Деулин Е.А. МУ к лаб. работам по ОВТ №1-5 (1074258), страница 2
Текст из файла (страница 2)
Носледуюиие оцйчнции Дрсви- зодят стачку е мезьией быстротой, но на них соответственно уэа лзчквается я~репах дявлсний до максвц»аньного кзйуозмпц»о днащеия (~е прещяащщцегс 2 1О ыа). лцн крнбднваищогс расчета быотроящ действия диФцузиоыного насоса вначщця нвхщцкт нто пранвиспнтель ность по (2) () =() Ллк дн4$узвонаого насоса'прныбй н обратный Потони откачвваемого 4) =К >»9р (РН) 'ф„„° р.~ д» (11) 4ф '» 'аф» где»', - обьем газа, ударятщегсся о елыялыУ поверхности в еляняпу времена (для воздуха при нормальных уславщцх ~ ц»»1»»ус ) Р - давление откачзвщвысгс гщва у 'авода в кассо, Нвл )~з-, сбратиса давление стяачинаяцк»го газа (в Дектре струи пара) ° Нвц Р'- площвдь щцсяной дяафяцтцы квасок» через котсрущ газ подходит к струе» Фц ~ — й~,'-«').
е (13) 3хесь,ф - внутРеивий Днззщтр корпуоа насоса, нп ц( щц(Фняый днзцщтр спица» м Как известив» (~~ зависит,от сксроста теплового линцы»вня молвщуд 'уа ' .д.„Г77- )~; ф-Р: .: (13) где у - уязнврсальнщй гайанан' йсстпявнвя, т - абсолщтиви тамна)щщур»В:, )() /"т молекула))иая масса газа» При значении впускпбго двидайин, рещнйщ яредельисщу ту*,, быстрота откачки раааа Щуйв, .Отирда на (Ф),(10)»(Щ 1О р *ГР' 1~ ~ Р, т.е, Р .~Р. (14) Для определения быстроты откачки необходимо выражение (3) разде- лить на Д», что о Учетом П4) дсает з =уг('~- — ) (13) С учетом завзоимостз (13) — ~й- — И. и у „~щгт»с тле»у - Фактор качества яа»м»са,, учитывающий количество отраженных казах молекул, »У=О,3, Когда необхсдзмс обеспеЧнть иормяльнУю работу насосов прз вы- соких щцлусзных дазленайх в нвх; наряду с дяФрузяонныыв ссплаыз, и качестве псслещп»х отупенйй используют зжекторные, как, например» и насосе Н-1СО Нредельяый вакуум, быстрота действия и другие параметры паро- отруйзых насосов зависят от рода сткачнзаемсго газа, конструкдзз сопел, ькицнсстн подогревателя ы, в первую очередь, от свойств рабочей ядщцсстн.
3 качестве рабочей звдкостн в пароструйных на- сосах применяет ртуть, ваззлннозые масла (НН-1, 3»4-6). крсыязц- оргеническве масла (Ш(С-1» 344»С-2) и др. На рис.4 представлена скзыа.пароструйдогс насоса Н-1ОО. Насос предназначен длк сткачкз воздуха и д)бтнх газов, не воздейотзующях на матерзелы конатрук- пин и маола (марок НМ-1, нлн Ж( 3 ТОСТ 14707-93), используемые в насосе как рабочие жидкости. '3 корпусе насоса 9, сцлаздазмоы водой, устаяояхеын дза дзр- Фузясыыых сенца 1 и 2 н зжекторное сопле 3, несбхсдзыое для уве- ' личения макснмзльного выпускного давления, Небольщзе щели у днища корпуса под парспровщцемя 4 и 6 дця перетекания масла обеспечи- вают.
Фракняснзроваае квола пры нагреве. Стекамцяй по охлажденным стенкам о мздой. сксрсстьы .~„конденсат нагревается и по мере ярс- хоктлняя к пещтру внутреннего концентрического трубопровода со скоростьы ц~ теряет наиболее,летучие Фракцци с больным дазде- няеМ несыщейяыХ Парез, Таким сбраяом„вархиве золло 1 буде~ работать на сщяцх тяжелых Фрайпяях мама, нмецщнх кеяменьасе дяздсние насыщенных парсы, выхсддщдх нз верхнего сопла со скоростьь , среднее сбило - на сред»я»их Фращщцях, зжектсрное - на дсг, н пыжу те р туру кипе .' раз, й -»рузи звекторного сопла, отяячззаетск.наемом предварительного разряженна через выпускной патрубок 8. Паст)>оте Дейотувпн пасоса НРИ отпачне зоз)йпв з нптерзане лаалениз 10 6..10 Па состевляеТ ~~ >0>28 м>. с, Прецздмвлй 07 (масло Вн-1) рав н 4 10-4 Пе кенбсльпее знцусппое давбенее Р ю27 Па, ясличестзс масла> Зелнзеамсго и насос> соотав- ЛАСТ 80 ОММ.
Рвохцн оллапдащией вохн 38 л/час> Рзпснещпуеннй метаннчеснпй насос БПр-1П. Вещность нагревателя НЮ Вт. йпй ~щ~сгй - изученпе осповннх тзпоз.мвнометрон, изжльзувмих з вакуумном технологнческом оборудонааа.:: 1 ЙППП)ВП).ПП((ППЙЙП(Й Принцип дейстамт ТОПЛПМЦХ МЕМОцетрев' сснсвен.на заввснмсота теплопередачз через разрмеаьщмй тнз от давленая. теплоперадача осутинттнляезен он ннгрезаемсй з зац1умз тонной кнти к стенаем беллона датчика (рис.б)* уравненве теплового бшп>нса такого маноьмтра мозно пранстввнть з виде Х Д~У+Об(Т„-Я1*~6+ф +(Р„.т(У»,(17) где >Ф силщ злннтрнчбоиото тона> пронсФи(его через пвгревве()з ную нпть,' Ау >р> - сопрзтипненпе апта прн тем> ПОРНТУРФ )г" ' ОМ( Нг температура ннтв> град> Й(> температура баллона„грбд) б - темцературнмй ПСМРРНцпеят Ф» ССПРОТПВЛЭПИН матЕРпада НИТИ, 1Аред; генно>.
отвод)мп>е газом эа . Рис.б, Схема'ммтсматпа ср ...', СЧОТ псцне~~вп> Вт> ПРСтХЗЛЕНЗЯ: 1 '.ТПУВНВ" "' ' ' 'Ь)г ' ТВВДО,' 6ТЛОДНМСЕ Гаэсм Еа -"""" ЦРШОЕдйпйпва " Запррм ' .: Спей тчзплонроицннсстн, Вт( кой слстеме;,с - бадлоп л~т~зкщ 3 - йзгренаеыап ', ' 'ц„' ' тет()м) >от)>однмсе >мзш»авиа>в,Вть неть .()т таплп>отводймзе ннтью ОВ счет тзвноййозрддоетп.
Вт.' ПстОРО () п 4 не зевиснт от дазлензя . )Пнпн>ФТР Дс>>пыл .(Ыть схснструнрсзая тзк, чтобп в дпенззсне ВЭМОРОННЙ мэцвнениз ~С Тле (б, з заззсемостн от давленпя состанмкло. эвнетиун долю с»'"зх тепловых потерь Внтн н следовательно его монне было изЬмри ть Больпинство выцуснламых тндсз венууьмтРСН позволяет НОМОРять ненуум в дагю>не на основе зависимости теплопровалнссти газа ст давления (',) =~(~(Т -ДР (18) где Ю- пзсидть поверхности нити, ьР; Р- давлеыее в колбе датчика, Па( б> ноэйфипнент теплспрозсдностн газа 3 Высоком зшфуме В этан случае (без учета нонвепцпп С)„) уравнение теплового баланса (17) М ~т-ТЪ 2ЯОСКТт-'т)Р у а(,у "Р+хесьт" Тб1,(18) гдв у - длина нити( т - рад~ус ннтв; б - хозррвпнент Стврена-Больцмана; б'- нсз(>(ацнент теплопроводноети по се гению нити. ПЗМЕВЕНПЕ ТЕПЛОПрсвсднсотн 4~г (и СуннарНОГО тЕПЛООтВОда) от нагреваемой ннтв вызывает имеенепне ее температуры, по которо:-„; мсапо нссВЕННС ОУДНть сб изменепнн Давления, Тапвм обрззСМ, ТОСЛС- вне ьмнометрн явлнютоя манометрами косвенного типа.
Чувствительность теплозсгс манометра зазнсвт от рода газа, запел)пмщего беллон днтчина. Обычно прибор грьтунруется по воздуху, а пересчет па давлепве другого гаев Р производят по 4армуле Р=~ -Р (20) г" г Впаченнн Й для тепловых манометров ьаз Воздух >>б НО М Сг(г, Л т С'О >гт . 1,0 0,87 1>12 1,31 0>81 1,68 0>84 .'Пм~йл измеряемая теплоинм манометром дазленпй зезаснт от соотноаепзя 'постоянных состащпмщвх ()„, Ц„уразневи П7), не завнонщих от даатешст а теша (',),, отзодпыого за счет теплонроводпости газа.
Прв ~ н(У» (> температура внтп прзктнческп отанозптсн 'постоянной н перестает зад>Исеть от дазлення. Птя попнненвя предальнего нзмеряенстс двплепнн необхоътцо ослабпть побочнне процбссы теплсоттнм(а уля у>мньйе>п>к (» ннть дслнна Вьмть бальное сопротнвлени9 'тенлсзсзу Пстсну - бать белес тонкой.'Плн умепьненвн 4~„вунпо снпзпть температуру ш>тн т, так как по зенону Стерзна-Больць>она 4„" Т„. Однако б.бсеьгснзс с | сникает чувствительность. Обычно (дхя дахчпвов ЛТ-2, ХТ-4) Т- =300.. „400сС. »»»~~»» Р Ю Й~З»Ю»» МЮ Эй» 1) при переходе ст высокого к пнзксму вакууму пемввкетсн хе; ректор тсплопроводносты газе Ю,, которая перестает вцнпсеть ст хавлоыхя.
Зыэисяпвм от девхеывя Фактором остеевж лань конпектвп- нип теплоотвод д, -а(т-У)""-Р"', (31) где о - ксеО(мцнент, определяемый оэсйотввын к температурой гаев, йормой н поверкпсотьп нвгйепэгецц 3) прк высоком декхеннв бокьхцц техцоврозхпность газа свдьно снимает теьтторету)ц пытп ~, умавьнает равность температур Т-)' и прппсдпт к потере чухотентэдьксвтн* Как следует пв мокехулкрно-квнетпчеокой теорнп, тепхопрсвод- нссть геев 4„прн ккжом вакууме не ивпснт от давленая.
Поэто- му при соотяошенвп Цс' «У (точнее Ц~~ ». 1~Яд (23) где А - длина свободного пробеге ькы,'акуд;, с' - размер кспбы катанка Ы~гм.), тепловой гаясыетр щэццппнахьно не повводкет попокьэоввть заэп- свмсоть (19) ддн пхаерепвп дюпенах.: Прк кспохьвовевкв кскаектввного твпкаотаойа по урввкекнв (31), пры более высокой температуре Нвтп ЕкаЛа, Зйаамко пэмеренне декхеннк тепхсмаи ыеяометрма в дцьпаэонэ 1с=...10" Па (с боль- йсй псгреинсстьн) . лс способу ыомереппн тепдсвые мепсмвтрц двхптса на два тнпэх мтнометры оспротымеюн (рко»9) п тернопцрныв (рпо.ц). 3 меысьмтрвх ссщютввпенкп (манометр Парана) пспохьэуетск эа- вкспыооть сопйотнээннык ннтв Стс Двцнейв(ййп.
Зать,мппометуа вы- похйяет двэ $ункхцэ::нгточцнж кадка ц дцеафюхакп тацнерац(ры. Прсааавннооть Выпускает Пцвруцэтр.аццрбтпцццопт ЗОЗ 1 е датчпком МТ-6. В тормопарпых манометрах двть ехукцт,дань нсточнпком. топав Ьи пэмеренпя те~йературы,р)дапынп)цпт те)хворе. Проммтдэпкость ЬпоуСКаст терыонарЫЫЕ Вацуунвтры,'ЗТ.3 Н ЗТ-З» а такта Ссанвбцыннп 1 4 одном корпусе с Поннвандспйцын эакуупвтрн ЗЗТ-1, ЗЗУ 3,, работев», :ее с датчкхами 17-3, )Зц,' 1 '(отэпдкнный) нлк'ЗТ-4 (мвтвхлаческцй)»': 3 двтчпке ЗТ 3 ннтв нагреватаэп нвготонпвца нэ техннчвопсй итаьчны, а в ЛТ-4 - нэ ннкелн вхп тантала, термтмепдрьваан ™ Постоннпне манометра ЛТ-3 Затервад пата « ° » ' »» ° °, »» ° пдвтппа радвуо ннтв «»............... 0»006 см удвнькое оепротвцхмпве„Р»»»» ° * °....9,8 10 Ом см Темпервтурнмй поеййцпвент оапретвмтевня»ы ..
9,9 10"" град ., Ооцротнвлвнне ннтв У....,...,... 0,9 Ом Зеркппй вреден нэмэренпк ' Здвапй щмлвд намеренна .....,....1«10 Па -1 тедайровпвдеоть газа 4~ (нрн Р д03 па)...фкГ~1 Тей)ццроццццють ннтв 4) ', ° °... °... 9,9-10 Зт Тецдоотцай нэхрчанвем 4) ....,..... 3,3.10 Зт 13 3 напууметрах ЗУ 1, ЗТ 3, ЗЗТ-1, ЗЗТ 2 датчика ЛТ-2, Лт-4„ ЗМТЗ работавт в рваные цв9емапыой:эемйвратуры уп постокнном тона папава. 3 днапвэопе даатенпй 1-104...1 10 Па ток ннтв наката подбврнетпн так» чтобы крп дэнланпв 1*10 3 Па Эдб териопари оостааатна 10 Мй.
