4 Лист (1058803)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Методы нанесения пленки нитрида алюминияПринципиальная схема дугового нанесения пленки AlN c фильтрацией потока алюминиевой плазмыПринципиальная схема магнетронного нанесения пленки AlNАнодДуговая микропривязкаИзоляцияАнодКатод-мишень (AlN)КатодДостоинства метода1. Практически неограниченная электрическая мощность.2. Возможность нанесения металлов, сплавов, нитридов,карбидов и т.д.3. Отсутствие необходимости в дополнительном газедля ионизации.4. Высокий коэффициент ионизации испаряемых частиц.5.

Высокая скорость распыления.Недостатки метода1. Нерегулируемая энергия частиц.2. Относительная сложность конструкции дуговых источников.Магнитная системаЛинии магнитногополяSNNS-SNМагнитная система+Мишень (Al)Ar N2Вакуумная камераИсточник питанияAle+Ar+AlArAl+N2-UсмКерамическая подложка AlNAlДостоинства метода1.

Регулируемая скорость осаждения.2. Возможность нанесения металлов, сплавов,диэлектриков.3. Относительная простота конструкции.4. Достаточно высокая чистота осаждаемойпленки.Недостатки метода1. Низкая и нерегулируемая энергия осаждаемыхчастиц.2. Низкая производительность.ПодложкодержательAlNОсаждаемаяпленка (AlN)Вакуумная камераЛовушка для частицAlNS0Керамическая подложка AlN-Осаждаемая пленка (AlN)S0Подложкодержатель-Uсм+Метод нанесенияЧистота покрытияУдобство расположения подложекТрудоемкость методаСложность управленияСложность конструкцииСкорость осаждения пленокМагнетронный+++--+-----Дуговой с фильтрацией потокаплазмы++++++-++++Оборудование для уменьшения и измерения шероховатости подложек AlNУстановка CREEP SERVICE EAST 01 AСтанок шлифовально-полировальный 3ШП-350МПротяженный ионный источник с замкнутымдрейфом электорновТехнические характеристикиДлинаТехнические характеристикиВесДиаметр обрабатываемых заготовок,мм3Частота вращения шпинделя(регулируется бесступенчато), об/минот 30 до 180Число двойных ходов поводка вминуту (регулируется бесступенчато)от 28 до 110Максимальная потребляемаямощность, кВт7,55Характеристики установки1.

Установка предназначена для физическогоосаждения пленок из паровой фазы.2. Нагрев камеры до 200°С;3. Возможность ионной очистка поверхностиподложек;4. Два дуговых источника;5. Возможность нанесения углеродной пленки.6. Реализация метода сепарации плазмы.Водяное охлаждениеТемпература воды на входеПредельное давление в системе охлажденияРабочие газыЛинейная плотность токаДлина линейной части ионного пучкаГабаритные размеры, ДхШхВ, ммМасса, кгТип дисплея матричный ЖКИ300-3000 ммНе более 20 кг на 1 мдлиныРазмеры ЖКИ экранот 200 до 350Тип монтажаКоличество шпинделей, штПрофилометр TR-200Технические характеристики2280х1080х1660не более 1300Однородность плотности тока ионного пучка128х64 точки, со светодиоднойподсветкой50х30 мм отображает положениеизмерительной иглы датчика иуровень заряда аккумуляторнойбатареиВнутри вакуумнойкамеры или нафланцеДиапазон измерений попараметрамRa,Rq:0.01-40 мкм;Rz,Ry,Rp,Rt,R3z:0.02-160 мкм;RSm,RS: 1 мм; Rm: 1-100%2-5 л/минЗначения отсечек шага0,25 мм/0,8 мм/2,5 мм< 30 °CДлина оценки значенийпараметров шероховатостиотсечки1-5 (по выбору пользователя)Длина трассы ощупывания(отсечка 1-5)+отсечка 23 атмAr, O2, H2,, N2, и др.7мА на 1 см длиныТип датчикастандартная модель Ts100,индукционный, радиус алмазнойиглы 5 мкмДиапазон рабочих температурот 0 до 40 градусов по Цельсию230-2930<±5% на 90 % лдлинылинейной частиРабочее напряжение500-3500 ВОтносительная влажностьвоздухаСредняя энергия ионов250-1700 эВСтепень точностиРабочее давление0,05-0,25 ПаГабаритные размерыМасса электронного блока<80 %класс 3140х56х48мм480 г.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы