээскэтэли (рна.(1).йсдсэрээээиыэ нэ течь места (Вэв- нээ.сээрнээ мэм,месте уэлстнэннп) посээдсээтээъно,чэчннээ с ээрх- нзх (тзк кэк гелий улетучивается Вверх), облуэавтсч Вэ спэцзаль- нохс пнстолета топкой струей гела. В с~цчээ пспачэнзн стрУВ на течь, честь телля проникает вмсте с патекэицзм Воздухом В Обьект В Покапает Затеы З Масо-СПЭКТРЭМЭТРЯЧЭОЧУВ КФЧЭРУ тЭЧЭИСКЭТЭЛЧ.
При этом меняется тон звукового'сигнала и покээээээ Выносного прзбсрэ течеискателя. Испытываемые на гэумэтячнссть Вэкуумпыэ системз делят: Ба сютэмн с Ооботвэпабй Вассснсй группой, кстсрнэ прк прс- ээркэ гэрьмтэчюстн рткэчиваатся насосами (Вээуутнне сзстэю тэх- НСЛОГПЧЭОКСГО 060РУЛОнаявн), н бэз собственной насосной грУ~ФВ, ОТВьчнээемне чэраэ дросселщфэчччй ФиФи тэчэнскатамь (элэктрс- эакууьмие Йрнбсйы ы ях дэталк) (см, рэс. 11)' Работа Й 6.
ЕООЕВЕРЕАЕЕЙ ГАВОВМЕЕЕ)КЙ( 26УАЙТТЧОБ ТВЖОЛОВЕ В! ЕОРО, ВАЕУУЕНО1Ъ ОЮРУЙОВАН% )ВНФ работы - зэучэине.методов месс-Онэктрсмэтрвчэсксгэ энэ- ЛЭЭЭ И ПРЗООРЭтээзо иванков Работы Е динэмнчесхзы Масс-спэятрсме тром. 26 Дня раза тахкологвческвх процессов электроэалуумюго провзаодсчза больное энаненве ююет харэктэр Вакуума, опредэмпэчвй качастэо получаемых праборов. Мвоо-спектрометрнчеекзй анэлвз сстатопньх газов представляет мощное средотво дэя контроля В регулнрсвэнпн техпроцесса в вазуумпеы оборудована. 1. й Все щмборн для взмеренпн парцюлаэмк давлепяй осыонаны на п)июпша яояпэацвн газа нлп паров в вакуумной састеые п последущем разделенни пояучемньх ионов в элактрнческсм я магннтнсм пела В зэнисвмсстя От Отпсэмыия масон ясна к его зарзлу (маесоваго:лола) м/Е, нзмврююгс в атомных еднявцех меосн (а.е.м.), Ерв разделения исннжо тока На состеампчлпе яонольщэм скороств двкзэния яснов Фвьыых газов а алектрычэском поле 'э' =(l ГУЙ/М, (34) где М - скорость коков, н с 1; ,3=.,).„:;:::: .
Й - варях вона, Е ( Й -1,69 10 Е для нона+)( 19 М - меосе ясна, ИГ; ХАМ (а.е.м.)/й' М(а.е.м.)/(6,023 102)Ь У пройденная Ионом резюсть потенцнавю, В. .:~Ф,'-.;::::;; В больаннстве слущев арп исяпэацвы мэддаюамм электрокаын ° ° Э)Э(::::;:: Обрацунтсн ИОНЫ, Ювщяэ ОЛПП ЭЛЕМЕЫтарКЫЙ Заряд+, т.э. Й чг . Основные хзрактэ(мотики масс-сяектрсметрсвь г)Ь"0- разреначяяэч способность, где М - псдусУюа месаовнл чпоан двух СоОедппх пиков (которые хотят разпачпть, нлн разрмють на осцнллог)юаю) $ б М минимельнсэ Знаяэнва ревнсотн Масеспнх Чясел» котцрне мзе могут быть разделены (разреэмкы) двнянм щыбором. Разреаащан Фюсобюстэ ЧноленЮ Равна напбольчвья массожюу числу, прв юторсм па осцнлюгрюме разлячямн ооседлве шюп, оч лнчаьщвеся на 1 атсьауы единицу мерсы) ыннюиьчьпое азмеумеюе давленые (чузотантельность прапора); мекопмальное рабочее днвлэьие (оаредамчетоя дояповечнсотю пагода Йснвзатбра).