ь)мцунрсвочная ПРвнвп днтчнка ЗТ-З но жэдуху првэелена на рве,7. 0 печенкам ъреьвнк градувровочнпе кривые манометра могут 16 изменяться эа счет старения нвтв н ба»дона, Обраэозэивя пленен на их нсэерхясстн (от иаров масла). поэтому дий счистни реясменхуется перзохэчесии нрскалнзать нить. ,Чс 6..42 66 66 4д, Ю Ю РУ 66 96 МЮ 66т Рве.ч. Грэдуирозсчнэя крввея тсрыояарбОГС датчика ЕТ-3 э днаяээоне дззлээнй 16х„,10".4 Па похаэзння теяяозога мзнометра об»адан» внерцнсвиел%4Ъ 'тед »ах дхя иэывнэявя теыиерэтуры. Ннтв трабувтсн ощмдеивнное:щ)вмяв обратно нрОЯОрцдснзхьисэ даинеия~е 3»О. ИРВИН Нзмеинетон От Не скоэьхих дэсятзоа сэзувд Зрн 16, Ла ЛО Нээнозьннд ееЩНН НРИ..
ниэзом Заэуумв~ П(нинин дейст»ИЯ. монн»ЯНЭОННМХ мэнсызтрбз Основан иа .Взавснмсста скорости нови»айэн газа от демения,. Л датчина янбегэ. Ионвэзснояного мэнсметрВ эсть.дие .Озотемы: дня н(мвзации Остатсчмбгс газа и отбора зон»В, П уатеионизмемся рвщмм мвияьмтрв сио ионэззцнв рзв)щ снегов»и Отасрй вава, о 'ясторой 4чэгт яо нонноыу тощ. Из мойеиузярно-:нвнбгнчвсаай тецрни жаси сяэдуэт.: 'чЫ'оно ' рость образования исаев в мам»метре нрвиорц»юиаэьаа днам(иню н ыр)митзвнссти эоэизеции.
Тан нмйс вбрэанванйвх ьнмбв Ф Рл' 6~' '-,".::;:; —. ' -" ' -': -''.::(33) 16 где Р - дэзиаиие, Пь) Н„- ноявчвствс амктрснсв; 1 - эяектронннй ток, А; 6 - эййеитавиооть вснвээпнэ, ы ° Па 1 Е - дэина трвеяторвз электрона, м. Тенин образом, Вемэряя вснямй тоз, маю»о судить О зиачсяэи днвяенэя* Лян сунеотзоэения нрэмсй занвсвиоств 'мазду дазлеяием газа в ионным тоном интенсивность веточкина нониэврухзв~ч> нэл)чеэвя должна быть постоянной (стзбалазнровенный тох электронной «массив з датчике ПИК 3 3(ЛП-2) рама $. Мц, дянна свободного пробега ионов (И Исиивврухмзх чэствц) - бозь(м рэаотоннвя мезду энектродэыв, чтобн избезать рехомбинэцви ионов кзи двух-, трехкратной нонваацви, нэруимцэей ззнейность уравнений (23), (3$) .
гнэы иснвзэции мэнсметров з эвзвсвмости От зидВ источнвзн НОВИ»Энни' 1) терыоэлектронные, где да~ зонизэцнв'газа иснояьэуются тэрЫоздеитровя (Наиболее ходовой тнб)) ' 2) магнитно-разряэные~ глв дьм всквеецви исиоль»устоя азто- вяентрсиния зыиссня) 3) радвоиэотоиные, где нзаэмцм нроиохсдит за счет ы - ихя 1' -иэд(чеиня ззстонав. .. Пэн видно яэ 4орщЧ (23), (24), Званые Фвктором язхяется увеэнчеиие мррехтизнооти нсввзвцвн газон 6 . Пйрентвзнооть искэззщп~ е . Нвраатериэует чвояо Ионов,обрэзухнмхся мв метре путы честесы . Ири днниенвв 1 Па, Мвнвмэяьнвн знергня эиентроия, яесбходиьмя для воивзвнм бсльвнжтве ге»ОН, бостаМкзт 13...26 ЭП, но ьИКСНЫЭяЬ- нуа эййезтнэнссть нолучввт ярйыэрно нрв 160 зй. Л»льнейнее уведи.